一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法技术

一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，它涉及光学领域，本发明专利技术要解决极紫外波段光无法同时实现单点聚焦以及波前分割的问题，本发明专利技术的方法：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90

【技术实现步骤摘要】
一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法


[0001]本专利技术属于光学领域，具体涉及一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法。

技术介绍

[0002]极紫外波段激光一般是指波长为10
‑
100nm的光波。由于光子能量高，理论上该波段的光能够电离任意的原子分子。该波段激光的一大特点是材料对其吸收率极高，衰减深度极短，这导致这种光无法穿透绝大部分材料。
[0003]极紫外波段激光的光场调控是该领域一大技术难点。因各种材料对该波段光源的吸收率都极高，并且折射率接近于1，因此在光学波段非常容易做到的单点聚焦、简单的光场调控等在极紫外波段都非常困难。目前在极紫外波段国际上普遍采用的是多层膜反射技术。根据布拉格公式，适当参数的多层膜结构能够以很小的入射角对入射光具有一个较高的反射率。但这所谓的“高”反射率普遍也只是接近50％。而且多层膜的制作工艺繁复，造价昂贵，容易被入射光损伤，寿命较低，并且多层膜的反射面对入射光的波长和入射角都具有选择性，也就是说对于每一种波长的每一个入射角入射条件都需要制作一个对应的多层膜材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，所述的单点聚焦及波前分割的方法是利用光学元件通过调整极紫外波段光与光学元件的角度关系实现的，其特征在于所述的方法如下：设光轴与光学元件中心轴夹角为θ，单根入射光线与光学元件内表面入射点处切线方向的夹角为θ1，单根入射光线与光轴的夹角为θ2，单根光入射点法线与光学元件中心轴夹角为θ3；上述角度需满足以下公式：(90
°‑
θ1)+(θ2+θ)+(180
°‑
θ3)＝180
°ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
(1)依据上述公式调控掠入射反射的极紫外波段光与光学元件的关系，即完成所述的实现掠入射反射的极紫外波段光单点聚焦以及波前分割的方法。2.根据权利要求1所述的一种极紫外波段光同时实现单点聚焦及波前分割的方法，其特征在于设掠入射光的全反射角为θ
c
，则所述的复折射率实部δ计算公式为：其中，r

【专利技术属性】
技术研发人员：崔怀愈，赵永蓬，赵东迪，王致远，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：