数据处理方法及存储介质和数据处理设备技术

本公开提供了一种数据处理方法及存储介质和数据处理设备，涉及半导体技术领域，该方法包括：获得半导体设备需求信息和相同类型的各个半导体设备的预防性维护原始窗口，在预防性维护原始窗口的约束下，获得各个半导体设备的当前代染色体，并根据半导体设备需求信息和各个半导体设备的当前代染色体，确定当前代三相指导向量，在当前代三相指导向量的指导下，对各个半导体设备的当前代染色体进行单向变异，最终获得各个半导体设备的目标染色体，来确定各个半导体设备的预防性维护时间。提高半导体设备实际生产曲线和预计需求曲线之间的匹配程度，提高半导体设备的利用率和工作效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
数据处理方法及存储介质和数据处理设备


[0001]本公开涉及半导体
，特别涉及一种数据处理方法及存储介质和数据处理设备。

技术介绍

[0002]在集合电路和半导体
，所谓PM是预防性维护(Preventive Maintenance)的英文首字母的略语。
[0003]在设备PM管理的环节中，由于设备需求是通过当前的原材料分布和设备的数量进行经验和公式推导未来的需求数量，但是因为考虑的参数较少，所以，对于设备需求预估的精度不是非常高；另外，设备的预计PM窗口选择需要跨部门的协调，协调时间通常比较长；在相同设备群内多个设备如何通过调整不同设备的生产目标，来改变多个设备PM发生时间，进而机台正常运行时间(Uptime，UP)也难以准确的得出。
[0004]所以，通过相关技术很难准确的使得半导体设备的需求和供给匹配。

技术实现思路

[0005]本公开提供一种数据处理方法及存储介质和数据处理设备，可以提高半导体设备实际生产曲线和预计需求曲线之间的匹配程度，提高半导体设备的利用率和工作效率。<br/>[0006]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种数据处理方法，其特征在于，包括：获得半导体设备需求信息和相同类型的各个半导体设备的预防性维护原始窗口；在各个半导体设备的预防性维护原始窗口的约束下，获得各个半导体设备的当前代染色体；根据所述半导体设备需求信息和各个半导体设备的当前代染色体，获得当前代三相指导向量；在所述当前代三相指导向量的指导下，对各个半导体设备的当前代染色体进行单向变异，获得各个半导体设备的下一代染色体；根据各个半导体设备的当前代染色体和下一代染色体获得各个半导体设备的目标染色体；根据各个半导体设备的目标染色体确定各个半导体设备的预防性维护时间，各个半导体设备的预防性维护时间处于对应半导体设备的预防性维护原始窗口中。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述当前代染色体包括第一代染色体；其中，在各个半导体设备的预防性维护原始窗口的约束下，获得各个半导体设备的当前代染色体，包括：根据各个半导体设备的预防性维护原始窗口确定各个半导体设备的第一代染色体，其中各个半导体设备的第一代染色体包括n*m个数值的第一代向量，所述第一代向量中的每个数值取值为第一值或第二值，取值为第一值的数值表示对应的半导体设备处于生产状态，取值为第二值的数值表示对应的半导体设备处于预防性维护状态，所述第一代向量中取值为第二值的数值处于对应半导体设备的预防性维护原始窗口内；n和m均为大于或等于1的正整数。3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，根据所述半导体设备需求信息和各个半导体设备的当前代染色体，获得当前代三相指导向量，包括：将各个半导体设备的当前代染色体进行聚合，获得当前代半导体设备供给信息；根据所述当前代半导体设备供给信息和所述半导体设备需求信息获得所述当前代三相指导向量。4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，各个半导体设备的当前代染色体包括n*m个数值的当前代向量，所述当前代向量中的每个数值取值为第一值或第二值，取值为第一值的数值表示对应的半导体设备处于生产状态，取值为第二值的数值表示对应的半导体设备处于预防性维护状态，所述当前代向量中取值为第二值的数值处于对应半导体设备的预防性维护原始窗口内；其中，将各个半导体设备的当前代染色体进行聚合，获得当前代半导体设备供给信息，包括：将各个半导体设备的当前代向量进行向量求和，获得包括n*m个当前代半导体设备供给数量值的当前代半导体设备供给数量向量，作为所述当前代半导体设备供给信息；n和m均为大于或等于1的正整数。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述半导体设备需求信息分别包括距离当前时间最近的未来n个生产周期内的半导体设备需求数量曲线；其中，根据所述当前代半导体设备供给信息和所述半导体设备需求信息获得所述当前
代三相指导向量，包括：对所述半导体设备需求数量曲线内的每个生产周期进行m点的采样，获得包括n*m个半导体设备需求数量值的半导体设备需求数量向量；对所述半导体设备需求数量向量进行向量与所述当前代半导体设备供给数量向量求差，获得包括n*m个当前代差值的当前代差值向量；对所述当前代差值向量中的n*m个当前代差值求平均值，获得当前代差异均值；将所述当前代差值向量中的n*m个当前代差值逐个与所述当前代差异均值比较，获得包括n*m个当前代三相指导值的当前代三相指导向量。6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，各个半导体设备的下一代染色体包括n*m个数值的下一代向量；其中，根据各个半导体设备的当前代染色体和下一代染色体获得各个半导体设备的目标染色体，包括：计算所述当前代半导体设备供给数量向量与所述半导体设备需求数量向量之间的向量差的平方和，获得当前代适应度；将各个半导体设备的下一代向量进行向量求和，获得包括n*m个下一代半导体设备供给数量值的下一代半导体设备供给数量向量；计算所述下一代半导体设备供给数量向量与所述半导体设备需求数量向量之间的向量差的平方和，获得下一代适应度；若所述下一代适应度小于所述当前代适应度，则保留各个半导体设备的下一代染色体作为当前代染色体；若所述下一代适应度大于所述当前代适应度，则保留各个半导体设备的当前代染色体作为当前代染色体；将迭代至迭代次数阈值时保留的各个半导体设备的当前代染色体作为各个半导体设备的目标染色体。7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，将所述当前代差值向量中...

【专利技术属性】
技术研发人员：王晓，李宏志，蒋治纬，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：