【技术实现步骤摘要】
空气输入装置
[0001]本技术属于空气处理
，特别是涉及一种空气输入装置。
技术介绍
[0002]在半导体行业晶圆的生产环节中，需要 EFEM（半导体设备前端模块）设备对晶圆进行分类、预对准搬运传输等工作。而EFEM设备使用需要过滤酸性、碱性、水和有机化合物，需要提供恒温恒湿的洁净空气；
[0003]目前行业内主要的设备供应商如Brooks、Rorze、SIASUN等主要还是采用EFEM设备顶部空气过滤器在EFEM设备内部产生的从上往下高洁净气流。但是目前的空气过滤单元普遍存在送风的风速不均匀，导致内部压力不均衡。
技术实现思路
[0004]本技术主要解决的技术问题是提供一种空气输入装置，进风网板和过滤模块之间设有第一均流腔，过滤模块和加热模块之间设有第二均流腔，加热模块和进风罩之间设有第三均流腔，均流腔的设置起到均流的作用，对进入空气输入装置的气流进行缓冲，使空气均匀的流入EFEM设备。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：一种空气输入装置，包括进风网板、过滤模块...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种空气输入装置，其特征在于：包括进风网板（1）、过滤模块（2）、加热模块（3）和进风罩（4），所述进风网板位于所述过滤模块的上方，所述过滤模块位于所述加热模块的上方，所述加热模块位于所述进风罩的上方，所述进风网板安装于壳体（5），所述壳体的内部设有所述过滤模块和所述加热模块，所述进风罩固定于所述壳体，所述壳体与所述进风罩连通；所述进风网板具有均匀排布的进风孔（11），所述进风孔贯穿所述进风网板的上、下表面，所述进风网板的侧边向下延伸翻卷形成延长段（12），所述延长段与所述进风网板相互垂直设置，所述进风网板和所述过滤模块之间设有第一均流腔（6）；所述过滤模块和所述加热模块之间设有第二均流腔（7），所述加热模块和所述进风罩之间设有第三均流腔（8）；所述加热模块包括固定框（31）和固定于固定框的若干根加热管（32），若干根所述加热管均匀排布于所述固定框的内部，且若干根所述加热管相互平行设置；所述进风罩为下大上小的结构，所述进风罩的相对两侧壁为斜面（41），且斜面的倾斜方向沿着壳体内空气流动的方向逐渐向所述进风罩的外侧倾斜。2.根据权利要求1所述的空气输入装置，其特征在于：所述壳体的内壁安装有第一安装框（51）...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓彤，余杭，倪素丽，
申请(专利权)人：苏州悠远环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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