一种刀具测高方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种刀具测高方法及装置，可应用于器具测量领域。该方法包括：判断碳刷回路与转台回路是否均处于导通状态；若碳刷回路与转台回路均处于导通状态，则在刀具已进入启动状态的情况下，判断刀具中的碳刷是否处于异常状态；若碳刷未处于异常状态，则控制刀具从预设初始位置向下移动直至与转台接触以进行接触测高。可见，本申请不仅可以判定碳刷回路、转台回路是否断开状态，还可以判定碳刷在正常连接状态下，是否处于异常状态。能够更多地检测到晶圆切割机内部干扰因素，进一步提高了对晶圆切割机刀具测高的精准度。晶圆切割机刀具测高的精准度。晶圆切割机刀具测高的精准度。

【技术实现步骤摘要】
一种刀具测高方法及装置


[0001]本申请涉及器具测量
，尤其涉及一种刀具测高方法及装置。

技术介绍

[0002]在利用晶圆切割机进行精密切割时，为了精确测量刀片与晶圆的高度，需要进行接触测高(CS)。在进行接触测高时会利用到：转台、主轴、刀片、碳刷等晶圆切割机内部部件。传统的接触测高方法为，利用高速旋转的刀片接触转台边缘，由于刀片与台面接触使得转台、主轴、刀片、碳刷形成闭合回路，使接触测高装置状态信号发生改变，这时计算刀片下降的高度，从而得到后续在对转台上放置的晶圆进行切割时刀片需要蟹将的高度。
[0003]目前现有技术中，在执行传统接触测高方法时，仅限于检测刀具(包括刀片、主轴和碳刷等)和转台是否接触以形成回路。而在进行测高的过程中仍会存在一些其他晶圆切割机内部部件的干扰因素，导致接触测高得到的数据缺乏精准度。由此，如何设计出一种能够更加精准的进行接触测高的方法成为本领域亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例提供了一种刀具测高方法及装置，旨在实现使接触测高得到的数据更加精准的要求本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种刀具测高方法，其特征在于，所述方法包括：判断碳刷回路与转台回路是否均处于导通状态；若碳刷回路与转台回路均处于导通状态，则在刀具已进入启动状态的情况下，判断刀具中的碳刷是否处于异常状态；若碳刷未处于异常状态，则控制刀具从预设初始位置向下移动直至与转台接触以进行接触测高。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述判断碳刷回路与转台回路是否均处于导通状态，包括：分别获取碳刷和转台输出的电压信号并得到电压值；分别判断碳刷和转台的电压值是否均大于对应的预设电压阈值，若是，则确定碳刷回路与转台回路均处于导通状态。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述判断刀具中的碳刷是否处于异常状态，包括：对碳刷输出的电压信号进行处理，得到处理信号；判断所述处理信号在预设时间段内信号值的最大值与最小值的差是否大于预设的第一阈值，若否，确定所述碳刷未处于异常状态。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在对碳刷输出的电压信号进行处理前，还包括：获取碳刷输出的电压信号并得到电压值；根据所述电压值得到碳刷的阻值范围，并发送至用户操作页面。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制刀具从预设初始位置向下移动直至与转台接触，包括：将刀具向下移动并对碳刷输出的实时电压信号进行处理，得到实时处理信号；若所述实时处理信号的信号值大于预设的第二阈值，确定所述刀具与所述转台接触并停止刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱时成，陈阳，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：