一种RTP灯零件的易分离连接结构及其拆卸方法技术

本发明专利技术公开了一种RTP灯零件的易分离连接结构及其拆卸方法，该连接结构包括灯、拆卸工具，所述灯包括相互连接的灯座、灯体，所述灯座上设有第一螺纹，所述拆卸工具上设有与所述第一螺纹配合的第二螺纹。本发明专利技术解决了现有技术存在的不便拆卸、材料损耗大、拆卸成本高、设备故障时间长等问题。故障时间长等问题。故障时间长等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种RTP灯零件的易分离连接结构及其拆卸方法


[0001]本专利技术涉及半导体RTP设备
，具体是一种RTP灯零件的易分离连接结构及其拆卸方法。

技术介绍

[0002]半导体RTP设备是利用灯传热进行退火的工艺，但是灯有使用寿命，是需要更换的零件。
[0003]现有方法是利用橡胶的弹性拆卸灯的方法，和灯安装状态无关，因为是无法调节力量的特殊拆卸工具，所以当无法顺利拆卸时，是无法额外施加力的方法。使用为更换灯的特殊拆卸工具，根据灯的设置状态，会发生无法拆卸的情况。为了拆卸它，破坏灯玻璃管后，利用夹子来拆卸。用这个方法也无法拆卸时，要拆卸灯壳单元，此时会有昂贵的费用以及故障时间会变长，所以为了从根源上改善这个问题进行了本专利技术。

技术实现思路

[0004]为克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种RTP灯零件的易分离连接结构及其拆卸方法，解决现有技术存在的不便拆卸、材料损耗大、拆卸成本高、设备故障时间长等问题。
[0005]本专利技术解决上述问题所采用的技术方案是：
[0006]一种RTP灯零件的易分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种RTP灯零件的易分离连接结构，其特征在于，包括灯(1)、拆卸工具(2)，所述灯(1)包括相互连接的灯座(11)、灯体(12)，所述灯座(11)上设有第一螺纹(111)，所述拆卸工具(2)上设有与所述第一螺纹(111)配合的第二螺纹(211)。2.根据权利要求1所述的一种RTP灯零件的易分离连接结构，其特征在于，所述拆卸工具(2)包括相互连接的拆卸杆(21)、施力件(22)，所述第二螺纹(211)设于所述拆卸杆(21)远离所述施力件(22)的一端。3.根据权利要求2所述的一种RTP灯零件的易分离连接结构，其特征在于，所述第一螺纹(111)、拆卸杆(21)所述的数量均为两个，所述施力件(22)与两个拆卸杆(21)分别连接。4.根据权利要求3所述的一种RTP灯零件的易分离连接结构，其特征在于，所述施力件(22)为杆状，所述施力件(22)的两端分别与两个拆卸杆(21)连接。5.根据权利要求4所述的一种RTP灯零件的易分离连接结构，其特征在于，两个...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东根，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：