射频匹配电压检测方法、检测装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种射频匹配电压检测方法、检测装置、电子设备及存储介质，检测方法包括步骤：对输出电压进行连续采样，以获得采样电压，并同步获取脉冲信号的脉冲电平；每当连续获取的第一目标数量的脉冲电平均处于脉冲开启阶段时，记录下一次采样的采样电压，直至获得第二目标数量的采样电压；将记录的采样电压进行运算后获得输出电压的检测结果。本申请通过同步获取采样电压以及脉冲电平，在第一目标数量的脉冲电平均在脉冲开启阶段时，记录下一次采样的采样电压，以使记录的采样电压尽量避开射频电源输出电压的上升沿，有效过滤处于输出电压上升沿的值，以提高检测准确性，无需对采样芯片的速率有更高要求，硬件成本也不会因此增加。此增加。此增加。

【技术实现步骤摘要】
射频匹配电压检测方法、检测装置、电子设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及射频匹配
，尤其涉及一种射频匹配电压检测方法、检测装置、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]在射频电源匹配的应用中，使用脉冲模式时，射频电源响应脉冲信号进行射频信号输出。例如，脉冲信号包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，射频电源在脉冲开启阶段时输出，在脉冲关闭阶段时关闭。为了让匹配器完成匹配，就需要检测到准确的输出电压的电压数据。目前常规使用的检测方式为取一定的数量的ad值，并从一定数量的ad值中依次取几个最大值的方式，该检测方式很难获取输出电压在脉冲处于高电平时段的电压值，特别是在脉冲宽度很小的时候，获取的电压值并不准确。
[0003]由于目前的采样芯片的采样速率跟不上，在一个脉冲内无法采集到多个高电平、低电平的数据，甚至在脉冲小的时候，一个脉冲都只能采集几个数据。虽然通过采用加大采集数量的方式在一定的范围内有所缓解，但是匹配速度变慢，而且脉冲小的时候依然满足不了采样需求。采样芯片的速度已经无法满足脉冲模式下的匹配，虽然在硬件上可以更换更快采样速率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种射频匹配电压检测方法，其特征在于，包括步骤：对输出电压进行连续采样，以获得采样电压，并同步获取脉冲信号的脉冲电平；每当连续获取的第一目标数量的所述脉冲电平均处于脉冲开启阶段时，记录下一次采样的所述采样电压，直至获得第二目标数量的所述采样电压；将记录的所述采样电压进行运算后获得所述输出电压的检测结果。2.根据权利要求1所述的射频匹配电压检测方法，其特征在于，所述每当连续获取的第一目标数量的所述脉冲电平均处于脉冲开启阶段时，记录下一次采样的所述采样电压，直至获得第二目标数量的所述采样电压的步骤包括：提供第一计数值，每次采样的所述脉冲电平处于脉冲开启阶段时进行计数，且每次采样的所述脉冲电平处于脉冲关闭阶段时不进行计数，并重置所述第一计数值；将所述第一计数值与所述第一目标数量进行比较；当所述第一计数值达到所述第一目标数量时，记录下一次采样的所述采样电压。3.根据权利要求1所述的射频匹配电压检测方法，其特征在于，所述每当连续获取的第一目标数量的所述脉冲电平均处于脉冲开启阶段时，记录下一次采样的所述采样电压，直至获得第二目标数量的所述采样电压的步骤包括：提供第二计数值，每当记录所述采样电压时进行计数；将所述第二计数值与所述第二目标数量进行比较；当所述第二计数值达到所述第二目标数量时，停止计数并重置所述第二计数值。4.根据权利要求1所述的射频匹配电压检测方法，其特征在于，所述第一目标数量设置为3次。5.根据权利要求1所述的射频匹配电压检测方法，其特征在于，所述将记录的所述采样电压进行运算后获得所述输出...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄加祥，邓顶阳，
申请(专利权)人：深圳市广能达半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：