传感装置制造方法及图纸

技术编号：37748794 阅读：11 留言：0更新日期：2023-06-05 23:34

一种传感装置(10、210)，包括：弹性部件(20、220、720、820)；传感腔(50、250)，弹性部件(20、220、720、820)构成传感腔(50、250)的第一侧壁；和换能部件(30、230)，用于获取传感信号并转换为电信号，换能部件(30、230)与传感腔(50、250)连通，传感信号与传感腔(50、250)的体积变化相关，其中，弹性部件(20、220、720、820)朝向传感腔(50、250)的一侧设置有凸起结构(23、223、823)，弹性部件(20、220、720、820)响应于外部信号而使得凸起结构(23、223、823)运动，凸起结构(23、223、823)的运动改变传感腔(50、250)的体积。250)的体积。250)的体积。250)的体积。