本实用新型专利技术公开了一种储液装置及晶圆清洗设备，所述储液装置包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；在所述储液区的一侧设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。与现有技术相比，本实用新型专利技术能适用于供液桶和废液桶使用，同时在用作供液桶时，能够在储液区内药液不足时，自动切换供液，避免了人工补给存在的安全隐患。免了人工补给存在的安全隐患。免了人工补给存在的安全隐患。
【技术实现步骤摘要】
一种储液装置及晶圆清洗设备
[0001]本技术涉及清洗领域，特别是一种储液装置及晶圆清洗设备。
技术介绍
[0002]对于半导体晶圆清洗设备，其需要一个进行供液用于清洗的供液装置，以及一个回收废液的废液装置，但传统的清洗设备并不能同时兼用供液装置和废液装置，需要对废液装置进行额外设计。
[0003]此外，在光伏硅片设备和半导体晶圆清洗设备的清洗过程中，大多是采用人工手动方式进行药液补给，然后这种化学品配液对人体本身以及设备都存在着比较大的安全隐患。
[0004]因此，如何设计一种储液装置及晶圆清洗设备，能同时兼容供液装置和废液装置的使用，且便于用户更换储液桶，是业界亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0005]针对现有技术中，传统的储液装置使用不便的问题，本技术提出了一种储液装置及晶圆清洗设备。
[0006]本技术的技术方案为，提出了一种储液装置，包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；
[0007]在所述储液区设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；
[0008]在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。
[0009]进一步，还包括设于所述柜体内的管路区，所述管路区与所述储液区分隔设置；
[0010]所述储液桶用作供液桶，且每个所述供液桶均与所述管路区中的供液管路连接，并可通过所述供液管路为待供液装置供液；
[0011]在所述供液管路上设有液位检测装置，所述液位检测装置可检测所述供液桶内的液位；
[0012]所述管路区连接有一可切换所述供液管路供液状态的控制单元，在一供液桶药液不足时，所述控制单元可切换另一供液桶进行供液。
[0013]进一步，所述管路区包括有第一供液管路和第二供液管路，所述供液桶通过所述第一供液管路与泵体连接，所述泵体通过所述第二供液管路与待供液装置连接；
[0014]在所述第一供液管路与所述供液桶连接的每个支路上均设有所述液位检测装置和气动阀，所述控制单元通过控制所述气动阀的开关状态切换进行供液的储液桶。
[0015]进一步，所述柜体位于所述管路区处设有可拆卸的维修门，所述维修门上设有玻璃窗，所述玻璃窗采用防爆玻璃窗；
[0016]在所述维修门上还设有第一安全检测开关，所述第一安全检测开关可在所述维修门异常开始时报警。
[0017]进一步，所述储液桶用作废液桶，在所述废液桶上依次设有液到位感应开关、高液
位感应开关、超高液位感应开关；
[0018]在所述储液区内还设有警报单元，当所述超高液位感应开关触发时，所述警报单元触发警报。
[0019]进一步，还包括设于所述柜体朝向用户一侧的隔离门，所述储液桶可通过所述隔离门进行更换；
[0020]在所述隔离门上还设有第二安全检测开关，所述第二安全检测开关可在所述隔离门异常开始时报警。
[0021]进一步，还包括装配于所述储液区内的水枪放置卡位，所述水枪放置卡位用于放置纯水枪和氮气枪，以用于对所述储液区进行冲洗和干燥。
[0022]进一步，还包括设于所述柜体上的显示单元，所述显示单元与所述隔离门设于所述柜体的同一侧，且所述显示单元位于所述隔离门上方，所述显示单元朝向所述隔离门呈倾斜状态设置；
[0023]所述显示单元至少包括用于显示供液状态的触摸屏、压差表、三色灯、显示表头中的至少一种；
[0024]在所述柜体的顶部还设有检修门，所述检修门靠近所述显示单元设置，并采用掀盖式结构，用于对所述显示单元内的元器件进行维护更换。
[0025]进一步，还包括设于所述储液区顶部的抽风系统，所述抽风系统装配有风量调节装置，用于将所述柜体内的气体排出；
[0026]在所述抽风系统的排风口处还设有压差检测装置，当所述压差检测装置检测到所述排风口处压力异常时，所述警报单元触发报警。
[0027]本技术还提出了一种晶圆清洗设备，其采用上述储液装置。
