模块化多功能自动半导体测试装置制造方法及图纸

技术编号:37759414 阅读:11 留言:0更新日期:2023-06-05 23:51
本实用新型专利技术公开了模块化多功能自动半导体测试装置,用于实现不同半导体产品的测试兼容和切换,包括平台模块和测试模块,所述测试模块安装于所述平台模块,所述测试模块包括操作单元和测试单元,所述测试单元安装于所述操作单元,所述测试单元包括盖板、下底板和针板夹具。本实用新型专利技术公开的模块化多功能自动半导体测试装置,其通过平台模块和测试模块进行联动,从而对半导体产品进行自动多功能测试,并且为了满足不同待测试的产品,只需更换对应匹配的针板夹具,从而具有统一用于多种板卡的集成一体化测试功能,其具有集成化、效率高和结构稳定等优点。构稳定等优点。构稳定等优点。

【技术实现步骤摘要】
模块化多功能自动半导体测试装置


[0001]本技术属于半导体产品测试设备
,具体涉及一种模块化多功能自动半导体测试装置。

技术介绍

[0002]随着科技发展,企业对半导体芯片测试设备的需求不断加大,而且对半导体芯片测试设备性能要求也越来越精密,功能越来越复杂,开发周期不断减少和迭代速度不断加快,测试设备和相关板卡需要不断推陈出新,相关板卡的测试设备也需要不断升级和更改,相应的开发成本也会随之不断增加。
[0003]目前在半导体测试设备领域内对其内部所涉及的硬件电路如电源控制板卡和数字&模拟控制板卡在其性能检测如电压静态阻抗,输出电压精度以及输出时钟频率信号等存在检测手段单一,自动化程度低以及测试覆盖率差等问题,传统的ICT测试设备存在开发周期长和测试性价比低的问题。
[0004]为了能提高半导体测试设备稳定性及精度等性能,急需开发一套针对半导体设备硬件电路测量&检测的运用平台,要求做到:测试操作简单,测试方法精确,自动化测试程度高,模块化设计,能统一用于多种板卡的集成一体化测试,同时要求通用平台及定制化的针板等部件为模块化分体设计,降低新设计的难度,大大提高新设备的推出速度,大幅降低开发设计成本。

