一种晶棒切磨系统技术方案

本申请属于晶棒切割技术领域。本申请公开了一种晶棒切磨系统，用于对晶棒进行切割与磨削处理，其包括底座和磨削装置；磨削装置至少部分连接至底座上；磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构，定义一个第一方向和一个第二方向，以支架的延伸方向为第一方向，以磨削安装架的延伸方向为第二方向，第一方向和第二方向基本垂直，磨削安装架沿第一方向滑动连接至支架，第一磨削机构连接至磨削安装架，第二磨削机构连接至磨削安装架。本申请在硅棒切割系统中设置了磨削装置，并在磨削装置中设置了两个磨削机构，使晶棒的倒角加工和滚圆加工能够同时进行，缩短了加工时间，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒切磨系统


[0001]本技术属于晶棒切割
，具体涉及一种晶棒切磨系统。

技术介绍

[0002]在晶棒加工过程中，需要将圆柱形的硅棒切割成方棒形的晶棒，再对晶棒的切面进行打磨，然后将晶棒进行倒角加工和滚圆加工处理，以便后续的加工和使用。相关技术中，晶棒倒角加工和滚圆加工都是由同一磨削机构完成，需等待倒角加工完成后才能进行滚圆加工，导致单根晶棒加工时间过长，生产效率较低。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术不足，本申请的目的在于提供一种能够同时对晶棒进行倒角加工和滚圆加工的硅棒切割系统。
[0004]为实现上述目的，本申请提供了一种硅棒切割系统，其包括底座和磨削装置；磨削装置，至少部分连接至底座上；磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构，定义一个第一方向和一个第二方向，以支架的延伸方向为第一方向，以磨削安装架的延伸方向为第二方向，第一方向和第二方向基本垂直，磨削安装架沿第一方向滑动连接至支架，第一磨削机构连接至磨削安装架，第一磨削机构基本沿第一直线延伸，第二磨削机构连接至磨削安装架，第一磨削机构基本沿第二直线延伸，第一直线与第二直线基本平行，第一直线与第二方向基本平行，第一直线与第二直线之间的距离大于0。
[0005]进一步地，支架包括升降导轨，升降导轨基本沿第一方向延伸，磨削安装架滑动连接至升降导轨。
[0006]进一步地，支架包括驱动磨削安装架沿升降导轨运动的升降机构，升降机构包括升降丝杆及设于升降丝杆一端的升降电机。
[0007]进一步地，磨削安装架上还设有驱动第一磨削机构沿第一直线运动或驱动第二磨削机构沿第二直线运动的进给机构。
[0008]进一步地，进给机构包括进给丝杆、设于进给丝杆一端驱动进给丝杆的进给电机及设于进给丝杆至少一侧的进给导轨。
[0009]进一步地，第一磨削机构或第二磨削机构中的至少之一滑动连接至进给导轨。
[0010]进一步地，第一磨削机构与第二磨削机构中还设置用于清洗晶棒的清洗机构。
[0011]进一步地，磨削装置还包括用于清洗第一磨削机构和第二磨削机构的清洗机构。
[0012]进一步地，第一磨削机构为倒角磨削机构，第二磨削机构为滚圆磨削机构。
[0013]进一步地，第一磨削机构与第二磨削机构上还分别设有检测晶棒磨削处理后尺寸的检测机构。
[0014]本申请通过在硅棒切割系统中设置了磨削装置，并在磨削装置中设置了两个磨削机构，使晶棒的倒角加工和滚圆加工能够同时进行，缩短了加工时间，提高了生产效率。
附图说明
[0015]图1为本申请一种实施方式中晶棒切磨系统的布局示意图；
[0016]图2为本申请一种实施方式中磨削装置的一种结构示意图；
[0017]图3为本申请一种实施方式中磨削装置的一种侧视示意图；
[0018]图4为本申请一种实施方式中沿图3中A
‑
A方向的剖面示意图；
[0019]图5为本申请另一种实施方式中沿图3中A
‑
A方向的剖面示意图；
[0020]图6为图3中B部的放大图。
具体实施方式
[0021]为了使本领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请具体实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0022]本实施例提供了一种如图1所示的晶棒切磨系统100，晶棒切磨系统100包括底座11、上下料装置12、切割装置13、磨面装置14和磨削装置15。底座11位于晶棒切磨系统100的底部，上下料装置12、切割装置13、磨面装置14和磨削装置15均设于底座11上。上下料装置12用于将未切割的晶棒搬运至切割装置13中。切割装置13设于上下料装置12的一侧，用于将圆柱形的晶棒切割成方棒形的晶棒。磨面装置14设于切割装置13的一侧，用于打磨方棒形的晶棒的切割面。磨削装置15设于磨面装置14的一侧，用于对方棒形的晶棒进行倒角加工和滚圆加工。
