一种中空轴电机及晶圆加工设备制造技术

本申请涉及一种中空轴电机，其包括电机本体，所述电机本体包括壳体、定子、中空轴和第一冷却机构，所述定子设置在所述壳体内，所述中空轴设置在所述定子内；所述第一冷却机构包括冷却套、进水管和出水管，所述冷却套设置在所述壳体上，所述冷却套上开设有流动通道，所述冷却套上开设有两个进出口，所述进水管与其中一个所述进出口连通，所述出水管与另一个所述进出口连通。本申请具有提高散热的效果。本申请具有提高散热的效果。本申请具有提高散热的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种中空轴电机及晶圆加工设备


[0001]本申请涉及电机的
，尤其是涉及一种中空轴电机及晶圆加工设备。

技术介绍

[0002]电机是以电磁感应现象为基础实现机械能与电能之间的转换以及变换电能的机械，电机在长时间工作后，温度不断升高,电机内部的电阻也会增加,这个时候电动机的效率和出力就会急剧下降，较高的温度也会影响到电动机内部的润滑和绝缘,这时电机需要进行散热。
[0003]目前，授权公告号为CN203813600U的中国专利公开了一种散热好的电机，包括电机机壳、电机前盖、电机后盖及电机转子，电机转子上固定有风叶，电机外壳、电机前盖及电机后盖之间设置有通孔，电机转子上还设置有卡环，卡环设置在风叶旁并限制风叶轴向移动，电机转子上设置有卡槽，风叶对应卡槽位置设置有与卡槽相适配的插块。
[0004]风叶进行散热的时候，只是将电机机壳内的热量吹到机壳外面，当电机全日满负荷运转的时候，电机机壳附件的热量就会比较多，机壳外面的热量会进行热交换到机壳内，从而导致电机的散热效果不是很好。

