本申请提供了一种超纯水系统的脱氧装置，属于超纯水处理技术领域。该超纯水系统的脱氧装置包括脱氧组件和过滤组件，脱氧釜体可以对超纯水进行脱氧处理时，过滤板可以可以过滤掉超纯水在管道输送中的杂质，长时间过滤的情况下过滤板表面会附着较多的杂质，拉动弹性卡件时会将弹性卡件与限位块分离，随后使用者可以拉动限位块将过滤板从脱氧釜体的内部抽出，即可对过滤板进行更换或者清洗，采用卡接的方式便于对过滤板进行更换或者清洗，清洗或者更换结束后直接将过滤板插入脱氧釜体的内部，然后通过弹性卡件对其进行限位，进而便于对过滤板进行更换和清洗，防止长时间使用表面会附着较多的杂质，从而提高了实用性。从而提高了实用性。从而提高了实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种超纯水系统的脱氧装置
[0001]本申请涉及超纯水处理领域，具体而言，涉及一种超纯水系统的脱氧装置。
技术介绍
[0002]超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯，如中国专利申请号为CN202122823793.5的一种用于超纯水系统的脱氧装置，包括圆筒，所述圆筒的底侧圆形阵列有支腿，且所述圆筒的底部外侧固定有电机，且所述电机的前端铰接有端头位于所述圆筒内腔的转轴，且所述转轴圆形阵列有搅拌杆，所述圆筒的底端固定有水分输送泵，且所述水分输送泵的底端设有与其他设备连接的排放管道，该一种用于超纯水系统的脱氧装置，通过上述，在需要对超纯水进行脱氧处理时，先启动第一水泵，第一水泵通过第一汲取管道汲取超纯水，在沉淀完成后启动脱氧剂排放泵，脱氧剂排放泵通过第三汲取管道汲取脱氧剂，从而降低工作人员的劳动成本，提高工作效率。
[0003]但是上述方案仍然具有一定的缺陷：其中过滤网用于过滤超纯水在管道输送中附着的杂质，而过滤网为固定安装在圆筒的内部，不便于对其进行更换和清洗，导致长时间使用表面会附着较多的杂质，影响过滤效果，从而降低了实用性。
技术实现思路
[0004]为了弥补以上不足，本申请提供一种超纯水系统的脱氧装置，旨在改善相关技术中过滤网为固定安装在圆筒的内部，不便于对其进行更换和清洗，导致长时间使用表面会附着较多的杂质，影响过滤效果，从而降低了实用性的问题。
[0005]本申请实施例提供了一种超纯水系统的脱氧装置包括脱氧组件和过滤组件。
[0006]所述脱氧组件包括脱氧釜体和弹性卡件，所述弹性卡件设置于所述脱氧釜体一侧，所述过滤组件包括过滤板和限位块，所述过滤板与所述脱氧釜体滑动连接，所述限位块与所述过滤板固定连接，且所述限位块与所述弹性卡件卡接。
[0007]在一种具体的实施方案中，所述脱氧釜体一端设置有支腿。
[0008]在上述实现过程中，脱氧釜体一端设置有支腿，设置支腿可以起到支撑的作用。
[0009]在一种具体的实施方案中，所述脱氧釜体一端设置有水泵，所述水泵一侧设置有水管，所述脱氧釜体一端设置有脱氧剂排放泵，所述脱氧剂排放泵一侧设置有第一排放管。
[0010]在上述实现过程中，启动水泵，水泵通过水管汲取超纯水，然后通过水管将超纯水灌输至脱氧釜体内腔中，脱氧剂排放泵通过第一排放管汲取脱氧剂，并且脱氧剂排放泵再通过第一排放管对脱氧剂进行输送。
[0011]在一种具体的实施方案中，所述脱氧釜体一侧设置有真空器，所述真空器一侧设置有第二排放管，所述脱氧釜体一侧设置有脱氧剂灌输器，所述脱氧剂灌输器一侧设置有汲取管道，所述脱氧釜体一端设置有输送泵，所述输送泵一侧设置有第三排放管。
[0012]在上述实现过程中，真空器通过第二排放管将脱氧釜体内腔的空气排放到外界，从而使其脱氧釜体内腔长期保持真空状态，脱氧剂灌输器通过汲取管道汲取脱氧剂，并且脱氧剂灌输器再通过汲取管道将脱氧剂灌输至脱氧釜体内腔中，使其脱氧剂与超纯水进行混合，输送泵可以将脱氧釜体内腔的超纯水通过第三排放管输送至存储设备内部进行存储。
[0013]在一种具体的实施方案中，所述弹性卡件包括支架、插杆和弹簧，所述插杆与所述支架滑动连接，所述弹簧一端与所述支架固定连接，所述弹簧另一端与所述插杆固定连接。
[0014]在上述实现过程中，通过拉动插杆可以对限位块进行限位，弹簧可以起到连接和弹性的作用。