[0028]与现有技术相比，本技术至少具有如下有益效果：
[0029]本技术能同时兼容供液桶和废液桶的使用，避免了额外的设计成本，此外，本技术还通过控制单元以及检测单元的设置，使其能够在供液区内药液不足时，自动切换供液，避免了人工补给存在的安全隐患。此外，本技术中配置有显示单元，能够实时监控药液的流量、流速、压力等参数，同时配备有泄露侦察与报警系统，大大提高了本技术的可靠性。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本技术用作供液装置时一个视角的结构示意图；
[0032]图2为本技术用作供液装置时的剖视图；
[0033]图3为本技术用作供液装置时另一个视角下的结构示意图；
[0034]图4为本技术用作废液装置时的结构示意图；
[0035]图5为本技术用作废液装置时的剖视图；
[0036]图6为本技术供液管路的连接示意图；
[0037]其中，1为柜体、11为储液区、111为限位板、112为链条、113为滚轴、12为管路区、13为维修门、131为进风口、2为储液桶、21为液到位感应开关、22为高液位感应开关、23为超高液位感应开关、14为隔离门、15为显示单元、16为检修门、17为水枪放置卡位、3为抽风系统、31为排风口。
具体实施方式
[0038]为了使本技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0039]由此，本说明书中所指出的一个特征将用于说明本技术的一个实施方式的其中一个特征，而不是暗示本技术的每个实施方式必须具有所说明的特征。此外，应当注意的是本说明书描述了许多特征。尽管某些特征可以组合在一起以示出可能的系统设计，但是这些特征也可用于其他的未明确说明的组合。由此，除非另有说明，所说明的组合并非旨在限制。
[0040]下面结合附图以及实施例对本技术的原理及结构进行详细说明。
[0041]请参见图1及图2，本技术提出的储液装置，包括柜体1、设于柜体1内的储液区11，以及放置在储液区11内的至少两个储液桶2；
[0042]在储液区11的一侧设有限位板111，在限位板111上设有用于固定储液桶2的链储液区11的底部设有多个滚轴113，储液桶2放置在该滚轴113上。
[0043]这里，限位板111用于对储液桶2进行限位，链条112用于固定储液桶2，其储液桶2能够当作供液本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种储液装置，其特征在于，包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；在所述储液区设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。2.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，还包括设于所述柜体内的管路区，所述管路区与所述储液区分隔设置；所述储液桶用作供液桶，且每个所述供液桶均与所述管路区中的供液管路连接，并可通过所述供液管路为待供液装置供液；在所述供液管路上设有液位检测装置，所述液位检测装置可检测所述供液桶内的液位；所述管路区连接有一可切换所述供液管路供液状态的控制单元，在一供液桶药液不足时，所述控制单元可切换另一供液桶进行供液。3.根据权利要求2所述的储液装置，其特征在于，所述管路区包括有第一供液管路和第二供液管路，所述供液桶通过所述第一供液管路与泵体连接，所述泵体通过所述第二供液管路与待供液装置连接；在所述第一供液管路与所述供液桶连接的每个支路上均设有所述液位检测装置和气动阀，所述控制单元通过控制所述气动阀的开关状态切换进行供液的储液桶。4.根据权利要求2所述的储液装置，其特征在于，所述管路区处设有可拆卸的维修门，所述维修门上设有玻璃窗，所述玻璃窗采用防爆玻璃窗；在所述维修门上还设有第一安全检测开关，所述第一安全检测开关可在所述维修门异常开启时报警。5.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，所述储液桶用作废液桶，在所述废液桶上依次设有液到位感应开...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，王千熙，谈丽文，成旭，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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