一种静电发生器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种静电发生器，所述静电发生器包括输入电路、控制电路和依次连接的高压电源、储能电容C1和波形选择电路，所述波形选择电路与多个波形产生电路相连，多个所述波形产生电路的输出端分别设有输出端子，所述输入电路与控制电路相连，所述控制电路分别与输入电路、波形选择电路和波形产生电路相连。与现有技术相比，本实用新型专利技术具有波形切换更快捷，测试小体积的半导体元器件更方便，输出波形满足标准要求等优点。形满足标准要求等优点。形满足标准要求等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种静电发生器


[0001]本技术涉及静电检测
，尤其是涉及一种静电发生器。

技术介绍

[0002]现在，随着半导体行业的发展，半导体元器件对静电测试增加了两种模式，分别为人体模式(HBM)和机器模式(MM)，两种模式与传统静电放电发生器区别在于其用的阻容套件不一样(即波形产生电路)。
[0003]如图1所示中的R2和C2为阻容套件。为了满足这两种测试模式。通常采用的方法是在传统的静电放电发生器上更换阻容套件去进行测试。但由于传统静电放电发生器用静电枪中的电极来放电，而半导体元器件体积和管脚一般都是小体积的，导致使用静电枪测试极不方便。同时由于静电枪与主机分开的结构和传统的静电放电发生器中的放电开关防抖性能达不到产生标准波形的要求的关系，导致产生的波形无法完全满足现有的人体模式(HBM)和机器模式(MM)的标准要求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种静电发生器。
[0005]本技术的目的可以通过以下技术方案来实现：
[0006]一种静电发生器，所述静电发本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电发生器，其特征在于，所述静电发生器包括输入电路、控制电路和依次连接的高压电源、储能电容C1和波形选择电路，所述波形选择电路与多个波形产生电路相连，多个所述波形产生电路的输出端分别设有输出端子，所述输入电路与控制电路相连，所述控制电路分别与输入电路、选择波形电路和波形产生电路相连。2.根据权利要求1所述的一种静电发生器，其特征在于，所述储能电容C1的两端分别于高压电源的正负极相连，所述储能电容C1的正极还通过电阻R1与波形选择电路相连。3.根据权利要求1所述的一种静电发生器，其特征在于，所述选择波形电路为单刀双掷的高压继电器S1。4.根据权利要求3所述的一种静电发生器，其特征在于，所述继电器S1的动端与储能电容C1正极相连，不动端与波形产生电路相连。5.根据权利要求4所述的一种静电发生器，其特征在于，多个所述波形产生电路包括人体模式波形产生电路和机器模式形产生电路，所述人体模式波形产生电路和机器模式形产生电路分别于继电器S1的两个不动端相连。6.根据权利要求5...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛文斌，顾建军，张乐，罗东富，黄凤翔，
申请(专利权)人：上海普锐马电子有限公司，
类型：新型
国别省市：