因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座技术

本发明专利技术涉及3D打印技术领域，尤其涉及一种因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座。所述因瓦合金的3D打印方法适用于以铁为基体、镍含量范围为30％～40％、粉末粒径范围为15μm～53μm的因瓦合金，所述因瓦合金的3D打印方法包括如下步骤：步骤a、将所需打印的目标产品划分为主体部分和柔性部分；步骤b、分别设置主体部分的打印参数和柔性部分的打印参数，然后进行3D打印；步骤c、对3D打印的产品进行热处理。该方法打印出的因瓦合金热膨胀系数低且力学性能优异，采用上述参数打印的因瓦合金热膨胀系数在0.3

【技术实现步骤摘要】
因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座


[0001]本专利技术涉及3D打印
，尤其涉及一种因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座。

技术介绍

[0002]在复杂的光学系统中，尤其在双频激光干涉测量系统中，经常出现折转光束、分解光束等需求，因此经常会使用分立的分光镜、反射镜等薄片型光学元件。由于对被折转、分解光束的位置和方向均有一定要求，因此所述光学元件在光学系统中的安装方向和位置精度也有相应要求。目前，光学系统中出现光束转折或者分解的需求时，通常将反射镜或平面镜等光学元件直接固定在镜座上，通过镜座上的一些接口，将反射镜或平面镜引入到光学系统中。随着光学系统越来越复杂，安装精度的要求不断提高，通常光学接口需要设置柔性结构，这种柔性结构往往需要零件加工完成后再通过线切割或者机加工手段削薄接口与基体的连接区域，从而保证柔性。
[0003]目前，为了满足光镜安装的高精度需求，通常需要制造光镜安装座，因瓦合金是一种低膨胀合金，在常温或低温范围内具有极低的膨胀系数的合金。因该类合金的塑性良好、性能稳定、导热性差，所以主要用于制造在环境温度变化范围内要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种因瓦合金的3D打印方法，其特征在于，所述因瓦合金的3D打印方法适用于以铁为基体、镍含量范围为30％～40％、粉末粒径范围为15μm～53μm的因瓦合金，所述因瓦合金的3D打印方法包括如下步骤：步骤a、将所需打印的目标产品划分为主体部分和柔性部分；步骤b、分别设置主体部分的打印参数和柔性部分的打印参数，然后进行3D打印；步骤c、对3D打印的产品进行热处理。2.根据权利要求1所述的因瓦合金的3D打印方法，其特征在于，在步骤b中，所述主体部分的打印参数包括实心填充体参数P
infill
、支撑结构体参数P
support
、上表面结构参数P
upskin
和下表面结构参数P
downskin
。3.根据权利要求2所述的因瓦合金的3D打印方法，其特征在于，所述实心填充体参数P
infill
为：激光功率的范围为200W～300W，扫描速率的范围为500mm/s～1100mm/s，打印层厚的范围为30μm～60μm，扫描间距的范围为80μm～180μm。4.根据权利要求2所述的因瓦合金的3D打印方法，其特征在于，所述支撑结构体参数P
support
为：激光功率的范围为100W～150W，扫描速率的范围为800mm/s～1200mm/s，打印层厚的范围为30μm～60μm，扫描间距的范围为80μm～180μm。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵仁洁，杨超，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：