一种晶棒切磨系统技术方案

技术编号:37499895 阅读:35 留言:0更新日期:2023-05-07 09:36
本申请属于晶棒切割技术领域。本申请公开了一种晶棒切磨系统,用于对晶棒进行切割与磨削处理,其包括底座和磨削装置;磨削装置至少部分连接至底座上;磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构,定义一个第一方向和一个第二方向,以支架的延伸方向为第一方向,以磨削安装架的延伸方向为第二方向,第一方向和第二方向基本垂直,磨削安装架沿第一方向滑动连接至支架,第一磨削机构连接至磨削安装架,第二磨削机构连接至磨削安装架。本申请在硅棒切割系统中设置了磨削装置,并在磨削装置中设置了两个磨削机构,使晶棒的倒角加工和滚圆加工能够同时进行,缩短了加工时间,提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒切磨系统


[0001]本技术属于晶棒切割
,具体涉及一种晶棒切磨系统。

技术介绍

[0002]在晶棒加工过程中,需要将圆柱形的硅棒切割成方棒形的晶棒,再对晶棒的切面进行打磨,然后将晶棒进行倒角加工和滚圆加工处理,以便后续的加工和使用。相关技术中,晶棒倒角加工和滚圆加工都是由同一磨削机构完成,需等待倒角加工完成后才能进行滚圆加工,导致单根晶棒加工时间过长,生产效率较低。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术不足,本申请的目的在于提供一种能够同时对晶棒进行倒角加工和滚圆加工的硅棒切割系统。
[0004]为实现上述目的,本申请提供了一种硅棒切割系统,其包括底座和磨削装置;磨削装置,至少部分连接至底座上;磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构,定义一个第一方向和一个第二方向,以支架的延伸方向为第一方向,以磨削安装架的延伸方向为第二方向,第一方向和第二方向基本垂直,磨削安装架沿第一方向滑动连接至支架,第一磨削机构连接至磨削安装架,第一磨削机构基本沿第一直线延伸,第二磨削机构连接至磨削安装架,第一磨本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒切磨系统,用于对晶棒进行切割与磨削处理,其特征在于,包括:底座;磨削装置,至少部分连接至所述底座上;所述磨削装置包括支架、磨削安装架、第一磨削机构及第二磨削机构,定义一个第一方向和一个第二方向,以所述支架的延伸方向为第一方向,以所述磨削安装架的延伸方向为第二方向,所述第一方向和所述第二方向基本垂直,所述磨削安装架沿所述第一方向滑动连接至所述支架,所述第一磨削机构连接至所述磨削安装架,所述第一磨削机构基本沿第一直线延伸,所述第二磨削机构连接至所述磨削安装架,所述第一磨削机构基本沿第二直线延伸,所述第一直线与所述第二直线基本平行,所述第一直线与所述第二方向基本平行,所述第一直线与所述第二直线之间的距离大于0。2.根据权利要求1所述的晶棒切磨系统,其特征在于:所述支架包括升降导轨,所述升降导轨基本沿第一方向延伸,所述磨削安装架滑动连接至所述升降导轨。3.根据权利要求2所述的晶棒切磨系统,其特征在于:所述支架包括驱动所述磨削安装架沿所述升降导轨运动的升降机构,所述升降机构包括升降丝杆及设于所述升降丝杆一端的升降电机。4....

【专利技术属性】
技术研发人员:曹建伟朱亮卢嘉彬王金荣张航朱荣辉傅林坚钟杨波
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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