技术实现思路

[0005]为了提高散热效果，本申请提供一种中空轴电机及晶圆加工设备。
[0006]第一方面，本申请提供的一种中空轴电机，采用如下的技术方案：一种中空轴电机，包括电机本体，所述电机本体包括壳体、定子、中空轴和第一冷却机构，所述定子设置在所述壳体内，所述中空轴设置在所述定子内；所述第一冷却机构包括冷却套、进水管和出水管，所述冷却套设置在所述壳体上，所述冷却套上开设有流动通道，所述冷却套上开设有两个进出口，所述进水管与其中一个所述进出口连通，所述出水管与另一个所述进出口连通。
[0007]通过采用上述技术方案，朝进水管内通入冷却水，冷却水进入到冷却套的流动通道内，最后通过出水管流出；当冷却水在冷却通道内进行流到的时候，电机本体产生的热量会进行热传递到冷却水上，从而实现冷却水对电机的降温，而且冷却水一直是流动的，降温效果就会比较好；因此设置的第一冷却机构能够提高散热效果。
[0008]可选的，所述进水管和所述出水管上均设置有与所述冷却套连接的第一连接机构，所述第一连接机构包括第一连接块、第二连接块、第三连接块和第一密封垫，所述第一连接块设置在所述冷却套上，所述第一连接块上开设有与所述进出口连通的第一通孔，所述第一连接块的外侧壁上设置有外螺纹；所述进水管和所述出水管上均设置有所述第二连接块，所述第二连接块上开设有与所述进水管水流通道或所述出水管水流通道连通的第二通孔；所述第三连接块转动设置在所述第二连接块上，所述第二连接块上开设有与所述第二通孔连通的第三通孔，所述第三通孔的侧壁上设置有内螺纹，且所述第一连接块上的外螺纹与所述第三连接块上的内螺纹螺纹连接；所述第一密封垫设置在所述第三通孔内且与
所述第二连接块连接，所述第一连接块抵触所述第一密封垫。
[0009]通过采用上述技术方案，朝靠近第一连接块方向的移动第三连接块，然后转动第三连接块，使第三连接块上的内螺纹与第一连接块上的外螺纹螺纹连接，第三连接块就会相对第一连接块发生位移，第三连接块带动第二连接块朝靠近第一连接块的方向运动，使第一连接块抵紧第一密封垫；这样就会实现进水管和出水管与冷却套的连接；设置的第一连接机构便于进水管和出水管与冷却套的连接，并且操作简单。
[0010]可选的，所述第一连接块上设置有与所述第三连接块连接的定位稳固机构，所述定位稳固机构包括第一定位块、第二定位块、定位杆、第一滑块、第一弹簧、导向块和第一固定螺栓，所述第一连接块设置在所述冷却套上，所述第一连接块上开设有第一放置槽；所述定位杆的一端设置在所述第一放置槽内；所述第三连接块的侧壁上开设有第一滑槽，所述第一滑块滑移设置在所述第一滑槽内；所述第一弹簧的一端与所述第一滑槽侧壁连接且另一端与所述第一滑块连接；所述第二定位块设置在所述第一滑块上，所述导向块设置在所述第二定位块上，所述定位杆上开设有与所述导向块滑移连接的导向槽；所述第二定位块能进入到所述第一放置槽内，所述第一固定螺栓穿过所述第一定位块与所述第二定位块连接。
[0011]通过采用上述技术方案，先将定位杆与第一定位块上的第一放置槽卡接，然后将导向块进入到定位杆的导向槽内；然后朝靠近第一连接块的方向移动第三连接块；当第一连接块远离冷却套的一端进入到第三连接块的第三通孔内，且外螺纹抵触内螺纹的时候，将定位杆从第一放置槽内拿出，并使导向块与导向槽分开；然后再转动第三连接块，使内螺纹与外螺纹螺纹连接；当第一连接块要抵紧第一密封垫的时候，第二定位块抵触第一定位块，这时朝远离冷却套的一端移动第二定位块，使第二定位块不再抵触第一定位块，第一弹簧会被压缩；然后再继续转动第三连接块，使第二定位块抵触第一连接块远离冷却套的一端；再继续转动第三连接块，当第二定位块对准第一放置槽的时候，第一弹簧恢复弹性形变，第一弹簧恢复弹性形变的力会带动第一滑块在第一滑槽内滑移，第一滑块上的第二定位块就会进入到第一放置槽内，这时第一连接块抵紧第一密封垫；最后将第一固定螺栓穿过第一定位块与位于第一放置槽内的第二定位块螺纹连接；因为设置的定位稳固机构不仅能够提高第三连接块与第一连接块连接时的稳定性，而且还能够减少当第一连接块抵触第一橡胶垫的时候还继续转动第三连接块造成外螺纹或外螺纹损坏的现象。
[0012]可选的，所述壳体上设置有加固机构，所述加固机构包括加固块、第二固定螺栓、抵紧块和第二弹簧，所述加固块上开设有两个限定槽，所述进水管和所述出水管分别位于两个所述限定槽内；所述第二固定螺栓穿过所述加固块与所述冷却套螺纹连接；所述加固块上开设有与所述限定槽连通的第一凹槽，所述抵紧块的一端滑移设置在所述第一凹槽内且另一端抵触位于所述限定槽内的所述进水管或所述出水管；所述第二弹簧的一端与所述第一凹槽侧壁连接且另一端与所述抵紧块连接。
[0013]通过采用上述技术方案，当进水管和出水管与冷却套连接后，将加固块抵触壳体，且进水管和出水管分别位于两个限定槽内，并使抵紧块远离第二弹簧的一端抵触进水管或出水管；最后将第二固定螺栓穿过加固块与壳体螺纹连接；设置的加固块和抵紧块能够对进水管和出水管进行限定，减少因为水流的湍流导致进水管和出水管发生剧烈晃动致使进水管或出水管与冷却套分开的现象，因此设置的加固机构能够提高进水管和出水管连接在
冷却套上的稳定性。
