一种气体成份分析系统中气体收集装置制造方法及图纸

技术编号:37656813 阅读:19 留言:0更新日期:2023-05-25 10:32
一种气体成份分析系统中气体收集装置,属于气体成份分析系统结构技术领域。包括工装夹具箱体(1)、气体收集室(2)、穿刺针(3)、气体传递通道(4),工装夹具箱体(1)位于气体收集室(2)正上方,3个针头向下位于工装夹具箱体(1)内,柱体从工装夹具箱体(1)正上方向下伸入工装夹具箱体(1)内能够在工装夹具箱体(1)中进行上下推进,且柱体与工装夹具箱体(1)组成密封的活塞结构;在工装夹具箱体(1)内针头的正下方固定底托(5)用于托住待刺破的含待测气体的产品,气体收集室的侧面通过气体传递通道与分析系统的检测腔室连通。使穿刺方式更加灵活,适用于不同封装和大小的样品,同时增加气体收集量。体收集量。体收集量。

【技术实现步骤摘要】
一种气体成份分析系统中气体收集装置


[0001]本申请涉及一种气体成份分析系统中气体收集的装置,属于气体成份分析系统结构


技术介绍

[0002]内部气体成份分析系统是通过金属针将金属、陶瓷、玻璃器件的外壳刺破,并在真空系统中收集气体进行分析。基于产品内部总气量得出其中每种气氛所占的体积百分比,只有具备足够多可供分析的气量才能满足准确检测的要求。目前电子元器件呈现小腔体趋势,产品内所含气量越来越少,对分析系统采集足够多气量分析造成困难。传统的采集气量方法是单根穿刺针刺破单个产品采集气量分析,但是有的单个产品气量很小无法检测,本申请解决由于单个产品气量很小无法检测的情况,设计的一种新的收集装置是用三根穿刺针同时刺破三个产品,使小气量产品一次采集3个产品使得测量总气量扩大3倍,达到足够多气量进行分析的目的。
[0003]内部气体成份分析系统的示意图见图1所示。现有技术传统气体收集装置和方式见图2。
[0004]现有技术传统气体收集装置包括工装夹具(用于放置样品)、气体收集室、穿刺针、气体传递通道,工装夹具位于气体收集室正上方,穿刺针采用活塞推进结构,即在柱体的顶部安装针头,针头位于气体收集室内,柱体从气体收集室正下面伸入收集室能够在收集室中进行上下推进,且柱体与气体收集室组成密封的活塞结构;气体收集室的侧面通过气体传递通道与分析系统的检测腔室连通,质谱仪的检测端位于检测腔室内,质谱仪经由信号放大器与电脑连接;检测腔与真空泵连接;工装夹具的下方与气体收集室上方连通且密封,穿刺针能够伸入到工装夹具内刺破工装夹具内的待测气体产品。由于含待测气体的产品外形尺寸小或不是平面盖板,无法与测试设备直接密封进行抽真空,需要把这类产品放入工装夹具内,通过工装夹具与测试设备连接,测试设备要连同工装夹具一并抽真空后进行测试。

技术实现思路

[0005]本申请克服现有技术提供一种气体成份分析系统中气体收集装置,使穿刺方式同一时间内刺破器件数量增加,适用于极小腔体气量的样品,增加气体收集量达到能够检测的目的。
[0006]一种气体成份分析系统中气体收集装置,其特征在于,包括工装夹具箱体(1)、气体收集室(2)、穿刺针(3)、气体传递通道(4),工装夹具箱体(1)位于气体收集室(2)正上方且与气体收集室(2)连通,穿刺针(3)采用活塞推进结构,即在直立柱体的下端面安装有3个针头,3个针头向下位于工装夹具箱体(1)内,柱体从工装夹具箱体(1)正上方向下伸入工装夹具箱体(1)内能够在工装夹具箱体(1)中进行上下推进,且柱体与工装夹具箱体(1)组成密封的活塞结构;在工装夹具箱体(1)内针头向下,且针头的正下方固定底托(5)用于托住
待刺破的含待测气体的产品(待刺破的含待测气体的产品如待刺破的含待测气体的产品位于底托(5)之上),气体收集室的侧面通过气体传递通道与分析系统的检测腔室连通。
[0007]底托上表面包含3个和待刺破的含待测气体的产品大小一致的凹槽,以放置固定待刺破的含待测气体的产品。
[0008]本申请的优点:
[0009]1.同时刺穿3只产品,使待测产品的气量增加3倍,达到待测气量的目的。
[0010]2.底托的设计能有效的稳固待测产品,提高穿刺成功率。
[0011]3.从上向下穿刺的方式操作便捷且不破坏设备原有结构。
[0012]4.工装夹具可反复更换待测产品,提升使用效率。
附图说明
[0013]图1为整体的内部气体成份分析系统
[0014]图2为传统的气体收集装置
[0015]图3为本申请的一种气体成份分析系统中气体收集装置;
[0016]工装夹具箱体(1)、气体收集室(2)、穿刺针(3)、气体传递通道(4)、底托(5)。
具体实施方式
[0017]下面结合实施例对本申请作进一步说明,但本申请并不限于以下实施例。
[0018]实施1
[0019]本申请是改变传统穿刺结构,从原来的从底部进行穿刺改为从顶部进行穿刺,由于采用底托托住,在不破坏设备原有的采气结构且在平面穿刺产品针的进深易把握。同时增加穿刺针的数量,从1根针增加为3根针,使一次可以穿刺3个样品,从而使小腔体产品一次采集的气量扩大3倍,达到足够多气量进行分析的目的。其示意图见图3所示。
[0020]包括两部分:一是穿刺结构,由3根穿刺针和固定结构组成;二是密封结构,用于气体收集室与样品密封,以及提供真空环境使气体抽入设备内部进行分析。
[0021]一、穿刺结构包括3根呈品字形的针和固定部分,针呈品字形分布以增加穿刺时的稳定性,针采用焊接方式固定在圆柱形的固定盘上。穿刺结构和工装夹具箱体密封采用密封圈进行密封。将穿刺结构改成上面穿刺的好处在于使穿刺方式稳定,小腔体产品同时刺破取气增大3倍气量,使测试更准确。
[0022]二、底托结构:底托上表面包含3个和待刺破的含待测气体的产品大小一致的凹槽,以放置固定待刺破的含待测气体的产品,凹槽底部开有连孔直穿通托底部。
[0023]1.手动打开工装夹具;
[0024]2.放入3个待测产品;
[0025]3.手动压紧含密封圈的盖板,使工装夹具达到密封状态;
[0026]4.手动拧动穿刺柱,同时刺破3只待测产品;
[0027]5.设备的四极质谱仪分析待测产品中的气体;
[0028]6.结束测试,手动打开工装夹具;
[0029]7.更换3个新的待测气体产品;
[0030]8.重复步骤1

7,继续收集检测。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体成份分析系统中气体收集装置,其特征在于,包括工装夹具箱体(1)、气体收集室(2)、穿刺针(3)、气体传递通道(4),工装夹具箱体(1)位于气体收集室(2)正上方且与气体收集室(2)连通,穿刺针(3)采用活塞推进结构,即在直立柱体的下端面安装有3个针头,3个针头向下位于工装夹具箱体(1)内,柱体从工装夹具箱体(1)正上方向下伸入工装夹具箱体(1)内能够在工装夹具箱体(1)中进行上下推进,且柱体与工...

【专利技术属性】
技术研发人员:高立杨迪孙淼毕明浩
申请(专利权)人:中国电子技术标准化研究院
类型:新型
国别省市:

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