一种高透过率的紫外滤光片及实现方法技术

本发明专利技术公开了一种高透过率的紫外滤光片及实现方法。滤光片膜系设计为光控规整膜层和双腔法布里

【技术实现步骤摘要】
一种高透过率的紫外滤光片及实现方法


[0001]本专利技术涉及光学薄膜技术，具体指一种具有高透过率的紫外滤光片的设计方法及其工艺实现。

技术介绍

[0002]紫外波段的波长范围是10
‑
400nm。紫外波段在现代科学技术和日常生活中有重要作用。在太空探测领域，由于元素的中性态和电离态的共振线在紫外区比在可见区丰富，共振线对研究天体的物理状态和化学组成极为敏感，紫外望远镜和摄谱仪的工作波段已经扩展到了115
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400nm(参见文献[1])。在对地通信遥感领域，由于240
‑
280nm光谱波段在穿过地球大气层的过程中几乎被臭氧层完全吸收，对该波段的通信探测具有抗干扰能力强和高灵敏度等优点。在医辽和检测领域，不同波段的紫外光被应用于光疗保健、紫外杀菌、紫外荧光分析等方面。在这些紫外光谱应用领域，紫外滤光片作为截取紫外光谱信息的重要光学元件发挥着广泛作用。
[0003]基于法布里
‑
珀珞(F
‑
P)结构的带通滤光片，其基本结构可以用[反射层M/间隔层C/反本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高透过率的紫外滤光片，由基片及位于基片一侧的带通膜系组成，其特征在于：所述的膜系为光控规整膜层和双腔法布里
‑
珀珞结构非规整膜层相结合，膜系结构为：基底/(1H 1L)
m
(0.5H 0.5L)
n 0.5H A 0.5H(0.5L 0.5H)
n 0.5L(0.5H 0.5L)
n
0.5H B 0.5H(0.5L 0.5H)
n 0.2L/空气式中:H表示光学厚度为λ0/4的Ta2O5膜层，L表示光学厚度为λ0/4的SiO2膜层，H、L前的数字为该膜层的厚度比例系数，H和L的光学厚度位于可见光波段，0.5H和0.5L的光学厚度位于紫外波段，λ0为中心波长，m为规整膜层周期数，n为反射膜层周期数；A和B分别为两个间隔膜层，间隔膜层A光学厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：马冲，陈刚，刘定权，张荣君，周晟，蔡清元，李耀鹏，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：