接触检测装置和划片机设备制造方法及图纸

本申请的实施例提供一种接触检测装置和一种划片机设备。该装置包括：第一电路，用于经由两条第一连接线分别连接至第一待检测件，以形成第一回路；第二电路，用于经由两条第二连接线分别连接至第二待检测件，以形成第二回路；以及第一检测模块，用于检测第一回路或第二回路中的第一预设节点的电压，以根据第一预设节点的电压和对应的理论电压，判断第一待检测件和第二待检测件是否因接触而电连接。该装置可以实现及时有效地对两个待检测件的接触检测，并且不易受其他因素的干扰，从而检测准确率和灵敏度均较高。确率和灵敏度均较高。确率和灵敏度均较高。

【技术实现步骤摘要】
接触检测装置和划片机设备


[0001]本申请涉及检测
，具体地，涉及一种接触检测装置和一种划片机设备。

技术介绍

[0002]在一些检测
中，通常要利用检测装置检测多个待检测件之间是否接触，以便于在确定接触的情况下，对待检测件进行进一步控制。
[0003]以晶圆切割领域的划片机设备为例，在利用划片机设备进行硅片切割、晶圆切割以及特殊切割等的过程中，需要精确地判断出切割刀是否与转台进行了接触，以便于在确定接触时控制切割刀停止下降。
[0004]现有技术中，接触检测方案的检测精度较低，也较易受电路中其他因素的干扰，检测的灵敏性和效率也较低。

技术实现思路

[0005]为至少部分地解决上述技术问题，根据本申请的第一方面，提供一种接触检测装置，包括：第一电路，用于经由两条第一连接线分别连接至第一待检测件，以形成第一回路；第二电路，用于经由两条第二连接线分别连接至第二待检测件，以形成第二回路；以及第一检测模块，用于检测第一回路或第二回路中的第一预设节点的电压，以根据第一预设节点的电压和对应的理论电压，判断第一待本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种接触检测装置，其特征在于，包括：第一电路，用于经由两条第一连接线分别连接至第一待检测件，以形成第一回路；第二电路，用于经由两条第二连接线分别连接至第二待检测件，以形成第二回路；以及第一检测模块，用于检测所述第一回路或所述第二回路中的第一预设节点的电压，以根据所述第一预设节点的电压和对应的理论电压，判断所述第一待检测件和所述第二待检测件是否因接触而电连接。2.根据权利要求1所述的接触检测装置，其特征在于，所述装置还包括第二检测模块和/或第三检测模块，其中，所述第二检测模块用于检测所述第一回路中的第二预设节点的电压，以根据所述第二预设节点的电压和对应的理论电压判断所述第一回路是否断开；所述第三检测模块用于检测所述第二回路中的第三预设节点的电压，以根据所述第三预设节点的电压和对应的理论电压判断所述第二回路是否断开。3.根据权利要求1或2所述的接触检测装置，其特征在于，所述装置还包括：处理模块，用于在所述第一回路和所述第二回路均未断开的情况下，根据所述第一预设节点的电压和对应的理论电压，判断所述第一待检测件和所述第二待检测件是否因接触而电连接。4.根据引用权利要求2的权利要求3所述的接触检测装置，其特征在于，所述处理模块还用于：根据所述第二预设节点的电压和对应的理论电压判断所述第一回路是否断开；和/或根据所述第三预设节点的电压和对应的理论电压判断所述第二回路是否断开。5.根据权利要求4所述的接触检测装置，其特征在于，所述装置还包括开关模块；所述开关模块用于基于所述处理模块的控制信号控制形成所述第一回路和/或所述第二回路；所述处理模块还用于在输出所述控制信号之后判断所述第一回路和/或所述第二回路是否断开。6.根据权利要求5所述的接触检测装置，其特征在于，所述处理模块包括：对比子模块，用于对比每个预设节点的电压和对应的理论电压，并根据每个对比结果输出相应的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宁强，张瑞忠，徐旭，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：