【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体元件分离设备和使用该设备制造发光装置的方法
[0001]公开涉及一种用于分离半导体元件的设备和使用该设备的用于制造发光元件的方法。公开涉及一种用于使用超声波将形成在基底上的半导体元件与基底分离的设备和一种用于制造发光元件的方法。
技术介绍
[0002]随着多媒体技术的发展,显示装置正变得越来越重要。因此,已经使用了诸如有机发光二极管(OLED)显示装置、液晶显示(LCD)装置等的各种显示装置。
[0003]典型的显示装置包括诸如有机发光显示面板或液晶显示(LCD)面板的显示面板。发光显示面板可以包括发光元件。例如,发光二极管(LED)包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(OLED)和使用无机材料作为荧光材料的无机LED。
技术实现思路
[0004]技术问题
[0005]无机发光元件可以通过其中半导体晶体在晶圆基底上生长的外延生长来制造。举例来说,多个半导体层可以在晶圆基底上生长,然后将它们与晶圆基底分离,以产生无机发光元件。在这样做时,生长在基底上的无机发光元件可以在施加机械力时与基底分离。
[0006]不幸的是,这种使用机械力的工艺由操作者手动地执行,因此该工艺会花费很长时间。此外,根据操作者的技术水平,工艺时间和分离的无机发光元件的切割表面会不一致,并且会损坏无机发光元件。
[0007]公开的方面提供了一种通过使用超声波用于分离形成在基底上的半导体元件的设备。
[0008]公开的方面还提供了一种通过使用用于分离半导体元件的设备来制造发光元件的方 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于将形成在基底上的半导体元件与所述基底分离的设备,所述设备包括:基体,包括容纳部,其上设置有半导体元件的所述基底在所述容纳部中;以及至少一个超声波发生器,对放置在所述基体中的所述基底产生超声波。2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述至少一个超声波发生器包括设置在所述基体的底部处的第一超声波发生器,并且所述第一超声波发生器在与所述基体的所述容纳部的下表面垂直的方向上产生超声波。3.根据权利要求2所述的设备,其中,所述基体包括围绕所述容纳部的侧壁,所述至少一个超声波发生器还包括:第二超声波发生器,设置在所述基体的在平面图在第一方向上的侧壁上;以及第三超声波发生器,设置在所述基体的在平面图中在第二方向上的侧壁上,并且所述第二超声波发生器和所述第三超声波发生器在与所述基体的所述下表面水平的方向上产生超声波。4.根据权利要求3所述的设备,其中,所述基体的所述底部包括其上设置有所述第一超声波发生器的部分以及将其上设置有所述第一超声波发生器的所述部分与所述侧壁连接的倾斜部分,并且所述至少一个超声波发生器还包括设置在所述基体的所述倾斜部分上的第四超声波发生器。5.根据权利要求2所述的设备,其中,所述至少一个超声波发生器还包括设置在所述基体的所述容纳部中的第五超声波发生器。6.根据权利要求1所述的设备,其中,所述至少一个超声波发生器是探针超声波发生器,所述探针超声波发生器选择性地向所述基底的多个区域产生超声波,所述探针超声波发生器与所述基体分离,并且所述探针超声波发生器在与所述基底的其上形成有所述半导体元件的表面垂直的方向上产生并施加超声波。7.根据权利要求6所述的设备,其中,所述探针超声波发生器在所述基体上在至少一个方向上移动。8.根据权利要求6所述的设备,所述设备还包括:工作台,所述基体设置在所述工作台上;以及台架单元,在所述工作台上方,所述探针超声波发生器设置在所述台架单元上,其中,当所述基体在所述工作台上移动时,所述探针超声波发生器向所述基底产生超声波。9.根据权利要求1所述的设备,所述设备还包括:第一入口管,连接到所述基体的所述容纳部的一侧;以及第二入口管,连接到所述基体的所述容纳部的另一侧,其中,所述第一入口管将溶剂引入到所述基体的所述容纳部中,并且所述第二入口管排出所述溶剂和所述半导体元件。10.根据权利要求9所述的设备,所述设备还包括:
过滤器部,连接到所述第一入口管和所述第二入口管;第一过滤器,设置...
【专利技术属性】
技术研发人员:金仁赫,金东均,郑载勳,郭珍午,柳熙娟,赵诚赞,崔贞仁,洪惠贞,姜锺赫,李东彦,赵显敏,
申请(专利权)人:三星显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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