混合气体供应系统技术方案

本发明专利技术提供一种混合气体供应系统，包括第一进气管路、第二进气管路、混合管、缓冲罐、混合气供气管路、第一气体分析仪、第二气体分析仪和控制模块；所述第一进气管路上设有第一质量流量控制器，所述第二进气管路上设有第二质量流量控制器，所述第一气体分析仪、所述第二气体分析仪、所述第一质量流量控制器和所述第二质量流量控制器均与所述控制模块信号连接。该混合气体供应系统能够及时检测混合气体的参数是否达标，并根据当前混合气体的参数及时调整供气流量，使混合气体的参数处于设定范围内并保持稳定，从而提高系统的可靠性和生产的稳定性。稳定性。稳定性。

【技术实现步骤摘要】
混合气体供应系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造设备
，尤其是涉及一种混合气体供应系统。

技术介绍

[0002]在半导体芯片的生产过程中，根据特殊工艺和特定设备的需求，需要使用到不同成分比例或浓度的混合气体，例如PH3和H2混合气、B2H6和H2混合气、H2和N2混合气等；而且随着工艺的变化，需要实时调整相应的成分比例或浓度参数。在使用这些混合气体时，对气体浓度的稳定性有很高的要求。
[0003]现有的混合气体供应系统一般采用成品混气钢瓶进行供气(即钢瓶中装有已经混合好的混合气体)，其结构较为简单，但是其无法检测和及时调整气体混合效果，只能按照开环控制的方式将默认合格的混合气体输送到工艺机台。假如混合气体供应系统受外部各种因素干扰，混合气体参数不达标，则此种设计方案无法及时检测，亦无法及时进行修正，从而影响产品的质量和合格率。同时，上述混合气体供应系统由于钢瓶中气体的浓度需要根据生产需求浓度而定，故钢瓶中的气体浓度一般较低，每次钢瓶使用完后，都需要对管路重新做吹扫置换，才能再次使用新的气瓶来供应，一旦用气量增大，更换钢瓶的频本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种混合气体供应系统，其特征在于，包括用于输送第一类工艺气体的第一进气管路(11)、用于输送第二类工艺气体的第二进气管路(12)、混合管(3)、缓冲罐(4)、用于连接工艺机台的混合气供气管路(15)、第一气体分析仪(61)、第二气体分析仪(62)和控制模块(7)；所述第一进气管路(11)与所述第二进气管路(12)并联后与所述混合管(3)的入口连通，所述混合管(3)的出口通过混合气进口管路(13)与所述缓冲罐(4)的入口连通，所述缓冲罐(4)的出口通过混合气出口管路(14)与所述混合气供气管路(15)连通；所述第一气体分析仪(61)与所述混合气进口管路(13)连通，所述第一气体分析仪(61)用于检测经所述混合管(3)初步混合后的混合气体的成分比例和/或浓度值；所述第二气体分析仪(62)与所述混合气出口管路(14)连通，所述第二气体分析仪(62)用于检测经所述缓冲罐(4)二次混合后的混合气体的成分比例和/或浓度值；所述第一进气管路(11)上设有第一质量流量控制器(63)，所述第二进气管路(12)上设有第二质量流量控制器(64)，所述第一气体分析仪(61)、所述第二气体分析仪(62)、所述第一质量流量控制器(63)和所述第二质量流量控制器(64)均与所述控制模块(7)信号连接；当所述第二气体分析仪(62)检测到所述缓冲罐(4)二次混合后的混合气体的成分比例和/或浓度值在设定范围内时，所述缓冲罐(4)内的混合气体经所述混合气出口管路(14)输送至所述混合气供气管路(15)；当所述第二气体分析仪(62)检测到所述缓冲罐(4)二次混合后的混合气体的成分比例和/或浓度值不在设定值范围内时，所述控制模块(7)根据所述第二气体分析仪(62)检测到的混合气体的成分比例和/或浓度值与设定值之间的差值控制所述第一质量流量控制器(63)和/或所述第二质量流量控制器(64)调节其流量开度。2.如权利要求1所述的混合气体供应系统，其特征在于，所述混合气体供应系统还包括泄放模块(9)，所述泄放模块(9)与所述混合气出口管路(14)连通；当所述第二气体分析仪(62)检测到所述缓冲罐(4)二次混合后的混合气体的成分比例和/或浓度值不在设定范围内时，所述缓冲罐(4)内的混合气体经所述混合气出口管路(14)通过所述泄放模块(9)排出。3.如权利要求2所述的混合气体供应系统，其特征在于，所述泄放模块(9)包括压缩气体管路(92)，所述压缩气体管路(92)的一端设有压缩气体进口(921)，所述压缩气体管路(92)的另一端设有排放口(922)，所述压缩气体管路(92)上设有真空发生器(93)，所述混合气出口管路(14)通过连接管路(96)与所述真空发生器(93)连通，所述真空发生器(93)用于产生负压以将所述混合气出口管路(14)内的气体吸引...

【专利技术属性】
技术研发人员：范威威，纪雪峰，陈亮，
申请(专利权)人：上海良薇机电工程有限公司，
类型：发明
国别省市：