低温泵的控制装置及控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明专利技术能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。的推荐间隔周期。的推荐间隔周期。

【技术实现步骤摘要】
低温泵的控制装置及控制方法


[0001]本专利技术涉及低温泵
，尤其是涉及一种低温泵的控制装置及控制方法。

技术介绍

[0002]相关技术中，低温泵所应用的工艺过程中无法对其质量和生产效能进行评估，低温泵的再生间隔周期需要人为设定，操作不方便且不准确，导致低温泵的抽气速度会存在较大波动，容易出现真空不良的现象，导致产品不良率比较高，生产效能比较低。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种低温泵的控制装置，以解决认为设定低温泵的再生间隔周期，导致产品不良率比较高，生产效能比较低的问题。
[0004]本专利技术还旨在提出一种低温泵的控制方法，以应用上述的低温泵的控制装置。
[0005]根据本专利技术实施例的低温泵的控制装置，包括：输入部，用于输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，用于接入采集所述低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，用于将所述内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，用于建立工艺本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低温泵的控制装置，其特征在于，包括：输入部，用于输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，用于接入采集所述低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，用于将所述内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，用于建立工艺流程模型；工作状态分析部，用于根据所述数据采集部采集的运行数据，分析所述低温泵的工作状态，并实时监测所述低温泵的所述运行参数的变化，根据所述数据库中的历史数据，利用所述工艺流程模型，给出所述低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，用于输出监测数据和所述工作状态分析部的分析数据。2.根据权利要求1所述的低温泵的控制装置，其特征在于，所述传感器接入部还用于接入外置传感器，所述外置传感器具备电压、电流和数字信号中的至少一种标准输出。3.根据权利要求1所述的低温泵的控制装置，其特征在于，所述工艺流程模型包括PVD、CVD、离子注入中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的低温泵的控制装置，其特征在于，所述工艺流程模型部配置有自定义模型功能和学习功能，所述学习功能用于应用机器学习策略，使用BP神经网络算法、蚁群算法、支持向量机算法中的一种或多种算法组合优化工艺流程模型。5.根据权利要求1所述的低温泵的控制装置，其特征在于，所述控制装置还包括：生产效能评估部，用于根据所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯欣宇，程祥，杨杨，邓家良，武义锋，
申请(专利权)人：安徽万瑞冷电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：