一种超构表面透镜纳米结构阵列绘制方法技术

本发明专利技术公开了一种超构表面透镜纳米结构阵列绘制方法，包括在KLayout软件中的宏开发窗口中建立一个宏语言文件；在所述宏语言文件中配置Python编程环境，导入pya库；建立图层layer和单元cell；设置超构表面透镜参数，采用循环语句设置每个纳米柱位置和旋向，采用条件语句设置超构表面透镜形状；设置GDS文件输出语句，运行程序，生成GDS文件，完成超构表面透镜纳米结构阵列的绘制。使用KLayout宏编程的方式进行大规模超构表面透镜阵列结构的绘制具有高效、便捷的优点。利用KLayout中的宏，结合Python语言进行扩展编程，能够根据用户需求设计出相应的结构，省力的同时又保证了准确度。度。度。

【技术实现步骤摘要】
一种超构表面透镜纳米结构阵列绘制方法


[0001]本专利技术属于纳米结构阵列绘制
，特别是涉及一种超构表面透镜纳米结构阵列绘制方法。

技术介绍

[0002]工作在可见光波段的超构表面透镜(metalens)通常使用电子束光刻的方式来制备。电子束光刻需要用到超构表面透镜的掩膜版版图文件，通常为GDS格式。利用该文件，可将超构表面透镜的图案转换到掩膜上，从而进行后续的刻蚀等加工工作。利用电子束光刻将超构表面透镜图案定义到抗蚀剂中，通过lift
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off工艺将图案转移至铝掩膜上。掩膜版图形数据由用户自行设计并提交给工艺部门，进行后续的加工工艺。图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤。
[0003]一般常用KLayout软件绘制超构表面透镜结构平面图，生成GDS版图。KLayout软件可用来直接生成GDS格式的版图文件，与其他软件相比，具有兼容性好、经济且使用方便的优点。对于可见光、近红外波段的亚波长周期结构超构表面透镜，其纳米柱单元的尺寸均小于1个波长尺度，处于nm量级，一个直径为mm量级的超构表面透镜，其上的纳米柱就有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超构表面透镜纳米结构阵列绘制方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：S100：在KLayout软件中的宏开发窗口中建立一个宏语言文件；S200：在所述宏语言文件中配置Python编程环境，导入pya库；S300：建立图层layer和单元cell；S400：设置超构表面透镜参数，采用循环语句设置每个纳米柱位置和旋向，采用条件语句设置超构表面透镜形状；S500：设置GDS文件输出语句，运行程序，生成GDS文件，完成超构表面透镜纳米结构阵列的绘制。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，S100包括：在菜单栏里的Macros中选择Macro Development，在Macro Development界面中建立宏语言文件。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，以Python为编程语言，在Python菜单下添加宏语言文件new_python_macro.lym。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，S200包括：在new_python_macro.lym中添加导入pya库的语句importpya，并引入计算纳米柱旋转角度所需的平方根号sqrt。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈雪旗，夏鲁瑞，唐关翠，卢妍，李森，胡吉建，杨烜闻，
申请(专利权)人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学，
类型：发明
国别省市：