LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种即使在从光传感器输出的电流值存在宽度的情况下，也能够容易地缩窄与该电流值相应的电压值的宽度的LED模块。LED模块(10)由基板(12)、配设于基板(12)的多个LED(14)、形成在基板(12)上的LED供电电路(16)、配设于基板(12)的光传感器(18)以及与光传感器(18)串联连接的电阻构成。而且，该电阻能够调节电阻值。节电阻值。节电阻值。

【技术实现步骤摘要】
LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置


[0001]本专利技术涉及在液晶面板的制造中贴合2块基板时或制造半导体时的曝光所使用的LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置。

技术介绍

[0002]以往，作为半导体制造用等的曝光装置的光源，采用例如使用1根或数根额定12kW的大型水银灯的方式。但是，在1台曝光装置中使用的水银灯的根数少的情况下，即使1根水银灯成为不点亮状态，也会立即陷入光量不足，不得不停止该曝光装置，因此使用大型水银灯的曝光装置在生产持续性方面存在问题。
[0003]因此，例如在液晶面板的滤色器的生产中使用的曝光装置的大部分中开发了多灯式的曝光装置(例如，专利文献1)。
[0004]而且，目前，作为各个光源，广泛使用LED(发光二极管)。
[0005]另外，使用多个LED的光照射装置在液晶面板的制造中，也用于通过对配置于2块透光性基板间的光固化型密封剂照射光来贴合这些透光性基板(例如，专利文献2)。
[0006]然而，为了维持稳定的曝光工艺，要求曝光面照度均匀且长时间恒定。但是，LED具有若长时间使用则会劣化而发光量逐渐衰减的特性。
[0007]为了应对这样的衰减，在发光量降低的情况下，通过增加向LED供给的电力量来进行成为与初始同等的发光量的调整。
[0008]具体而言，为了获知来自LED的发光量，例如，在安装有LED的基板上安装光传感器，根据受光量，基于该光传感器输出的电流量(或者电压值)来调整向各LED供给的电力量(作为安装有光传感器的LED模块的示例，专利文献3)。现有技术文献专利文献
[0009]专利文献1：日本特开2020
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43012号公报专利文献2：日本特开2011
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76033号公报专利文献3：日本特开2012
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89601号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的课题
[0010]但是，光传感器的特性存在因个体差异引起的偏差，存在即使相同型号的光传感器接受到相同的光量，各光传感器输出的电流量也存在宽度这样的问题。
[0011]例如，即使在多个光传感器(光电晶体管)在[集电极
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发射极间电压＝5V，光源波长＝560nm，放射照度＝0.01mW/cm2]的条件下分别接受到相同光量的情况下，来自各光传感器的输出电流也存在2.8μA到7.1μA的偏差。即使在进行特性接近的光传感器彼此的分组的情况下，也存在4.5μA到7.1μA的偏差。
[0012]若来自光传感器的输出电流存在这样的偏差，则例如在安装有具有输出电流小的
倾向的光传感器的LED模块中，成为比预期的发光量高的发光量，有可能引起光量过多的状态。相反，在安装有具有输出电流大的倾向的光传感器的LED模块中，成为比预期的发光量低的发光量，有可能引起光量不足的状态。
[0013]例如，在使用输出电流为4.5μA的光传感器，在成为相当于100mW的照度时与该光传感器串联连接的电阻的两端电压成为1V的情况下，即使是相同的相当于100mW的照度、相同电阻值的电阻，在输出电流为7.1μA的光传感器中，该电阻的两端电压也约为1.6V，作为装置，误识别为相当于160mW的照度。
