一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。方法包括：获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取扫描图像中标记点的观测位置信息；基于扫描图像中的中心区域确定标记点的分布间距，并基于标记点的分布间距确定标记点的实际位置信息；基于各标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。本方案通过对扫描电镜下集成电路图像确定失真校正点的位置和尺寸和失真校正点的理想不失真位置和尺寸，以及理想不失真图像和失真图像之间的映射关系，解决了扫描电镜成像的过程存在的透镜畸变等问题，提高了图像校正的高效性。提高了图像校正的高效性。提高了图像校正的高效性。

【技术实现步骤摘要】
一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质


[0001]本专利技术涉及图像处理
，尤其涉及一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质。

技术介绍

[0002]智能化已成为当今集成电路反向工程的主流趋势，即采用计算机视觉的方法来做图像分割、点线识别、元件识别等。
[0003]集成电路反向工程是通过对芯片内部电路的提取与分析、整理，实现对芯片技术原理、设计思路、工艺制造、结构机制等方面的深入洞悉。目前，扫描电镜在获得集成电路图像时，需要逐个区域进行扫描，最后通过拼接获得完整图像。
[0004]在扫描电镜成像的过程中电磁透镜存在透镜畸变，对精确成像带来困难，进而影响后续的拼接任务，降低图像校正的效率。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种图像校正方法、装置、电子设备及其存储介质，以解决了扫描电镜下扫描图像的畸变问题。
[0006]根据本专利技术的一方面，提供了一种图像校正方法，包括：
[0007]获取模板对象的扫描图像，模板对象中包括多个均匀分布的标记点；
>[0008]提取扫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种图像校正方法，其特征在于，包括：获取模板对象的扫描图像，所述模板对象中包括多个均匀分布的标记点；提取所述扫描图像中所述标记点的观测位置信息；基于所述扫描图像中的中心区域确定所述标记点的分布间距，并基于所述标记点的分布间距确定所述标记点的实际位置信息；基于各所述标记点的实际位置信息和观测位置信息确定校正矩阵，所述校正矩阵用于对目标对象的扫描图像进行校正处理。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述提取所述扫描图像中所述标记点的观测位置信息，包括：对所述扫描图像进行二值化处理，得到二值化图像；确定所述二值化图像中的连通域，提取各个连通域的中心点位置信息作为标记点的观测位置信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在确定所述二值化图像中的连通域之前，还包括：对所述二值化图像进行膨胀处理和腐蚀处理。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在对所述扫描图像进行二值化处理之前，所述方法还包括：对所述扫描图像进行图像增强处理，所述图像增强处理包括图像锐化处理。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述扫描图像中的中心区域确定所述标记点的分布间距，包括：基于所述扫描图像中的中心区域内，同一行/列的两个标记点的观测位置信息，以及所述两个标记点之间的间隔数量，确定相邻标记点之间的分布间距。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述标记点的分布间距确定所述标记点的实际位置信息，包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：尚跃，王治文，
申请(专利权)人：上海聚跃检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：