【技术实现步骤摘要】
一种脱胶口硅泥防结块喷淋装置
[0001]本技术涉及硅片生产设备领域,尤其涉及一种脱胶口硅泥防结块喷淋装置。
技术介绍
[0002]硅棒在线切割完成后,送入脱胶机进行脱胶,在脱完胶后,有晶托和硅片的料框送去插片清洗机之前,会有一段较长的等待和周转时间。脱胶并不能去除硅片表面的硅泥,等待和周转过程中,硅泥长期暴露在空气中容易结块,硅泥结块后,后续的清洗工序耗时更多,而且硅片的质量不能保证。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供一种脱胶口硅泥防结块喷淋装置。
[0004]本技术的创新点在于通过喷淋管冲洗硅片组,冲洗硅片组的污泥同时,使硅片保持湿润。
[0005]为实现上述技术目的,本技术的技术方案是:
[0006]一种脱胶口硅泥防结块喷淋装置,包括支撑架,支撑架是上设有一条输送带,支撑架上设有若干条喷淋管,喷淋管上设有若干喷嘴,喷淋管布置在输送带上方,支撑架上设有顶部敞口的污水回收箱, 污水回收箱顶部设有向下凹陷的集污板,集污板中心设有一条沿着输送带布置的集污槽,集污槽两侧壁为伸入箱体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种脱胶口硅泥防结块喷淋装置,包括支撑架,其特征在于,支撑架上设有一条输送带,支撑架上设有若干条喷淋管,喷淋管上设有若干喷嘴,喷淋管布置在输送带上方,支撑架上设有顶部敞口的污水回收箱,污水回收箱顶部设有向下凹陷的集污板,集污板中心设有一条沿着输送带布置的集污槽,集污槽两侧壁为伸入污水回收箱内的竖板,竖板底部与污水回收箱之间存在过流口,竖板与污水回收箱的侧板之间布置有斜板组,污水回收箱上设有回流口,回流口位于斜板组上方,回流口与喷淋管通过水管连通,水管上设有泵体,污水回收箱上设有...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭予安,白大伟,武治军,曹政民,王大伟,万遥,李瑞鹏,张昌银,崔伟,
申请(专利权)人:无锡中环应用材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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