流体特性传感器制造技术

本发明专利技术的流体特性传感器(1A)对作为测定对象的流体(3)的特性进行测定，其中，具备：压力损耗生成部(10)，其通过所述流体(3)流动而产生压力损耗；第一流路(20)，其与所述压力损耗生成部(10)连接，供所述流体(3)和作为极性溶剂的工作液(4)流动；隔壁(21)，其配置在所述第一流路(20)内，将所述流体(3)与所述工作液(4)隔开；以及电位测定部(30)，其与所述第一流路(20)连接，并且测定在所述工作液(4)流动时产生的流动电位。产生的流动电位。产生的流动电位。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流体特性传感器


[0001]本专利技术涉及流体特性传感器。

技术介绍

[0002]例如，在专利文献1中，公开了一种对作为流体特性之一的液体的粘度进行测定的粘度测定法。专利文献1所记载的粘度测定法使用细管流路，对被测定对象的液体在细管流路流动的流速进行测定，由此来测定液体的粘度。另外，专利文献1所记载的粘度测定法通过对被测定对象的液体在细管流路流动时在细管流路产生的流动电流进行测定来测定流速。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2009
‑
42100号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]但是，在专利文献1中，在测定各种流体的特性这方面仍具有改善的余地。
[0008]用于解决问题的手段
[0009]本专利技术的一方式的流体特性传感器对作为测定对象的流体的特性进行测定，其中，
[0010]所述流体特性传感器具备：
[0011]压力损耗生成部，其通过所述流体流动而产生压力损耗；
[0012]第一流路，其与所述压力损耗生成部连接，供所述流体和作为极性溶剂的工作液流动；
[0013]隔壁，其配置在所述第一流路内，将所述流体与所述工作液隔开；以及
[0014]电位测定部，其与所述第一流路连接，并且测定在所述工作液流动时产生的流动电位。
[0015]专利技术效果
[0016]根据本专利技术，能够提供能够测定各种流体的特性的流体特性传感器。
附图说明
[0017]图1是本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0018]图2是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的一例的主要结构的框图。
[0019]图3是本专利技术的实施方式1的测定方法的一例的流程图。
[0020]图4A是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0021]图4B是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0022]图4C是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0023]图5是示出由本专利技术的实施方式1的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0024]图6A是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0025]图6B是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0026]图6C是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0027]图6D是示出本专利技术的实施方式1的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0028]图7是本专利技术的实施方式1的变形例1的流体特性传感器的概要结构图。
[0029]图8是本专利技术的实施方式1的变形例2的流体特性传感器的概要结构图。
[0030]图9是本专利技术的实施方式1的变形例3的流体特性传感器的概要结构图。
[0031]图10是示出由本专利技术的实施方式1的流体特性传感器测定的三个测定对象的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0032]图11是示出图10的坐标图的时刻t时的流动电位测定值的倒数与测定对象的粘度之间的关系的一例的坐标图。
[0033]图12是本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0034]图13是示出本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的一例的主要结构的框图。
[0035]图14是本专利技术的实施方式2的测定方法的一例的流程图。
[0036]图15A是示出本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0037]图15B是示出本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0038]图15C是示出本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的动作的一例的概要图。
[0039]图16是示出由本专利技术的实施方式2的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0040]图17是示出由本专利技术的实施方式2的流体特性传感器测定的流动电位的变化的另一例的坐标图。
[0041]图18是示出本专利技术的实施方式2的流体特性传感器的动作的另一例的概要图。
[0042]图19是本专利技术的实施方式2的变形例4的测定方法的一例的流程图。
[0043]图20是本专利技术的实施方式3的测定方法的一例的流程图。
[0044]图21是示出由本专利技术的实施方式3的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0045]图22是示出实施例1～3的测定条件和测定结果的一例的表。
