化学品取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种化学品取样装置，属于化学品处理领域，包括柜体、取样容器、取样管道及负压组件，取样容器设置于柜体内，取样管道设置于柜体内，取样管道一端伸出柜体，用于插入化学品原料桶，另一端与取样容器连通，负压组件连接于取样管道，用于在取样管道内产生负压，以使取样管道将化学品原料桶内的化学品原料输送至取样容器内。本化学品取样装置通过负压原理可以方便快捷地对化学品原料进行取样，以提前检测化学品原料的品质，确定化学品原料没有品质问题后再通过CDU进行取样分析，从而有效防止存在品质问题的化学品原料污染损坏CDU等设备。原料污染损坏CDU等设备。原料污染损坏CDU等设备。

【技术实现步骤摘要】
化学品取样装置


[0001]本技术涉化学品处理领域，具体而言，涉及一种化学品取样装置。

技术介绍

[0002]半导体等领域的化学品取样分析，通常是由专用的CDU(Chemical Dispense Unit，化学品分配单元)进行的，这种取样分析方式虽然可以发现化学品原料的品质问题，但是也会导致CDU的相关管道被污染，从而影响生产，造成经济损失。
[0003]目前还没有在CDU进行取样分析前对化学品原料进行取样以提前检测其品质的装置。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种化学品取样装置，其能够方便快捷地对化学品原料进行取样，以提前检测化学品原料的品质，防止存在品质问题的化学品原料污染损坏CDU等设备。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，本技术提供一种化学品取样装置，包括：
[0007]柜体；
[0008]取样容器，所述取样容器设置于所述柜体内；
[0009]取样管道，所述取样管道设置于所述柜体内，所述取样管道一端伸出所述柜体，用于插入化学品原料桶，另一端与所述取样容器连通；
[0010]负压组件，所述负压组件连接于所述取样管道，用于在所述取样管道内产生负压，以使所述取样管道将所述化学品原料桶内的化学品原料输送至所述取样容器内。
[0011]在可选的实施方式中，所述负压组件包括按压气囊，所述按压气囊与所述取样管道连通，所述按压气囊部分伸出所述柜体。
[0012]在可选的实施方式中，所述负压组件还包括隔膜，所述隔膜设置于所述按压气囊和所述取样管道之间，用于防止所述取样管道内的化学品原料接触所述按压气囊。
[0013]在可选的实施方式中，所述隔膜为PFA材质或者PTFE材质。
[0014]在可选的实施方式中，所述取样管包括依次连通的取样段、负压段以及送样段，所述取样段远离所述负压段的一端伸出所述柜体，所述负压段与所述按压气囊连通，所述送样段远离所述负压段的一端与所述取样容器连通，所述取样段设置有第一阀门和第一单向阀，所述送样段设置有第二阀门和第二单向阀。
[0015]在可选的实施方式中，所述取样段包括通过接头可拆卸连接且连通的软管和硬管，所述软管远离所述硬管的一端伸出所述柜体，所述硬管远离软管的一端与所述负压段连接，所述第一阀门和所述第一单向阀设置于所述硬管。
[0016]在可选的实施方式中，还包括清洗管道，所述清洗管道一端固定于所述柜体侧壁，用于与外部的水源或者气源连通，另一端与所述取样管道连通，所述清洗管道上设置有第
三阀门。
[0017]在可选的实施方式中，所述柜体内部设置有控制室、操作室及取样室，所述取样容器位于所述取样室，所述取样管道依次经过所述控制室、所述操作室及所述取样室，所述负压组件设置于所述操作室且部分伸出所述操作室至所述柜体外。
[0018]在可选的实施方式中，所述柜体内部还设置有收集室，所述收集室位于所述操作室的下方，所述收集室设置有废液容器，所述废液容器同时与所述控制室和所述取样室连通。
[0019]在可选的实施方式中，所述柜体的底部设置有多个具有锁止功能的脚轮。
[0020]本技术实施例的有益效果包括：
[0021]本化学品取样装置包括柜体、取样容器、取样管道及负压组件，取样容器设置于柜体内，取样管道设置于柜体内，取样管道一端伸出柜体，用于插入化学品原料桶，另一端与取样容器连通，负压组件连接于取样管道，用于在取样管道内产生负压，以使取样管道将化学品原料桶内的化学品原料输送至取样容器内。本化学品取样装置通过负压原理可以方便快捷地对化学品原料进行取样，以提前检测化学品原料的品质，确定化学品原料没有品质问题后再通过CDU进行取样分析，从而有效防止存在品质问题的化学品原料污染损坏CDU等设备，进而保证生产的正常进行。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0023]图1为本技术实施例提供的化学品取样装置的结构示意图。
[0024]图标:10
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化学品取样装置；102
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控制室；104
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操作室；106
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取样室；108
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收集室；100
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柜体；200
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取样容器；300
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取样管道；302
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接头；310
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取样段；312
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软管；314
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硬管；316
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第一单向阀；318
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第一阀门；320
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负压段；330
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送样段；332
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第二单向阀；334
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第二阀门；400
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负压组件；410
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按压气囊；420
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隔膜；500
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清洗管道；510
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第三阀门；600
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废液容器；700
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脚轮。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一
个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]此外，术语“水平”、“竖直”等术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学品取样装置，其特征在于，包括：柜体；取样容器，所述取样容器设置于所述柜体内；取样管道，所述取样管道设置于所述柜体内，所述取样管道一端伸出所述柜体，用于插入化学品原料桶，另一端与所述取样容器连通；负压组件，所述负压组件连接于所述取样管道，用于在所述取样管道内产生负压，以使所述取样管道将所述化学品原料桶内的化学品原料输送至所述取样容器内。2.根据权利要求1所述的化学品取样装置，其特征在于，所述负压组件包括按压气囊，所述按压气囊与所述取样管道连通，所述按压气囊部分伸出所述柜体。3.根据权利要求2所述的化学品取样装置，其特征在于，所述负压组件还包括隔膜，所述隔膜设置于所述按压气囊和所述取样管道之间，用于防止所述取样管道内的化学品原料接触所述按压气囊。4.根据权利要求3所述的化学品取样装置，其特征在于，所述隔膜为PFA材质或者PTFE材质。5.根据权利要求2所述的化学品取样装置，其特征在于，所述取样管包括依次连通的取样段、负压段以及送样段，所述取样段远离所述负压段的一端伸出所述柜体，所述负压段与所述按压气囊连通，所述送样段远离所述负压段的一端与所述取样容器连通，所述取样段设置有第一阀门和第一单向阀，所述送样段设置有第二阀门和...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建，吕芳栋，叶水全，罗鸿，卫元元，邹方海，李书文，张哲，王奇缘，徐江，简征程，张旭，张建，卿成，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：