【技术实现步骤摘要】
一种集成电路拾取装置
[0001]本技术涉及集成电路
,具体为一种集成电路拾取装置。
技术介绍
[0002]集成电路一般通过光刻机雕刻在晶圆上,晶圆,也叫基片,是指制造半导体晶体管或集成电路的衬底,在集成电路雕刻完毕后,需要对集成电路进行老化和终测,以保证集成电路的后期性能,在上述老化和FT测试中需要用手直接将负载有集成电路的晶圆放置在测试仪的测试筒内并手动盖上测试筒的密封盖进行测试,此过程中不方便负载有集成电路的晶圆的拾取操作。
[0003]如中国专利公告号CN216747974U所公开了一种集成电路拾取装置及集成电路测试装置,在使用时,可用食指与中指与两组手指支撑板的下端接触并对空心管形成夹持状,大拇指放置在按压杆的上端,按压按压杆使得复位弹簧被压缩,将吸盘的下端与晶圆的上端面形成挤压接触,再松开大拇指,通过复位弹簧的弹力作用将使得按压杆向上运动,从而将晶圆吸起,再使得手指从测试筒的正前方做靠近测试筒的运动,通过光发射器和光接收器组成光电开关,通过手部对光线的遮挡从而控制器得到感应电流的变化,进而控制驱动电 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路拾取装置,包括检测台(1)和支撑柱(2),两根所述支撑柱(2)设置于检测台(1)的后端左右两侧,其特征在于:两根所述支撑柱(2)之间设置有自动拾取装置(3);所述自动拾取装置(3)包括移动机构、拾取机构,所述移动机构设置于两根支撑柱(2)之间,所述拾取装置设置于移动机构的前端;所述移动机构包括电动滑杆(301)、固定杆(302)、移动滑台(303)、安装座(304),所述电动滑杆(301)的左右两端分别固定连接于两根支撑柱(2)的内侧顶部,所述固定杆(302)的左右两端分别固定连接于两根支撑柱(2)的内侧顶部,且垂直设置于电动滑杆(301)的下方,所述移动滑台(303)滑动连接于电动滑杆(301)和固定杆(302)的外表面,所述安装座(304)固定连接于移动滑台(303)的正面下方。2.根据权利要求1所述的一种集成电路拾取装置,其特征在于:所述拾取机构包括液压柱(305)、伸缩杆(306)、吸风机(307)、吸风管(308)、吸盘(309),所述液压柱(305)设置于安装座(304)的前端,所述伸缩杆(306)设置于液压柱(305)的底部中心,所述吸风机(307)...
【专利技术属性】
技术研发人员:曹志鹏,
申请(专利权)人:临沂市阿乐米电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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