阵列式无风型直流静电中和装置制造方法及图纸

技术编号:37617390 阅读:28 留言:0更新日期:2023-05-18 12:08
本发明专利技术涉及一种阵列式无风型直流静电中和装置,所述阵列式无风型直流静电中和装置包括呈阵列式排布的多个离子发生模块以及与分别与各所述离子发生模块连接的高压电源模块;所述离子发生模块包括加速电极和与所述加速电极连接的放电针组;所述高压电源模块包括加速高压电源和电离高压电源,所述加速高压电源与所述加速电极连接,所述电离高压电源与所述放电针组连接。本发明专利技术采用阵列式的离子发生模块,可根据静电防护区域面积,自由调整离子发生模块的数量,适用场景广泛,尤其适合静电防护区域面积较大的场景,且可通过改变高压电源模块的输出幅值,方便地调整离子化静电场中和防护区域的作用面积和距离。防护区域的作用面积和距离。防护区域的作用面积和距离。

【技术实现步骤摘要】
阵列式无风型直流静电中和装置


[0001]本专利技术涉及静电
,具体涉及一种阵列式无风型直流静电中和装置。

技术介绍

[0002]随着电子信息产业和微电子技术的高速发展,微电子器件、光电子器件以及混合集成电路等小型化、集成度高的静电放电敏感元器件被广泛使用,其在生产、测试、焊接等环节中,暴露在外界环境而无保护电路进行静电防护,极易受到静电损伤,导致完全失效或部分失效(性能及可靠性降低)。因此,离子化静电中和消除装置(例如离子棒、离子风机等)成为电子产品生产、测试、焊接环节必不可少的静电防护设备,对电子产品单机可靠性、批次良品率的提高起到举足轻重的作用。
[0003]传统的离子化静电中和消除设备大多需要依靠设备内部风扇(离子风机)或外部循环风(离子棒)实现离子流定向输出,少数无风型离子化静电消除产品均为点状输出,单台设备的作用面积有限,面对大面积静电防控区域智能通过多台并行使用,不便于统一控制和调节离子平衡度,且总体体积功耗较大,不便于安装使用。

技术实现思路

[0004]有鉴于此,本专利技术旨在提出一种阵列式无风型直流静电中和装置,可有效提高离子输出效率,提高离子化静电中和防护区域的作用面积。
[0005]本专利技术实施例提出的一种阵列式无风型直流静电中和装置,包括呈阵列式排布的多个离子发生模块以及与分别与各所述离子发生模块连接的高压电源模块;所述离子发生模块包括加速电极和与所述加速电极连接的放电针组;所述高压电源模块包括加速高压电源和电离高压电源,所述加速高压电源与所述加速电极连接,所述电离高压电源与所述放电针组连接。
[0006]进一步地,所述离子发生模块包括正离子发生模块和负离子发生模块,所述正离子发生模块包括正离子发生模块加速电极和正离子发生模块放电针组,所述负离子发生模块包括负离子发生模块加速电极和负离子发生模块放电针组;所述加速高压电源包括加速高压电源正极和加速高压电源负极,所述电离高压电源包括电离高压电源正极和电离高压电源负极;所述加速高压电源正极分别与所有的所述正离子发生模块加速电极连接,所述电离高压电源正极分别与所有的所述正离子发生模块放电针组连接,所述加速高压电源负极分别与所有的所述负离子发生模块加速电极连接,所述电离高压电源负极分别与所有的所述负离子发生模块放电针组连接。
[0007]进一步地,所述正离子发生模块和所述负离子发生模块依次交错排布。
[0008]进一步地,多个所述正离子发生模块和多个所述负离子发生模块构成多行多列的阵列式排布;其中:对于任一所述正离子发生模块,沿行的方向相邻的均为所述负离子发生模块,沿列的方向相邻的均为所述正离子发生模块;对于任一所述负离子发生模块,沿行的方向相邻的均为所述正离子发生模块,沿列的方向相邻的均为所述负离子发生模块。
[0009]进一步地,所述高压电源模块的输出低端均接地;所述加速高压电源正极的输出为5.5kV;所述电离高压电源正极的输出为5kV;所述加速高压电源负极的输出为

