电极闭合机构制造技术

一种电极闭合机构，它包括机架和主电机，在主电机输出轴端连接有直线往复机构，在直线往复机构上通过连杆饺接有三个连接夹套，在连接夹套上分别设有电极组件，其特殊之处是：在连接夹套和电极组件之间设有纵向送给装置，所述的电极组件与纵向送给装置连接并可纵向移动。优点是石墨电极沿径向和轴向能同时移动，直到电极燃烧至最短，提高了坩埚的产量并降低了生产成本；当三根电极燃烧长短不一致时通过单根电极的轴向进给，可将三根电极补偿到一致，不会产生鸭嘴现象，热效率高，提高了坩埚的质量；而且无需人工调整，省工省时。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术特别涉及一种用于制造石英坩埚的柑埚制造 机中使用的电极闭合机构。
技术介绍
石英坩埚是用高纯石英砂经过高温融化形成的一种玻璃 态器皿，在生产单晶硅的过程中是不可替代的容器。坩埚制 造机用于制造石英坩埚，是由加热电源、升降机、往复倾动 台三大机构组成，其中升降机是由升降机构和电极闭合机构 构成。现有的电极闭合机构是由主电机、直线往复机构、连 杆、连接夹套和电极组件构成，电极组件是由铜电极、石墨 连接件和石墨电极构成，直线往复机构通过连杆连接三个沿 圆周方向均布的连接夹套，连接夹套用于固定铜电极。工作 时主电机带动直线往复机构运动，通过连杆改变连接夹套的 角度使三根石墨电极能同时打开或闭合，在通电时发出高温 电弧光熔化石英砂。这种电极闭合机构存在的缺陷是1、石 墨电极只能做径向张紧动作，不能做轴向运动，三个电极的极限夹角为13度，当电极燃烧到还剩150mm时便不能再燃 烧，只好扔掉，造成浪费；2、同时由于夹角较小，电极头在 燃烧中容易产生鸭嘴现象，影响坩埚的质量；3、三个电极在3工作时由于燃烧不平衡，造成长短不一，而单根电极轴向不 能够调整，这时必须停下来做人工调整，费工费时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电极闭合机构，包括机架和主电机，在主电机输出轴端连接有直线往复机构，在直线往复机构上通过连杆铰接有三个连接夹套，在连接夹套上分别设有电极组件，其特征是：在连接夹套和电极组件之间设有纵向进给装置，所述的电极组件与纵向进给装置连接并可纵向移动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵青山，侯建，
申请(专利权)人：锦州佑鑫电子材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]