[0014]若这样误识别，则作为LED模块，以降低向该LED供给的电力量的方式进行调整，使得两端电压成为1V。如此一来，实际的照度降低至约62.5mW(100mW/1.6)，光量不足。
[0015]进一步而言，由于一个光照射装置具备多个LED模块，因此若如上述那样从各LED模块放射的光量出现偏差，则从光照射装置整体放射的光的照射面上的照度的均匀度也会产生问题。
[0016]本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种即使在从光传感器输出的电流值存在宽度的情况下，也能够容易地缩窄与该电流值相应的电压值的宽度的LED模块、光照射装置及具备其的液晶面板制造装置。用于解决课题的技术方案
[0017]根据本专利技术的一个方面，提供一种LED模块，该LED模块具备：基板；配设于所述基板的多个LED；形成在所述基板上的LED供电电路；配设于所述基板的光传感器；以及相对于所述光传感器串联连接的电阻，所述电阻能够调节电阻值。
[0018]优选地，所述电阻具有：固定电阻；相对于所述固定电阻并联连接的多个从属电阻；以及相对于所述各从属电阻分别串联连接的多个开闭单元。
[0019]优选地，所述LED模块还具备运算放大器，该运算放大器与所述电阻并联连接，并测定所述电阻的两端电压。
[0020]根据本专利技术的其他方面，提供一种光照射装置，该光照射装置具备多个上述的LED模块。
[0021]根据本专利技术的其他方面，提供一种液晶面板制造装置，该液晶面板制造装置具备上述的光照射装置。专利技术效果
[0022]根据本专利技术所涉及的LED模块、光照射装置以及液晶面板制造装置，由于能够调节电阻值的电阻与光传感器串联连接，因此通过根据来自光传感器的输出电流来调节电阻值，从而在该输出电流存在比较大的宽度的状态下，能够使与该电流值相应的电压值的宽
度比较小。
附图说明
[0023]图1是表示应用了本专利技术的实施方式所涉及的曝光装置100的图。图2是表示应用了本专利技术的实施方式所涉及的LED模块10的图。图3是实施方式所涉及的输出调节部22的电路图。图4表示实施方式所涉及的罩26的图，其中(a)是主视图，(b)是后视图，(c)是X
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X剖视图。图5是表示罩26向基板12的安装状态的剖视图。图6是表示从光传感器18输出的电流值和根据该电流值检测的电阻的两端电压的图表。图7是表示从光传感器18输出的电流值和根据该电流值检测的电阻的两端电压的图表。图8是变形例2所涉及的输出调节部22的电路图。图9是变形例3所涉及的输出调节部22的电路图。
具体实施方式
[0024](曝光装置100的结构)以下，对具备应用了本专利技术的实施方式所涉及的光照射装置200的曝光装置100进行说明。如图1所示，主要在制造液晶面板等时使用的曝光装置100大致具备光照射装置200、光学系统部件102、工件载置台104以及工件输送装置106。
[0025]光照射装置200是用于为了对液晶面板等工件X进行曝光而放射光L的装置，将多个LED模块10排列在同一平面上而构成。
[0026]如图2所示，各LED模块10大致具有基板12、LED14、LED供电电路16、光传感器18、光传感器电路20、输出调节部22、光传感器用连接器24以及罩26。
[0027]基板12是在其表面上安装LED14、光传感器18等的部件。基板12的外形没有特别限定，可以如本实施方式那样为矩形状，也可以是正方形状等。
[0028]LED14是通过经由LED供电电路16接受电力的供给而放射给定波长的光的元件，在本实施方式所涉及的LED模块10中，在基板12上以棋盘格状安装配置有20个LED14。此外，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种LED模块，其具备：基板；多个LED，配设于所述基板；LED供电电路，形成在所述基板上；光传感器，配设于所述基板；以及电阻，相对于所述光传感器串联连接，所述电阻能够调节电阻值。2.根据权利要求1所述的LED模块，其中，所述电阻具有：固定电阻；多个从属电阻，相对于所述固定电阻并联连接；以及多个开闭单元，相对于各所述从属电阻分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上智彦，木下雅章，
申请(专利权)人：凤凰电机公司，
类型：发明
国别省市：