5.5kV;所述电离高压电源负极的输出为

5kV。
[0010]进一步地,所述加速高压电源正极、所述电离高压电源正极、所述加速高压电源负极和所述电离高压电源负极的输出均在预定范围内可调。
[0011]进一步地,多个所述离子发生模块的朝向均相同。
[0012]进一步地,所述加速电极呈桶状体;所述放电针组设置在所述加速电极的桶状体开口端的内周上,且所述放电针组包括多个放电针,多个所述放电针沿所述加速电极的内周周向排布。
[0013]进一步地,所述离子发生模块还包括绝缘支架,所述绝缘支架呈桶状体,所述绝缘支架套设在所述加速电极的桶状体封闭端上。
[0014]进一步地,其特征在于,所述加速电极为平板电极。
[0015]根据本专利技术的至少一个方面,本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置通过将传统的风扇驱动离子运动改进为利用加速电场驱动离子输出,适用于要求空气流动性较低的静电防护区域。
[0016]根据本专利技术的至少一个方面,本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置对离子发生模块进行阵列式模块化设计,可根据具体静电防护区域面积,增加或减少离子发生模块的数量,适合静电防护区域面积较大的场合。
[0017]根据本专利技术的至少一个方面,本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置可以通过改变高压电源模块的输出幅值,方便地调节阵列式离子发生模块的输出特性,从而调整离子化静电中和防护区域的作用面积和作用距离。
[0018]根据本专利技术的至少一个方面,本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置结构简单,装配方便,便于快速更换在使用过程中容易损坏的高压电源模块和离子发生模块,大幅缩短维修、维护时间,提高离子化静电中和装置的可维修性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置的结构示意图;
[0021]图2为本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置的电极连接示意图;
[0022]图3为本专利技术实施例的离子发生模块的结构示意图。
具体实施方式
[0023]此说明书实施方式的描述应与相应的附图相结合,附图应作为完整的说明书的一部分。在附图中,实施例的形状或是厚度可扩大,并以简化或是方便标示。再者,附图中各结构的部分将以分别描述进行说明,值得注意的是,图中未示出或未通过文字进行说明的元件,为所属
中的普通技术人员所知的形式。
[0024]此处实施例的描述,有关方向和方位的任何参考,均仅是为了便于描述,而不能理解为对本专利技术保护范围的任何限制。以下对于优选实施方式的说明会涉及到特征的组合,这些特征可能独立存在或者组合存在,本专利技术并不特别地限定于优选的实施方式。本专利技术的范围由权利要求书所界定。
[0025]如图1和图3所示,是本专利技术实施例的阵列式无风型直流静电中和装置的结构示意图,所述阵列式无风型直流静电中和装置包括呈阵列式排布的多个离子发生模块以及与分别与各离子发生模块连接的高压电源模块。其中,离子发生模块包括加速电极和与加速电极连接的放电针组。高压电源模块包括加速高压电源和电离高压电源,加速高压电源与加速电极连接,电离高压电源与放电针组连接。
[0026]如图2所示,在本实施例中,离子发生模块还包括正离子发生模块和负离子发生模块,正离子发生模块包括正离子发生模块加速电极和正离子发生模块放电针组,负离子发生模块包括负离子发生模块加速电极和负离子发生模块放电针组。高压电源模块的数量为一个,其中,加速高压电源包括加速高压电源正极和加速高压电源负极,电离高压电源包括电离高压电源正极和电离高压电源负极。加速高压电源正极分别与所有的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阵列式无风型直流静电中和装置,其特征在于,所述阵列式无风型直流静电中和装置包括呈阵列式排布的多个离子发生模块以及与分别与各所述离子发生模块连接的高压电源模块;所述离子发生模块包括加速电极和与所述加速电极连接的放电针组;所述高压电源模块包括加速高压电源和电离高压电源,所述加速高压电源与所述加速电极连接,所述电离高压电源与所述放电针组连接。2.根据权利要求1所述的阵列式无风型直流静电中和装置,其特征在于,所述离子发生模块包括正离子发生模块和负离子发生模块,所述正离子发生模块包括正离子发生模块加速电极和正离子发生模块放电针组,所述负离子发生模块包括负离子发生模块加速电极和负离子发生模块放电针组;所述加速高压电源包括加速高压电源正极和加速高压电源负极,所述电离高压电源包括电离高压电源正极和电离高压电源负极;所述加速高压电源正极分别与所有的所述正离子发生模块加速电极连接,所述电离高压电源正极分别与所有的所述正离子发生模块放电针组连接,所述加速高压电源负极分别与所有的所述负离子发生模块加速电极连接,所述电离高压电源负极分别与所有的所述负离子发生模块放电针组连接。3.根据权利要求2所述的阵列式无风型直流静电中和装置,其特征在于,所述正离子发生模块和所述负离子发生模块依次交错排布。4.根据权利要求2所述的阵列式无风型直流静电中和装置,其特征在于,多个所述正离子发生模块和多个所述负离子发生模块构成多行多列的阵列式排布;其中:对于任一所述正离子发生模块,沿行的方向相邻的均为所述负离子发生模块,沿列的方向相邻的均为所述正离子发生模块;对于任...

【专利技术属性】
技术研发人员:延峰董怿博周黎吴嘉鹏李京王磊程千钉张卫红刘英乾王滨
申请(专利权)人:北京东方计量测试研究所
类型:发明
国别省市:

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