[0015]在一种具体的实施方案中，所述过滤板包括弧形板和过滤网板，所述弧形板与所述脱氧釜体滑动连接，所述过滤网板设置于所述弧形板一侧。
[0016]在上述实现过程中，过滤板包括弧形板和过滤网板，设置弧形板可以起到限位的作用，过滤网板可以起到过滤的作用。
[0017]在一种具体的实施方案中，所述弧形板两侧设置有密封垫，所述密封垫与所述脱氧釜体相接触。
[0018]在上述实现过程中，弧形板两侧设置有密封垫，设置密封垫可以起到密封的作用。
[0019]在一种具体的实施方案中，所述限位块一侧设置有通孔，所述插杆与所述通孔滑动连接。
[0020]在上述实现过程中，限位块一侧设置有通孔，设置通孔可以起到限位连接的作用。
[0021]与现有技术相比，本申请的有益效果：首先将超纯水输送至脱氧釜体的内部，脱氧釜体可以对超纯水进行脱氧处理时，而超纯水输送至脱氧釜体内部时，过滤板可以过滤掉超纯水在管道输送中的杂质，长时间过滤的情况下过滤板表面会附着较多的杂质，弹性卡件设置于脱氧釜体一侧，使用者可以拉动弹性卡件，拉动弹性卡件时会将弹性卡件与限位块分离，过滤板与脱氧釜体滑动连接，限位块与过滤板固定连接，且限位块与弹性卡件卡接，随后使用者可以拉动限位块将过滤板从脱氧釜体的内部抽出，即可对过滤板进行更换或者清洗，采用卡接的方式便于对过滤板进行更换或者清洗，清洗或者更换结束后直接将过滤板插入脱氧釜体的内部，然后通过弹性卡件对其进行限位，进而便于对过滤板进行更换和清洗，防止长时间使用表面会附着较多的杂质，从而提高了实用性。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1是本申请实施方式提供的一种超纯水系统的脱氧装置第一视角结构示意图；
[0024]图2为本申请实施方式提供的一种超纯水系统的脱氧装置第二视角结构示意图；
[0025]图3为本申请实施方式提供的弹性卡件结构示意图；
[0026]图4为本申请实施方式提供的过滤板结构示意图。
[0027]图中：100
‑
脱氧组件；110
‑
脱氧釜体；111
‑
支腿；112
‑
水泵；1121
‑
水管；113
‑
脱氧剂
排放泵；1131
‑
第一排放管；114
‑
真空器；1141
‑
第二排放管；115
‑
脱氧剂灌输器；1151
‑
汲取管道；116
‑
输送泵；1161
‑
第三排放管；120
‑
弹性卡件；121
‑
支架；122
‑
插杆；123
‑
弹簧；200
‑
过滤组件；210
‑
过滤板；211
‑
弧形板；2111
‑
密封垫；212
‑
过滤网板；220...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种超纯水系统的脱氧装置，其特征在于，包括脱氧组件(100)，所述脱氧组件(100)包括脱氧釜体(110)和弹性卡件(120)，所述弹性卡件(120)设置于所述脱氧釜体(110)一侧；过滤组件(200)，所述过滤组件(200)包括过滤板(210)和限位块(220)，所述过滤板(210)与所述脱氧釜体(110)滑动连接，所述限位块(220)与所述过滤板(210)固定连接，且所述限位块(220)与所述弹性卡件(120)卡接。2.根据权利要求1所述的一种超纯水系统的脱氧装置，其特征在于，所述脱氧釜体(110)一端设置有支腿(111)。3.根据权利要求1所述的一种超纯水系统的脱氧装置，其特征在于，所述脱氧釜体(110)一端设置有水泵(112)，所述水泵(112)一侧设置有水管(1121)，所述脱氧釜体(110)一端设置有脱氧剂排放泵(113)，所述脱氧剂排放泵(113)一侧设置有第一排放管(1131)。4.根据权利要求3所述的一种超纯水系统的脱氧装置，其特征在于，所述脱氧釜体(110)一侧设置有真空器(114)，所述真空器(114)一侧设置有第二排放管(1141)，所述脱氧釜体(110)一侧设置有脱氧剂灌输器(11...
【专利技术属性】
技术研发人员：吕洪全，
申请(专利权)人：成都渗源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。