[0046]图23是示出实施例1和实施例3的粘度与剪切速度之间的关系的一例的坐标图。
[0047]图24是本专利技术的实施方式4的测定方法的一例的流程图。
[0048]图25是示出实施例4和实施例5的测定条件和测定结果的一例的表。
[0049]图26是示出实施例4和实施例5的粘度与剪切速度之间的关系的一例的坐标图。
[0050]图27是本专利技术的实施方式5的测定方法的一例的流程图。
[0051]图28是示出由本专利技术的实施方式5的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0052]图29是示出实施例6～9的测定条件和测定结果的一例的表。
[0053]图30是示出实施例6～9的粘度与剪切速度之间的关系的一例的坐标图。
[0054]图31是比较例1的流体特性传感器的概要图。
[0055]图32是示出由比较例1的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0056]图33是示出由比较例2的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0057]图34是示出由比较例3的流体特性传感器测定的流动电位的变化的一例的坐标图。
[0058]图35是本专利技术的实施方式6的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0059]图36是图35所示的流体特性传感器的概要分解图。
[0060]图37A是示出本专利技术的实施方式6的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0061]图37B是示出本专利技术的实施方式6的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0062]图37C是示出本专利技术的实施方式6的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0063]图37D是示出本专利技术的实施方式6的流体特性传感器的制造工序的一例的概要图。
[0064]图38是本专利技术的实施方式7的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0065]图39是本专利技术的实施方式7的变形例5的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0066]图40是本专利技术的实施方式7的变形例6的流体特性传感器的一例的概要结构图。
[0067]图41是示出固体隔壁的另一例的概要图。
[0068]图4本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种流体特性传感器，其对作为测定对象的流体的特性进行测定，其中，所述流体特性传感器具备：压力损耗生成部，其通过所述流体流动而产生压力损耗；第一流路，其与所述压力损耗生成部连接，供所述流体和作为极性溶剂的工作液流动；隔壁，其配置在所述第一流路内，将所述流体与所述工作液隔开；以及电位测定部，其与所述第一流路连接，并且测定在所述工作液流动时产生的流动电位。2.根据权利要求1所述的流体特性传感器，其中，所述压力损耗生成部具有细管或者设置有多个孔的多孔体，该细管具有比所述第一流路的流路截面积小的流路截面积。3.根据权利要求1或2所述的流体特性传感器，其中，所述电位测定部具有：第一电极，其能够供所述工作液通过；第二电极，其与所述第一电极具有间隔地配置，并且能够供所述工作液通过；以及第二流路，其配置在所述第一电极与所述第二电极之间，并且被所述工作液充满，所述第二流路具有细管或者设置有多个孔的多孔体，所述第二流路的所述细管具有比所述第一流路的流路截面积小的流路截面积。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体特性传感器，其中，所述工作液具有比水的沸点高的沸点和比水的熔点低的熔点中的至少一个。5.根据权利要求1至4中任一项所述的流体特性传感器，其中，所述隔壁是气体，所述第一流路朝向重力方向延伸，在所述第一流路内，所述工作液与所述隔壁的界面比所述流体与所述隔壁的界面高。6.根据权利要求5所述的流体特性传感器，其中，所述第一流路的内壁具有疏水性。7.根据权利要求1至6中任一项所述的流体特性传感器，其中，所述流体特性传感器还具备泵，该泵与所述电位测定部连接，并且输送所述工作液。8.根据权利要求7所述的流体特性传感器，其中，所述泵是电渗泵，具有：第三电极，其能够供所述工作液通过；第四电极，其与所述第三电极具有间隔地配置，并且能够供所述工作液通过；以及第三流路，其配置在所述第三电极与所述第四电极之间，并且被所述工作液充满，所述第三流路具有设置有多个孔的多孔体。9.根据权利要求7或8所述的流体特性传感器，其中，所述流体特性传感器还具备泵控制部，该泵控制部对所述泵的送液方向和送液压力进行控制，所述送液方向包括：第一方向，其从所述压力损耗生成部朝向所述泵；以及第二方向，其是与所述第一方向相反的方向，从所述泵朝向所述压力损耗生成部。10.根据权利要求9所述的流体特性传感器，其中，
所述泵控制部基于由所述电位测定部测定出的所述流动电位的测定值，对所述泵的送液方向进行控制。11.根据权利要求10所述的流体特性传感器，其中，所述泵控制部在所述送液方向为所述第一方向且所述流动电位的测定值收敛之后，将所述送液方向切换为所述第二方向，所述泵控制部在所述送液方向为所述第二方向且每单位时间的流动电位的变化量的绝对值增大到超过了阈值时，将所述泵停止。12.根据权利要求10或11所述的流体特性传感器，其中，所述隔壁具有比所述压力损耗生成部的流路体积大的体积，所述泵控制部在所述送液方向为所述第二方向且每单位时间的...

【专利技术属性】
技术研发人员：森朝崇文，川田秋一，高田美佳，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：