[0014]可选的，所述冷却套上设置有与所述壳体连接的第二冷却机构，所述第二冷却机构包括第一流水块、第二流水块、单向阀、连通块、圆环块和冷却管，所述第一流水块和所述第二流水块上均开设有第一流水腔和第二流水腔，所述第一流水腔和所述第二流水腔内均设置有所述单向阀；所述连通块设置有两个，所述连通块的一端与所述第一流水块连接且另一端与所述第二流水块连接，所述连通块上开设有第四通孔，其中一个所述连通块上的所述第四通孔连通所述第一流水块上的所述第一流水腔和所述第二流水块上的所述第一流水腔；另一个所述连通块上的所述第四通孔连通所述第一流水块上的所述第二流水腔和所述第二流水块上的所述第二流水腔；所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种中空轴电机，包括电机本体，其特征在于，所述电机本体包括壳体（11）、定子、中空轴（12）和第一冷却机构（2），所述定子设置在所述壳体（11）内，所述中空轴（12）设置在所述定子内；所述第一冷却机构（2）包括冷却套（21）、进水管（22）和出水管（23），所述冷却套（21）设置在所述壳体（11）上，所述冷却套（21）上开设有流动通道（211），所述冷却套（21）上开设有两个进出口，所述进水管（22）与其中一个所述进出口连通，所述出水管（23）与另一个所述进出口连通。2.根据权利要求1所述的一种中空轴电机，其特征在于，所述进水管（22）和所述出水管（23）上均设置有与所述冷却套（21）连接的第一连接机构（3），所述第一连接机构（3）包括第一连接块（31）、第二连接块（32）、第三连接块（33）和第一密封垫（34），所述第一连接块（31）设置在所述冷却套（21）上，所述第一连接块（31）上开设有与所述进出口连通的第一通孔（311），所述第一连接块（31）的外侧壁上设置有外螺纹（312）；所述进水管（22）和所述出水管（23）上均设置有所述第二连接块（32），所述第二连接块（32）上开设有与所述进水管（22）水流通道或所述出水管（23）水流通道连通的第二通孔（321）；所述第三连接块（33）转动设置在所述第二连接块（32）上，所述第二连接块（32）上开设有与所述第二通孔（321）连通的第三通孔，所述第三通孔的侧壁上设置有内螺纹（331），且所述第一连接块（31）上的外螺纹（312）与所述第三连接块（33）上的内螺纹（331）螺纹连接；所述第一密封垫（34）设置在所述第三通孔内且与所述第二连接块（32）连接，所述第一连接块（31）抵触所述第一密封垫（34）。3.根据权利要求2所述的一种中空轴电机，其特征在于，所述第一连接块（31）上设置有与所述第三连接块（33）连接的定位稳固机构（4），所述定位稳固机构（4）包括第一定位块（41）、第二定位块（42）、定位杆（43）、第一滑块（44）、第一弹簧（45）、导向块（47）和第一固定螺栓（46），所述第一连接块（31）设置在所述冷却套（21）上，所述第一连接块（31）上开设有第一放置槽；所述定位杆（43）的一端设置在所述第一放置槽内；所述第三连接块（33）的侧壁上开设有第一滑槽，所述第一滑块（44）滑移设置在所述第一滑槽内；所述第一弹簧（45）的一端与所述第一滑槽侧壁连接且另一端与所述第一滑块（44）连接；所述第二定位块（42）设置在所述第一滑块（44）上，所述导向块（47）设置在所述第二定位块（42）上，所述定位杆（43）上开设有与所述导向块（47）滑移连接的导向槽（431）；所述第二定位块（42）能进入到所述第一放置槽内，所述第一固定螺栓（46）穿过所述第一定位块（41）与所述第二定位块（42）连接。4.根据权利要求2所述的一种中空轴电机，其特征在于，所述壳体（11）上设置有加固机构（5），所述加固机构（5）包括加固块（51）、第二固定螺栓（52）、抵紧块（53）和第二弹簧（54），所述加固块（51）上开设有两个限定槽（511），所述进水管（22）和所述出水管（23）分别
位于两个所述限定槽（511）内；所述第二固定螺栓（52）穿过所述加固块（51）与所述冷却套（21）螺纹连接；所述加固块（51）上开设有与所述限定槽（511）连通的第一凹槽，所述抵紧块（53）的一端滑移设置在所述第一凹槽内且另一端抵触位于所述限定槽（511）内的所述进水管（22）或所述出水管（23）；所述第二弹簧（54）的一端与所述第一凹槽侧壁连接且另一端与所述抵紧块（53）连接。5.根据权利要求2所述的一种中空轴电机，其特征在于，所述冷却套（21）上设置有与所述壳体（11）连接的第二冷却机构（6），所述第二冷却机构（6）包括第一流水块（61）、第二流水块（62）、单向阀、连通块（63）、圆环块（64）和冷却管（65），所述第一流水块（61）和所述第二流水块（62）上均开设有第一流水腔（621）和第二流水腔（622），所述第一流水腔（621）和所述第二流水腔（622）内均设置有所述单向阀；所述连通块（63）设置有两个，所述连通块（63）的一端与所述第一流水块（61）连接且另一端与所述第二流水块（62）连接，所述连通块（63）上开设有第四通孔，其中一个所述连通块（63）上的所述第四通孔连通所述第一流水块（61）上的所述第一流水腔（621）和所述第二流水块（62）上的所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖庆林，
申请(专利权)人：苏州市凌臣采集计算机有限公司，
类型：发明
国别省市：