技术实现思路

[0005]本技术的主要目的在于提供一种模块化多功能自动半导体测试装置,其通过平台模块和测试模块进行联动,从而对半导体产品进行自动多功能测试,并且为了满足不同待测试的产品,只需更换对应匹配的针板夹具,从而具有统一用于多种板卡的集成一体化测试功能,其具有集成化、效率高和结构稳定等优点。
[0006]为达到以上目的,本技术提供一种模块化多功能自动半导体测试装置,用于实现不同半导体产品的测试兼容和切换,包括平台模块和测试模块,所述测试模块安装于所述平台模块,其中:
[0007]所述测试模块包括操作单元和测试单元,所述测试单元安装于所述操作单元,所述测试单元包括盖板、下底板和针板夹具,所述针板夹具位于所述盖板和所述下底板之间并且所述针板夹具用于安装半导体产品,所述操作单元包括固定板、掀开结构和把手,所述掀开结构安装于所述固定板并且所述把手安装于所述掀开结构;
[0008]所述平台模块包括外壳并且内置于所述外壳的电源供应模块组件、继电器组件、继电器控制板卡和数字量控制板卡,所述继电器控制板卡与所述继电器组件电性连接。
[0009]作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述掀开结构包括第一组件、第二组件和第三组件,其中:
[0010]所述第一组件固定安装于所述固定板,所述第二组件位于所述第一组件上方并且
所述第二组件和所述第一组件通过第一连接件铰接,所述第三组件固定安装于所述第二组件远离所述第一组件的一侧(第三组件优选分布于所述第二组件的两侧);
[0011]所述把手固定安装于所述第二组件并且所述把手位于所述第二组件远离第一连接件的一侧(第一组件和第二组件的一侧铰接,把手安装于第二组件的另一侧,从而通过把手可以将第二组件的一侧抬起,从而使得第一组件和第二组件之间具有空间夹角,进而可以将半导体产品放置于针板夹具)。
[0012]作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述掀开结构还包括固定组件,所述固定组件包括滑块、固定块和连接杆,其中:
[0013]所述滑块安装于所述第二组件并且所述固定块安装于第一组件,所述连接杆的一端连接于所述滑块并且所述连接杆的另一端连接于所述固定块(在第二组件和第一组件的两侧均设有固定组件,当把手将第二组件掀开时,固定块在第一组件上固定不动,而滑块在第二组件的滑槽上滑动,连接杆包括固定部分和活动部分,固定部分连接于固定块并且活动部分连接于滑块,活动部分可以相对于固定部分伸长和收缩,所以在第二组件被掀开时,滑块上升的同时也在滑槽上滑动,然后活动部分从固定部分中伸出,在滑槽上设有若干固定点位,进而滑块在滑动到固定点位时被卡主,从而使得第二组件被掀开时不通过人工的双手即可与第一组件设有空间角度,解放双手从而可以将半导体产品更好的放置于针板夹具)。
[0014]作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述针板夹具包括上针板和下针板,所述下针板固定安装于所述下底板并且所述上针板通过第二连接件固定安装于所述第三组件,所述盖板固定安装于所述第二组件(在第二组件被掀开的同时,固定于第二组件的第三组件也被掀开,从而盖板和上针板也被掀开,就会露出下针板,就可以将半导体产品放置于下针板,然后再通过把手将第二组件盖于第一组件,最终使得将半导体产品固定于与之匹配的上针板和下针板之间,如果要更换待测的半导体产品的种类,即更换与之匹配的上针板和下针板即可,其余模块组件不用更换,适用范围广)。
[0015]作为上述技术方案的进一步优选的技术方案,所述外壳设有第一启动按钮、第二启动按钮和急停按钮(外壳的内部设有气缸,第一启动按钮和第二启动按钮同时被按下后,触发气缸,从而使得气缸使用气动方式将针板夹具整体下压,使待测半导体产品的需要测试的信号Pin脚与底部针板夹具(下针板)上对应的探针紧密接触,确保测试的稳定性;急停按钮用于在突发异常情况时进行急停)。
附图说明
[0016]图1A是本技术的模块化多功能自动半导体测试装置的结构示意图。
[0017]图1B是本技术的模块化多功能自动半导体测试装置的结构示意图。
[0018]图2是本技术的模块化多功能自动半导体测试装置的结构示意图。
[0019]图3是沿图2的AA方向的结构示意图。
[0020]图4是本技术的模块化多功能自动半导体测试装置的固定组件的结构示意图。
[0021]图5是本技术的模块化多功能自动半导体测试装置的平台模块的结构示意图。
[0022]附图标记包括:100、平台模块;110、外壳;111、第一启动按钮;112、第二启动按钮;113、急停按钮;120、电源供应模块组件;130、继电器组件;140、继电器控制板卡;150、数字量控制板卡;200、测试模块;210、测试单元;211、盖板;212、下底板;213、针板夹具;2131、上针板;2132、下针板;220、操作单元;221、固定板;222、掀开结构;2221、第一组件;2222、第二组件;2223、第三组件;22231、第二连接件;2224、第一连接件;2225、固定组件;22251、滑块;22252、固定块;22253、连接杆;223、把手;300、半导体产品。
具体实施方式
[0023]以下描述用于揭露本技术以使本领域技术人员能够实现本技术。以下描述中的优选实施例只作为举例,本领域技术人员可以想到其他显而易见的变型。在以下描述中界定的本技术的基本原理可以应用于其他实施方案、变形方案、改进方案、等同方案以及没有背离本技术的精神和范围的其他技术方案。
[0024]本技术公开了模块化多功能自动半导体测试装置,下面结合优选实施例,对技术的具体实施例本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种模块化多功能自动半导体测试装置,用于实现不同半导体产品的测试兼容和切换,其特征在于,包括平台模块和测试模块,所述测试模块安装于所述平台模块,其中:所述测试模块包括操作单元和测试单元,所述测试单元安装于所述操作单元,所述测试单元包括盖板、下底板和针板夹具,所述针板夹具位于所述盖板和所述下底板之间并且所述针板夹具用于安装半导体产品,所述操作单元包括固定板、掀开结构和把手,所述掀开结构安装于所述固定板并且所述把手安装于所述掀开结构;所述平台模块包括外壳并且内置于所述外壳的电源供应模块组件、继电器组件、继电器控制板卡和数字量控制板卡,所述继电器控制板卡与所述继电器组件电性连接。2.根据权利要求1所述的一种模块化多功能自动半导体测试装置,其特征在于,所述掀开结构包括第一组件、第二组件和第三组件,其中:所述第一组件固定安装于所述固定板,所述第二组件位于所述第一组件上方并且所述第二组件和...

【专利技术属性】
技术研发人员:义新平谷陈鹏
申请(专利权)人:上海鹏武电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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