超高纯气体分配供气系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种超高纯气体分配供气系统，第一过滤器通过气动隔膜阀与调压阀相连，调压阀的出气口设置有压力表，调压阀还通过第二过滤器与两路的第一主控隔膜阀、第二主控隔膜阀相连，第二过滤器还与真空发生器相连，第一主控隔膜阀与第一单向阀相连，第二主控隔膜阀与第二单向阀相连，第一单向阀与一路供气出口相连，第二单向阀与另一路供气出口相连，真空发生器通过第三单向阀和真空吹扫隔膜阀相连。本实用新型专利技术安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
超高纯气体分配供气系统


[0001]本技术涉及的是一种供气系统，具体涉及一种超高纯气体分配供气系统。

技术介绍

[0002]传统的一进两出的供气系统，由于控制面板管路结构设计结构不合理，一旦管路出现气体泄漏，无法立即切断气源，而且管路没有设计过滤及负压吹扫，导致提供的气体不能达到超高纯度。为了解决上述问题，本技术设计了一种超高纯气体分配供气系统。

技术实现思路

[0003]针对现有技术上存在的不足，本技术目的是在于提供一种超高纯气体分配供气系统，安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。
[0004]为了实现上述目的，本技术是通过如下的技术方案来实现：超高纯气体分配供气系统，包括第一过滤器、气动隔膜阀、调压阀、压力表、第二过滤器、第一主控隔膜阀、第二主控隔膜阀、第一单向阀、第二单向阀、真空发生器、第三单向阀和真空吹扫隔膜阀，第一过滤器通过气动隔膜阀与调压阀相连，调压阀的出气口设置有压力表，调压阀还通过第二过滤器与两路的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.超高纯气体分配供气系统，其特征在于，包括第一过滤器(1)、气动隔膜阀(2)、调压阀(3)、压力表(4)、第二过滤器(5)、第一主控隔膜阀(6)、第二主控隔膜阀(7)、第一单向阀(8)、第二单向阀(9)、真空发生器(10)、第三单向阀(11)和真空吹扫隔膜阀(12)，第一过滤器(1)通过气动隔膜阀(2)与调压阀(3)相连，调压阀(3)的出气口设置有压力表(4)，调压阀(3)还通过第二过滤器(5)与两路的第一主控...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵英杰，
申请(专利权)人：上海洁安流体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：