一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，包括：安装装置；承载装置转动安装于安装装置的顶部，承载装置包括承载台，承载台的顶部开设有滑槽，承载台顶部表面设置有角度值。本实用新型专利技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，通过安装装置将承载装置稳定的放置在工作台上，使用者通过轴承转动承载装置，安装装置不会偏移承载装置的位置，同时在承载装置的表面设置角度值，配合观察装置对角度值的指向，本装置结构简单，实用性强，承载装置在转动时不会出现偏移现象，同时明确了晶圆的转动角度，方便使用者观察任意角度的晶圆同时不会出现偏移误差，提高了观察效果。察效果。察效果。

【技术实现步骤摘要】
一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具


[0001]本技术涉及显微镜载晶检验领域，尤其涉及一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具。

技术介绍

[0002]晶圆(Wafer)，是生产集成电路所用的载体，多指单晶硅圆片。
[0003]目前，使用显微镜检验wafer的操作方式：将wafer从晶舟取出，放置在检验治具上，通过显微镜观察治具内的晶圆，通过旋转治具检验wafer四周的目的。
[0004]如公开号为CN217035581U的一种供显微镜载晶检验的治具，该装置将晶圆放置在承载治具的凹槽内，观察人员通过显微镜观察凹槽内部的晶圆，并用手转动承载治具观察晶圆的四周，但是观察人员的眼睛注意着显微镜镜头内部，仅靠感觉转动承载治具容易使得承载治具在工作台上偏移位置，而晶圆在显微镜内部成像较大，一点偏移会影响观察人员的观察效果。
[0005]因此，有必要提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，解决了观察人员的眼睛注意着本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，包括：安装装置；承载装置，所述承载装置转动安装于所述安装装置的顶部，所述承载装置包括承载台，所述承载台的顶部开设有滑槽，所述承载台顶部表面设置有角度值；放置槽，所述放置槽设置于所述承载台顶部的中间；观察装置，所述观察装置固定安装于所述安装装置顶部的一侧。2.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，所述观察装置包括固定杆，所述固定杆的顶部固定安装有连接板，所述连接板底部的一侧固定安装有指向块。3.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供显微镜载晶检验的治具，其特征在于，所述安装装置包括安装台，所述安装台顶部的中间开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有轴承。4.根据权利要求1所述的一种观察精准度高的供...

【专利技术属性】
技术研发人员：李迎秋，屈波，陶穗菲，莫莉，
申请(专利权)人：湖南中医药大学，
类型：新型
国别省市：