[0023]作为一种可选的实施方式，如图2所示，磨削装置15包括支架151、磨削安装架152、第一磨削机构153和第二磨削机构154。
[0024]定义一个第一方向101和一个第二方向102，以支架151的延伸方向为第一方向101，以磨削安装架152的延伸方向为第二方向102，第一方向101与第二方向102基本垂直。
[0025]磨削安装架152沿第一方向101滑动连接至支架151，磨削安装架152可以沿第一方向101运动，使磨削装置15能够适用于对不同尺寸的晶棒200加工。第一磨削机构153连接至磨削安装架152，第一磨削机构153基本沿第一直线103延伸。第二磨削机构154连接至磨削安装架152，第二磨削机构154基本沿第二直线104延伸。第一直线103与第二直线104基本平行，第一直线103与第二方向102基本平行。
[0026]通过设置第一磨削机构153与第二磨削机构154，使晶棒200的倒角加工和滚圆加工能够同时进行，减少晶棒200的加工时间。晶棒200的倒角加工和滚圆加工分别由两个磨削机构进行加工，减小了单个磨削机构的工作压力，延长磨削机构的使用寿命。第一磨削机构153与第二磨削机构154相互独立，能够对第一磨削机构153或第二磨削机构154单独调控，使第一磨削机构153和第二磨削机构154适用于不同的加工工艺。第一直线103与第二直线104之间的距离大于0，即第一直线103与第二直线104不共线。
[0027]根据以上说明，本申请实施例提供的中，第一磨削机构153的中心基本沿第一直线103延伸，第二磨削机构154的中心基本沿第二直线104延伸，因此，可以通过调节晶棒200的位姿，以使晶棒200的第一侧棱与一磨削机构的中心线基本对齐，使得该磨削机构可以对晶棒200的第一侧棱位置进行倒角，并且，由于第一直线103与第二直线104不共线，此时与该第一侧棱相对的第二侧棱与另一磨削机构的端沿基本对齐，使得另一磨削机构可以对晶棒200的第二侧棱位置进行滚圆加工。因此，本申请提供的可以同时对晶棒200进行倒角和滚
圆处理，提高了生产效率。
[0028]作为一种可选的实施方式，如图3所示，支架151包括升降导轨1511，升降导轨1511基本沿第一方向101延伸，磨削安装架152滑动连接至升降导轨1511。升降导轨1511能够限制磨削安装架的活动方向，引导磨削安装架152沿第一方向运动。所述磨削装置还包括用于清洗所述第一磨削机构和所述第二磨削机构的清洗机构。
[0029]作为一种可选的实施方式，如图3所示，支架151包括升降机构1512，磨削安装架152通过升降机构1512与升降导轨1511滑动连接，升降机构1512可以驱动磨削安装架152沿第一方向运动。
[0030]作为一种可选的实现方式，升降机构1512包括升降丝杆1512a及设于升降丝杆1512a一端的升降电机1512b。磨削安装架152通过套设在升降丝杆1512a上的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒切磨系统，用于对晶棒进行切割与磨削处理，其特征在于，包括：底座；磨削装置，至少部分连接至所述底座上；所述磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构，定义一个第一方向和一个第二方向，以所述支架的延伸方向为第一方向，以所述磨削安装架的延伸方向为第二方向，所述第一方向和所述第二方向基本垂直，所述磨削安装架沿所述第一方向滑动连接至所述支架，所述第一磨削机构连接至所述磨削安装架，所述第一磨削机构基本沿第一直线延伸，所述第二磨削机构连接至所述磨削安装架，所述第一磨削机构基本沿第二直线延伸，所述第一直线与所述第二直线基本平行，所述第一直线与所述第二方向基本平行，所述第一直线与所述第二直线之间的距离大于0。2.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统，其特征在于：所述支架包括升降导轨，所述升降导轨基本沿第一方向延伸，所述磨削安装架滑动连接至所述升降导轨。3.根据权利要求2所述的晶棒切磨系统，其特征在于：所述支架包括驱动所述磨削安装架沿所述升降导轨运动的升降机构，所述升降机构包括升降丝杆及设于所述升降丝杆一端的升降电机。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，卢嘉彬，王金荣，张航，朱荣辉，傅林坚，钟杨波，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：