一种柔性电感式磁性压力传感器及柔性电感式磁性压力传感器阵列制造技术

本发明专利技术提供了一种柔性电感式磁性压力传感器，包括从上到下依次设置的磁弹性体单元、磁敏感单元和磁性回弹单元，且磁弹性体单元与磁性回弹单元的磁化方向相反，本发明专利技术还提供了一种柔性电感式磁性压力传感器阵列，与现有技术相比，本发明专利技术利用磁极相对的磁弹性体单元及磁性回弹单元的相互排斥的作用力，实现磁弹性体的快速回弹，以降低电感式磁性压力传感器的迟滞行为。迟滞行为。迟滞行为。

【技术实现步骤摘要】
一种柔性电感式磁性压力传感器及柔性电感式磁性压力传感器阵列


[0001]本专利技术涉及柔性电子
，具体而言，涉及柔性电感式磁性压力传感器及柔性电感式磁性压力传感器阵列。

技术介绍

[0002]柔性传感器由于其优异的拉伸性能、导电性和贴合性，广泛应用于健康诊断、运动监测和人机交互等领域。但是，由于软材料固有的粘弹性，使得柔性传感器在动态加载过程中无法快速恢复到初始的形状，导致柔性传感器的信号产生较大滞后性，严重影响柔性传感器监测的准确性，阻碍其实际的应用。因此，设计并制备一款具有低迟滞的高精度柔性传感器仍然面临挑战。基于软磁非晶丝巨磁阻抗(GMI)效应的电感式磁性压力传感器具有优异的灵敏度，在专利CN104697678A中，可实现微弱应力感知，然而鼓式结构不利于柔性传感器的薄膜化，柔性磁膜存在的回弹迟滞问题没有解决。专利技术专利CN112857468A公布了一种检测磁场和应变的双模态传感器，基于GMI效应检测磁场变化，基于导线拉伸后电阻变化检测应变，结构简单，然而拉伸后导线的回弹迟滞问题没有解决。
[0003]在利用电感式柔性磁传感本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种柔性电感式磁性压力传感器，其特征在于，包括从上到下依次设置的磁弹性体单元(1)、磁敏感单元(2)和磁性回弹单元(3)，且所述磁弹性体单元(1)与所述磁性回弹单元(3)的磁化方向相反，所述磁弹性体单元(1)包括第一弹性基体和多个第一永磁颗粒，多个所述第一永磁颗粒掺杂在所述第一弹性基体中，所述磁敏感单元(2)包括电感线圈(22)、软磁非晶丝(23)、模量加强层(21)、多个软磁颗粒和第二弹性基体，所述电感线圈(22)和所述软磁非晶丝(23)均设置在所述模量加强层(21)内，且所述电感线圈(22)缠绕在所述软磁非晶丝(23)上，多个所述软磁颗粒掺杂在所述第二弹性基体中，所述模量加强层(21)固定设置在所述第二弹性基体上，所述磁性回弹单元(3)包括第三弹性基体和多个第二永磁颗粒，多个所述第二永磁颗粒掺杂在所述第三弹性基体中。2.如权利要求1所述柔性电感式磁性压力传感器，其特征在于，所述第一永磁颗粒的材料选自dFeB、SmCo、AlNiCo、FeCrCo中的至少一种，所述第二永磁颗粒的材料选自NdFeB、SmCo、AlNiCo、FeCrCo中的至少一种。3.如权利要求1所述柔性电感式磁性压力传感器，其特征在于，所述第一弹性基体的材料选自光敏树脂、聚二甲基硅氧烷PDMS、脂肪族芳香族无规共聚酯中的一种，所述第三弹性基体的材料选自光敏树脂、聚二甲基硅氧烷PDMS、脂肪族芳香族无规共聚酯中的一种。4.如权利要求1所述柔性电感式磁性压力传感器，其特征在于，所述软磁非晶丝(23)的材料选自Co、Fe、Ni...

【专利技术属性】
技术研发人员：项紫银，喻峻，李晟斌，尚杰，李润伟，
申请(专利权)人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所，
类型：发明
国别省市：