一种绑定靶材间隙的清理设备制造技术

本申请涉及靶材生产设备领域，公开了一种绑定靶材间隙的清理设备，包括相互铰接的第一手柄和第二手柄，所述第一手柄一端为第一手持部，另一端为第一线支撑装置，所述第二手柄一端为第二手持部，另一端为第二线支撑装置，其特征在于，还包括清理线、收线轮和限位器，所述清理线一端与第一手柄、第二手柄或线轮固定连接，所述清理线的另一端与线轮固定连接；所述限位器用于限制收线轮转动。其可以手动调节清理范围，实现对边角处的残留的杂质进行清理，同时因其范围可以调节，也能够避免大范围的二次清洁造成靶材表面地过多损伤。次清洁造成靶材表面地过多损伤。次清洁造成靶材表面地过多损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种绑定靶材间隙的清理设备


[0001]本申请涉及靶材生产设备领域，尤其涉及一种绑定靶材间隙的清理设备。

技术介绍

[0002]目前，靶材是半导体、显示面板、异质结光伏领域等的关键核心材料，存在工艺不可替代性，在靶材溅射过程中为了防止靶材因为受热不均匀而发生碎裂，通常采用靶材绑定的方式，另外绑定靶材还可以节省成本，防止变形，如靶材太贵，可将靶材做薄些，绑定背靶以防止变形，决定溅射靶材性能的关键参数之一是溅射靶材与背板之间绑定的完整性及结合率，靶材在绑定后，靶坯与背板通常存在绑定间隙，间隙尺寸通常在0.5mm以内，绑定间隙中可能会存在一些绑定介质或者杂质，在溅射之前，必须清理干净，否则会影响溅射质量，但是因为尺寸太小，对于清理间隙加大难度，尤其是对于拼接旋转靶材，每节材之间存在的间隙较深(通常为靶材的厚度)，再加上每节靶材间隙较小，因此，在不破坏靶材的情况下，很难处理，现常用的处理方式为用砂纸抛光，但是因为抛光过程容易产生粉尘并且容易伤到靶材，因此提出新的处理方式迫在眉睫。
[0003]中国专利202022976247.0公开了一种平面靶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种绑定靶材间隙的清理设备，包括相互铰接的第一手柄和第二手柄，所述第一手柄一端为第一手持部，另一端为第一线支撑装置，所述第二手柄一端为第二手持部，另一端为第二线支撑装置，其特征在于，还包括清理线、收线轮和限位器，所述清理线一端与第一手柄、第二手柄或线轮固定连接，所述清理线的另一端与线轮固定连接；所述限位器用于限制收线轮转动。2.根据权利要求1所述的绑定靶材间隙的清理设备，其特征在于，所述收线轮包括轮轴和收线轮本体，所述收线轮本体套设在轮轴外表面，所述轮轴设有第一通孔，所述收线轮本体设有适配器，所述限位器穿过适配器和第一通孔，进而限制收线轮转动。3.根据权利要求1所述的绑定靶材间隙的清理设备，其特征在于，所述收线轮的轴向设有第二通孔，所述限位器穿过第二通孔与第一手柄...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳晓聪，黄宇彬，潘铭枫，童培云，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：新型
国别省市：