一种光泵浦的薄片波导单模激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种光泵浦的薄片波导单模激光器，包括一体封装的基板、设置于基板一侧的散热组件、设置于基板另一侧的包层和设置于包层内的单模传输组件，单模传输组件的折射率高于包层。本发明专利技术采用上述结构的光泵浦的薄片波导单模激光器，具有散热性能良好、激光阈值低、稳定性高、结构简单紧凑、运行稳定、制备方法灵活等优点，能够实现高质量、大功率的连续单模激光输出。单模激光输出。单模激光输出。

【技术实现步骤摘要】
一种光泵浦的薄片波导单模激光器


[0001]本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种光泵浦的薄片波导单模激光器。

技术介绍

[0002]固体激光器在生产和科研等国际前沿领域具有广泛的应用前景。未来光泵浦固体激光器的重要发展趋势要求高功率、高效率和高光束质量的激光输出，而固体激光增益介质内部热效应是制约固体激光器发展的重要因素之一。随着输出功率的增高，介质热效应严重降低了转换效率并破坏了光束质量，这不仅会影响腔体的稳定性，而且会改变TEM00模式的光斑尺寸，明显限制TEM00激光器的功率扩展。
[0003]目前波导激光器一般为高纵横比的结构，其由高折射率的波导层和低折射率的包层组成。该结构数值孔径较大，对非衍射极限的光束有很好的束缚作用，可有效防止自由空间发散，对泵浦光吸收效率更高，且具有很好的散热能力，可以及时传导激光器发射中产生的废热，有效克服热效应带来的性能劣化。
[0004]目前，片上波导激光器的主流做法为利用飞秒激光直写、离子注入和离子交换等技术在激光晶体中制备光波导和谐振腔等结构以限制光场的传输，这类通过激光或离子束能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光泵浦的薄片波导单模激光器，其特征在于：包括一体封装的基板、设置于基板一侧的散热组件、设置于基板另一侧的包层和设置于包层内的单模传输组件，单模传输组件的折射率高于包层。2.根据权利要求1所述的一种光泵浦的薄片波导单模激光器，其特征在于：单模传输组件为增益介质波导，增益介质波导包括依次连接的输入直波导、增益波导和输出渐变脊型波导，输入直波导和增益波导的材质均为钇铝石榴石；增益波导包括呈反方向、等距螺线布置的输入增益波导和输出增益波导，输入增益波导和输出增益波导之间经S型波导连接；输入直波导的一端与光纤连接，另一端依次经输入增益波导、S型波导、输出增益波导连接第一输出渐变脊型波导。3.根据权利要求2所述的一种光泵浦的薄片波导单模激光器，其特征在于：第一输出渐变脊型波导包括连接锥度和脊型波导，连接锥度一端与输出增益波导连接，另一端与脊型波导连接，连接锥度的厚度与脊型波导上的蚀刻残余厚度相同。4.根据权利要求3所述的一种光泵浦的薄片波导单模激光器，其特征在于：连接锥度的厚度为4μm，脊型波导的脊高为6μm、脊宽为10μm，蚀刻残余的高度为4μm、宽度为26μm。5.根据权利要求2所述的一种光泵浦的薄片波导单模激光器，其特征在于：增益介质波导的总长度为70cm，孔径为10μm，且大于单模光纤芯径；输入直波导和增益波导的横截面均为边长为10μm的正方形；增益波导等距螺线的最大曲率半径为2cm，最小曲率...

【专利技术属性】
技术研发人员：李涛，宋泽琳，左志远，梁洋，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：