【技术实现步骤摘要】
LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置
[0001]本专利技术涉及在液晶面板的制造中贴合2块基板时或制造半导体时的曝光所使用的LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置。
技术介绍
[0002]以往,作为半导体制造用等的曝光装置的光源,采用例如使用1根或数根额定12kW的大型水银灯的方式。但是,在1台曝光装置中使用的水银灯的根数少的情况下,即使1根水银灯成为不点亮状态,也会立即陷入光量不足,不得不停止该曝光装置,因此使用大型水银灯的曝光装置在生产持续性方面存在问题。
[0003]因此,例如在液晶面板的滤色器的生产中使用的曝光装置的大部分中开发了多灯式的曝光装置(例如,专利文献1)。
[0004]而且,目前,作为各个光源,广泛使用LED(发光二极管)。
[0005]另外,使用多个LED的光照射装置在液晶面板的制造中,也用于通过对配置于2块透光性基板间的光固化型密封剂照射光来贴合这些透光性基板(例如,专利文献2)。
[0006]然而,为了维持稳定的曝光工艺,要求曝光面照度均匀且长时 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED模块,其具备:基板;多个LED,配设于所述基板;LED供电电路,形成在所述基板上;光传感器,配设于所述基板;以及电阻,相对于所述光传感器串联连接,所述电阻能够调节电阻值。2.根据权利要求1所述的LED模块,其中,所述电阻具有:固定电阻;多个从属电阻,相对于所述固定电阻并联连接;以及多个开闭单元,相对于各所述从属电阻分别...
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