高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器制造技术

本发明专利技术提供一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。该等离子体灭菌器，不会对人体和环境造成污染，不会对敏感医疗器械造成热损伤。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，尤其是在真空室中的灭菌台架与壳体共地，在灭菌台架与壳体之间设有射频电极，而在射频电极与壳体之 间是填充有绝缘介质材料的等离子体灭菌器。
技术介绍
在医疗领域随着各种高新医疗仪器和器材的日益广泛应用，如何对这些器械进行 低温灭菌和高效消毒成为医疗领域的新难题。传统高温湿灭菌已不能适应快速、高效、无 腐蚀、无变性的新要求。液态灭菌剂，如戊二醛类，由于其刺激性、毒性及腐蚀性，已无法实 现对精密医疗器械，如口腔类器材的灭菌，只能用于一般的消毒。而常用的环氧乙烷灭菌耗 时长，对器要求高，具毒性大。用简单的气体过氧化氢及液态过氧乙酸灭菌，其操作复杂，待 灭菌材料，如葡聚酸，塑料和橡胶等常用的医疗器械材料的化学变性，以及对医疗人员的刺 激，损伤，也是其无法避免的缺陷。射频真空低温等离子体技术已广泛的应用于(1)薄膜材料的制备。(2)材料表面 的改性。(3)表面溅射和表面刻蚀等。(4)材料表面的清洗以及材料表面的消毒和灭菌。但是，通常的真空等离子体灭菌柜是把载物台作为悬浮电极，等离子体是产生在 射频电极与真空室壁之间，实际扩散到载物台一侧的等离子体较少，因此等离子体的利用 率较低。
技术实现思路
为了提高真空室内等离子体的实际利用率，本专利技术提供一种新型的高效射频电容 耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系 统，其特征在于在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系 统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空 室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是 填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频 电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，其特征在于在壳体中的真空室 设有真空密闭门、抽气口、进气口、放气阀口以及电极接口，真空室的形状为圆筒形或为方 形，在该真空室的中间位置放置灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架是由带 空的金属薄板材料制成，该框架与壳体相连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频 电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端 连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内。本专利技术是一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，其优点是1，在射 频电极与壳体之间填充有绝缘介质材料，避免了等离子体在两者之间产生；2，等离子体放 电是产生在射频电极和灭菌框架之间，灭菌框架是采用网孔结构使等离子体更容易扩散到灭菌框架内。附图说明图(1)为本专利技术真空灭菌腔体结构剖视视示意图；图(2)为本专利技术的壳体侧视结构剖视图； 图(3)为本专利技术的正面结构示意图。首先，请参阅图(1)、图(2)和图(3)，该高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器， 包括一个壳体100、真空室104、射频电源106、进气114系统，抽气111系统，自动控制107 系统，其特征在于在真空室腔体104的中间位置设有灭菌框架105，该灭菌框架105是用 网状金属材料制成，被灭菌的物品是放置在该框架105内，该框架105与壳体104连接并共 地，在该灭菌框架105与真空腔体104之间设有射频电极103，在该射频电极103与真空腔 体104之间是填充有绝缘介质材料102，该射频电极103与射频电源106的输出端连接，真 空壳体104与地连接，等离子体放电是产生在射频电极103和灭菌框架105之间并扩散到 灭菌框架105内对物品进行消毒灭菌。如图⑵和图(3)所示，真空室腔体104是安装在壳体100的上部位置，真空室 腔体104的底面安装有真空抽气接口 120，射频电极连接口 119，进气口 115和出气口 116。 在真空室腔体104正面设有带玻璃观察窗121的开启门118，门把手为122 ；在真空室腔体 104的一侧安装触摸屏107以及PLC控制系统，由PLC控制的打印机109。在壳体100中部 安装一个射频电源106和一个射频电源的匹配器113，以及超声雾化罐114，其罐内的液面 高度可以由一个透明玻璃管108显示；在壳体100下部安装一个机械泵111，机械泵电磁阀 112。该壳体100可以采用金属材料也可以采用聚合物材料制成，真空室腔体104是采 用不锈钢材料制成，射频电极103和灭菌框架105是采用带孔的金属薄板制成，被消毒的器 械可以放置在灭菌框架105进行消毒。上面参考附图结合具体的实施例对本专利技术进行了描述，然而，需要说明的是，对于 本领域的技术人员而言，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，可以对上述实施例作出 许多改变和修改，这些改变和修改都落在本专利技术的权利要求限定的范围内。权利要求一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。2.如权利要求1所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空 室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于在壳体中的真空室，设有真空 密闭门、抽气口、进气口、放气阀口以及电极接口，真空室的形状为圆筒形或为方形，在该真 空室的中间位置放置灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内。3.如权利要求1和2所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真 空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于该真空室中间位置的灭菌框 架是由带多空的金属薄板材料制成，该框架与真空室壳体相连接并接地，在该灭菌框架与 壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与 射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框 架内。4.如权利要求1所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空 室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于在同一个壳体内还包括一个真 空室腔体、射频电源、进气和抽气系统、自动控制系统。5.如权利要求1和4所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真 空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于该壳体内的射频电源选用频 率为13. 56MHz或27. 12MHz的电源，射频电源的匹配器采用自动匹配。6.如权利要求1和4所述的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真 空室、射频电源、进气和抽气系统，其特征在于该壳体内的进气系统是包括一个液体超声 雾化装置、一个控制气体导管的电磁阀，气体导管与真空腔体进气口贯通；该壳体内的抽气 系统包括机械真空泵和与真空腔体连接的抽气管道。7.如权利要求1和4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型的高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器，包括一个壳体、真空室、射频电源、进气和抽气系统，自动控制系统，其特征在于：在该灭菌器中包含一个真空室以及与其连接的射频电源、进气和抽气系统，在该真空室的中间位置设有灭菌框架，被灭菌的物品是放置在该框架内，该框架与真空室壳体连接并接地，在该灭菌框架与壳体之间设有射频电极，在该射频电极与壳体之间是填充有绝缘介质材料，该射频电极与射频电源的输出端连接，等离子体放电是产生在射频电极和灭菌框架之间并扩散到灭菌框架内对物品进行消毒灭菌的装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王守国，赵玲利，杨景华，张超前，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]