一种样品转移保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种样品转移保护装置，涉及转移设备技术领域，包括控制器；与控制器连接的驱动组件；箱体；与箱体活动连接的箱盖；样品台，样品台的一端和驱动组件连接，样品台的另一端和箱盖连接；连接于箱盖上的密封圈，沿箱盖至箱体方向，密封圈的外圈周长逐渐减小。本实用新型专利技术的技术效果在于它的密封性好，并使样品全程处于干燥保护性气氛或真空环境中。中。中。

【技术实现步骤摘要】
一种样品转移保护装置


[0001]本技术涉及转移设备
，具体涉及一种样品转移保护装置。

技术介绍

[0002]在应用扫描电镜(SEM)和聚焦离子束(FIB)进行材料检测和加工时，某些样品易与空气中的氧气、水等物质发生化学反应，从而导致样品的化学结构发生变化，因此，需要一种样品转移保护装置对样品进行转移和保护。
[0003]但是，相关的转移装置的密封性较差，从而导致转移装置内进入较多空气，使得某些对空气或水蒸气敏感的样品的结构和形貌无法得到有效保护，从而影响检测结果的准确性。

技术实现思路

[0004]1、技术要解决的技术问题
[0005]针对上述技术问题，本技术提供了一种样品转移保护装置，它的密封性好，并使样品全程处于干燥保护性气氛或真空环境中。
[0006]2、技术方案
[0007]为解决上述问题，本技术提供的技术方案为：
[0008]一种样品转移保护装置，包括：
[0009]控制器；
[0010]与所述控制器连接的驱动组件；
[0011]箱体；
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种样品转移保护装置，其特征在于，包括：控制器；与所述控制器连接的驱动组件；箱体；与所述箱体活动连接的箱盖；样品台，所述样品台的一端和所述驱动组件连接，所述样品台的另一端和所述箱盖连接；连接于所述箱盖上的密封圈，沿所述箱盖至所述箱体方向，所述密封圈的外圈周长逐渐减小。2.根据权利要求1所述的一种样品转移保护装置，其特征在于，所述密封圈靠近所述箱体的一侧设有凹槽。3.根据权利要求2所述的一种样品转移保护装置，其特征在于，所述凹槽为闭合矩形凹槽。4.根据权利要求1
‑
3任一项所述的一种样品转移保护装置，其特征在于，所述驱动组件包括驱动器和与所述驱动器连接的驱动单元，所述驱动器和所述控制器连接，所述驱动单元和所述样品台连接。5.根据权利要求1
‑
3任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王义林，陈晨，张大梁，
申请(专利权)人：嘉兴悦华生物科技有限公司，
类型：新型
国别省市：