一种磁悬浮分子泵智能监控系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种磁悬浮分子泵智能监控系统及方法，系统包括：磁悬浮分子泵监控装置和云端服务器；磁悬浮分子泵监控装置设在磁悬浮分子泵本体上，包括：控制器和监控处理器；控制器控制分子泵稳定运行及获取实时状态信息并发给监控处理器和云端服务器；监控处理器对状态信息进行分析生成预警信息和故障处理决策并发给云端服务器和控制器；云端服务器接收工厂内部所有磁悬浮分子泵实时状态信息、预警信息及故障处理决策，并在客户端显示以监控所有分子泵的运行状态，当分子泵有异常时，控制异常分子泵及相关联设备进行相应操作，并发出预警信号及提供故障处理建议，以提醒操作人员进行预防性检测和维修或相应故障处理，保证分子泵安全稳定运行。子泵安全稳定运行。子泵安全稳定运行。

【技术实现步骤摘要】
一种磁悬浮分子泵智能监控系统及方法


[0001]本专利技术涉及真空获得设备监控
，涉及一种磁悬浮分子泵智能监控系统及方法。

技术介绍

[0002]磁悬浮分子泵是利用磁轴承产生电磁力使转子悬浮在空中，实现了转子和定子之间无机械接触且转子位置可主动控制的一种新型高性能分子泵。因其具有无摩擦、无需润滑、无污染、高速度、寿命长的优点，被广泛应用于科研、表面分析、加速器、工业镀膜、离子注入和硅刻蚀等领域，用于工作腔体获得高洁净度真空环境。
[0003]然而，磁悬浮分子泵在工作过程中，设备腔体内会持续生产聚合物，堆积在分子泵叶片上，显著增大转子不平衡质量，使得转子振动增大，离心力作用变大，存在磁悬浮分子泵故障的风险。其次，在工业镀膜及半导体工艺制作过程中，很多设备腔体内始终维持高温状态，且需要7
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24小时连续运行，外部高温叠加分子泵自身温升会使得分子泵叶片产生形变，导致分子泵动静片间隙减小，增大叶片碰撞，存在碎泵风险。如何实现磁悬浮分子泵状态智能监控，预判设备异常并及时处理是目前亟待解决的问题。
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技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁悬浮分子泵智能监控系统，其特征在于，包括：磁悬浮分子泵监控装置和云端服务器，两者通过无线网络进行通信；所述磁悬浮分子泵监控装置，设置于磁悬浮分子泵本体上，包括：控制器和监控处理器；所述控制器，用于控制磁悬浮分子泵安全稳定运行，以及获取所述磁悬浮分子泵的实时状态信息并发送至所述监控处理器和云端服务器；所述监控处理器，通过电缆与所述控制器连接，用于对所述磁悬浮分子泵实时状态信息进行分析生成预警信息和故障处理决策，将预警信息和故障处理决策发送至云端服务器，以及将故障处理决策发送给控制器控制磁悬浮分子泵安全稳定运行；所述云端服务器，用于接收工厂内部所有的磁悬浮分子泵实时状态信息、预警信息及故障处理决策，并在客户端进行显示以监控整个工厂内部所有磁悬浮分子泵的运行状态，当监控到有磁悬浮分子泵异常时，控制异常磁悬浮分子泵及相关联的设备进行相应操作，并发出预警信号及提供故障处理建议。2.根据权利要求1所述的磁悬浮分子泵智能监控系统，其特征在于，所述控制器，包括：磁轴承控制器模块、电机控制器模块、开关电源模块和信息交互模块；所述磁轴承控制器模块，用于磁悬浮分子泵中的磁轴承系统状态检测和稳定悬浮控制；所述电机控制器模块，用于磁悬浮分子泵中的电机状态检测和电机驱动；所述开关电源模块，用于磁悬浮分子泵中的开关电源状态检测及系统供电；所述信息交互模块，用于控制器内各模块的信息交互，以及分别与云端服务器、监控处理器之间的信息交互。3.根据权利要求2所述的磁悬浮分子泵智能监控系统，其特征在于，所述状态信息，包括：磁轴承系统状态信息、电机状态信息和开关电源状态信息，均是通过相应传感器获得；所述磁轴承系统状态信息，包括：转子上径向X、上径向Y、下径向X、下径向Y和轴向Z五个自由度的位移信号；所述电机状态信息，包括：电机三相绕组电压、电流和转速信号；所述开关电源状态信息，包括：开关电源各路电源电压和开关电源温度信号。4.根据权利要求3所述的磁悬浮分子泵智能监控系统，其特征在于，所述监控处理器，包括：状态信息处理模块和物联网模块；所述状态信息处理模块，用于根据磁悬浮分子泵实时状态信息进行分析生成预警信息和故障处理决策；所述物联网模块，用于将磁悬浮分子泵实时状态信息和预警信息发送至云端服务器进行实时监控，以及将磁悬浮分子泵故障处理决策发送给控制器，供控制器实时处理潜在威胁磁悬浮分子泵的故障。5.根据权利要求4所述的磁悬浮分...

【专利技术属性】
技术研发人员：武涵，李赏，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：