光学成像系统、用于相机校准的成像方法及相机校准方法技术方案

本发明专利技术的实施例提供了一种光学成像系统、用于相机校准的成像方法及相机校准方法，系统包括：第一相机、载物台、第二光学元件和第一校准组件；其中，载物台用于承载待成像的目标对象；第一相机用于对目标对象进行成像；第一校准组件包括第一光源和第一反射镜，第一反射镜用于将来自第一光源的光反射到第二光学元件；第二光学元件和第一相机相向地分布在载物台的两侧，第二光学元件用于将来自第一反射镜的光反射到第一相机，以在第一相机的成像中形成第一光斑，第一光斑用于对第一相机进行校准，以使第一相机的轴线垂直于载物台所在的平面。该方案可以保证相机成像清晰。同时，上述方案无需繁琐的计算以及复杂的仪器设备，实现成本较低。较低。较低。

【技术实现步骤摘要】
光学成像系统、用于相机校准的成像方法及相机校准方法


[0001]本专利技术涉及光学
，更具体地涉及一种光学成像系统、一种用于相机校准的成像方法和一种相机校准方法。

技术介绍

[0002]相机是一种将光学数据转换为电子数据的设备，其可以实现将物体发出或反射的光进行记录，并转换为电信号，然后在电子设备上以图像形式呈现。相机的成像利用小孔成像的原理，其镜头相当于是凸透镜。物体发出或反射的光经过镜头后，可以在感光元件上形成倒立、缩小的影像。感光元件可以将该影像对应的光信号转换为电信号进行存储，并发送给电子设备进行处理和显示。在一些实施例中，感光元件可以是电荷耦合元件(Charge
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coupledDevice，CCD)或者是互补金属氧化物半导体(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，CMOS)。
[0003]对于具有高倍率镜头的高精度相机来说，高倍率镜头的景深很小，一般在20微米以下。以待成像的目标对象为晶圆为例，其厚度可能在300到1500微米之间。在更换待成像的目标对象时，例如，从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学成像系统，其特征在于，包括：第一相机、载物台、第二光学元件和第一校准组件；其中，所述载物台用于承载待成像的目标对象；所述第一相机用于对所述目标对象进行成像；所述第一校准组件包括第一光源和第一反射镜，所述第一反射镜用于将来自所述第一光源的光反射到所述第二光学元件；所述第二光学元件和所述第一相机相向地分布在所述载物台的两侧，所述第二光学元件用于将来自所述第一反射镜的光反射到所述第一相机，以在所述第一相机的成像中形成第一光斑，所述第一光斑用于对所述第一相机进行校准，以使所述第一相机的轴线垂直于所述载物台所在的平面。2.根据权利要求1所述的光学成像系统，其特征在于，所述系统还包括处理器和第一驱动机构，所述处理器用于根据所述第一光斑在所述第一相机的成像中的位置，确定所述第一相机的偏斜状态；所述第一驱动机构用于根据所述第一相机的偏斜状态，校准所述第一相机，以使所述第一相机的轴线垂直于所述载物台所在的平面。3.根据权利要求1或2所述的光学成像系统，其特征在于，所述第一光源的中心线垂直于所述载物台所在的平面，所述第一反射镜与所述第一光源的中心线成45度角。4.根据权利要求1或2所述的光学成像系统，其特征在于，所述系统还包括第二相机，所述第二相机也用于对所述目标对象进行成像；所述第二光学元件设置在所述第二相机上并位于所述第一相机和所述第二相机之间。5.根据权利要求4所述的光学成像系统，其特征在于，所述系统还包括第一光学元件，所述第一光学元件位于所述第一相机和所述载物台之间，所述系统还包括第二校准组件，所述第二校准组件包括第二光源和第二反射镜，所述第二反射镜用于将来自所述第二光源的光反射到所述第一光学元件；所述第一光学元件用于将来自所述第二反射镜的光反射到所述第二光学元件，所述第二光学元件还用于将来自所述第一光学元件的光透射到所述第二相机，以在所述第二相机的成像中形成第二光斑，所述第二光斑用于对所述第二相机进行校准，以使所述第二相机的轴线垂直于所述载物台所在的平面；所述第一光学元件还用于将来自所述第二光学元件的光透射到所述第一相机。6.根据权利要求5所述的光学成像系统，其特征在于，所述系统还包括处理器和第二驱动机构，所述处理器用于根据所述第二光斑在所述第二相机的成像中的位置，确定所述第二相机的偏斜状态；所述第二驱动机...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱小明，周振兴，蒯多杰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：发明
国别省市：