【技术实现步骤摘要】
一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统
[0001]本专利技术涉及尘埃粒子监测
，具体涉及了一种尘埃粒子采样机构及尘埃粒子采样系统。
技术介绍
[0002]中国半导体行业要实现从跟随到引领的跨越，装备产业将是重要环节，批内产品良率差异说明环境颗粒是主要影响因素，离线颗粒测试仪无法实时检测产品受影响程度，故针对重点区域的重点设备加装在线尘埃粒子检测系统是必然需求。半导体厂房普遍面积较大，对于检测精度及粒径要求比较高，一般最小粒径需检测到0.1μm，目前，均是针对每个检测点设置一台粒子计数器，但是由于检测点位的数量比较多，给企业的生产成本造成较大负担。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是克服现有技术的一个或多个不足，提供一种新型尘埃粒子采样机构，该采样机构能够实现对多个采样检测点位所采集样品气流的传输，而且自动化程度高，无需人工切换，结构简单。
[0004]本专利技术同时还提供了一种采用上述尘埃粒子采样机构的尘埃粒子采样系统，仅需设置一台尘埃粒子计数器即可实现多个检测点位的采样。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种尘埃粒子采样机构，其特征在于，该采样机构包括多个采样头、尘埃粒子计数器承接管、用于驱动所述尘埃粒子计数器承接管在所述的多个采样头之间自由切换的驱动组件；其中，该采样机构包括多个采样状态，当该采样机构处于每个所述采样状态时，所述尘埃粒子计数器承接管的进口与所述的多个采样头中的一个采样头的出口相对设置且相互间隔。2.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，当该采样机构处于每个所述采样状态时，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的中心线与所述的多个采样头中的一个采样头的出口的中心线相互重合。3.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述间隔的距离为2
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5mm。4.根据权利要求1、2或3所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述采样头的进气流量为所述尘埃粒子计数器承接管的采样流量的2.5
‑
4.0倍。5.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述尘埃粒子计数器承接管的进口的尺寸小于所述采样头的出口的尺寸。6.根据权利要求1所述的尘埃粒子采样机构，其特征在于，所述尘埃粒子计数器承接管、所述采样头分别沿上下方向延伸，所述的多个采样头呈环绕设置；所述驱动组件包括伺服电机、与所述伺服电机传动连接且用于带动所述尘埃粒子计数器承接管在所述的多个采样头之间循环转动的转动轴，所述尘埃粒子计数器承接管设置在所述转动轴上。7.根据权利要求1所述的尘埃粒子...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志强，魏文龙，强志浩，张雪成，沈正鹏，
申请(专利权)人：苏州苏净仪器自控设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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