一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备技术方案

本实用新型专利技术属于链式湿法刻蚀清洗设备技术领域，具体涉及一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备，通过槽体装置、控制模块，以及与所述控制模块电性连接的循环装置和补液装置；所述槽体装置与所述循环装置和所述补液装置连接；所述控制模块适于控制所述循环装置对槽体装置内的溶液进行循环；所述控制模块适于在所述槽体装置内的溶液不足时控制所述补液装置对槽内装置内进行补液，实现了槽体装置中配液精准，避免了配液不精准导致对于硅片清洗效果不佳的影响，确保了硅片的质量。确保了硅片的质量。确保了硅片的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备


[0001]本技术属于链式湿法刻蚀清洗设备
，具体涉及一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备。

技术介绍

[0002]目前链式单面去PSG和BSG清洗设备产能要求大，采用的双轨道传动，共用一个槽体的结构，槽体截面积大且截面积不规则，采用传统的液位检测器配液，因为截面积大且不规则导致配液精度差。
[0003]即当清洗设备因产能要求，扩大同时间内硅片的处理数量，进而槽体的整体宽度变长，传统的液位检测器配液方式一方面添配的各溶液密度不同，反映到液位检测器存在液位虚高，另一方面由于传输辊部分与液面接触，造成部分液面横截面有差异，不能真实反映槽内溶液的液面高度。
[0004]因此，基于上述技术问题需要设计一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种新型的链式槽体的配液系统及链式清洗设备，以解决链式单面去PSG清洗设备槽体配液差技术问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种新型的链式槽体的配液系统，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的链式槽体的配液系统，其特征在于，包括：槽体装置、控制模块，以及与所述控制模块电性连接的循环装置和补液装置；所述补液装置与所述槽体装置连接，所述循环装置与所述槽体装置连接；所述控制模块适于控制所述循环装置对槽体装置内的溶液进行循环；所述控制模块适于在所述槽体装置内的溶液不足时控制所述补液装置对槽内装置内进行补液。2.如权利要求1所述的新型的链式槽体的配液系统，其特征在于，所述槽体装置包括：主槽体；所述主槽体的两侧设置有溢流槽，所述主槽体与所述溢流槽之间设有挡水板；所述溢流槽适于承接主槽体中溢流的溶液；所述主槽体设有连通口，用于连通所述补液装置。3.如权利要求2所述的新型的链式槽体的配液系统，其特征在于，所述循环装置包括：副槽体，与所述溢流槽连通；泵浦，设置在所述副槽体与所述主槽体之间，所述泵浦与所述控制模块电性连接；以通过控制模块控制泵浦将副槽体内的溶液泵入所述主槽体中。4.如权利要求3所述的新型的链式槽体的配液系统，其特征在于，所述循环装置还包括：旁通管和液位检测器；所述旁通管与所述副槽体连通；所述液位检测器设置在所述旁通管内；所述液位检测器与所述控制模块电性连接；所述液位检测器适于检测所述旁通管内液位高度，以获取副槽体内的液位高度。5.如权利要求4所述的新型的链式槽体的配液系统，其特征在于，所述旁通管设置在所述副槽体的一侧，并且所述旁通管的底面与所述副槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，刘洪勇，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：