本申请涉及一种半导体用ITO蚀刻液生产装置，其包括配制罐、用于承装盐酸溶液的混料罐、用于将配制罐内的液体向混料罐内输送的输送泵；所述配制罐设置有用于向其内部添加纯水和三氯化铁固体物料的加料口；所述配制罐的内侧壁设置有用于承接三氯化铁固体物料的承接网板；所述配制罐转动设置有转动轴，所述转动轴设置有碾压板，所述碾压板的其中一侧的下表面与承接网板的上表面抵接，另一侧沿转动轴的转动方向延伸并向上倾斜设置；所述配制罐设置有用于驱动转动轴转动的驱动件；所述输送泵的进液端与配制罐相连，出液端与混料罐相连。倾斜的碾压板可将板结的三氯化铁固体碾碎，以增大三氯化铁与纯水的接触面积，从而可加快三氯化铁的溶解速度。铁的溶解速度。铁的溶解速度。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体用ITO蚀刻液生产装置
[0001]本申请涉及一种半导体用ITO蚀刻液生产装置。
技术介绍
[0002]ITO即氧化铟锡，其是液晶显示器、触摸屏、太阳能电池以及其他电子仪表或半导体的透明电极的常用的薄膜材料。半导体透明电极加工时，常使用ITO蚀刻液对ITO薄膜进行蚀刻加工，以制备所需要的电极图形。常用的ITO蚀刻液包括盐酸与三氯化铁溶液的混合物，其通过将盐酸溶液与三氯化铁溶液按比例混合的方式制得。
[0003]现有公告号为CN106244147A的中国专利，公开了一种ITO刻蚀液配制系统，其包括混配罐、溶解桶和抽料循环泵；混配罐内盛装有盐酸溶液；溶解桶用于配制三氯化铁溶液；抽料循环泵用于将溶解桶内的三氯化铁溶液抽送至混配罐内，以使三氯化铁溶液与盐酸溶液混合，以制得ITO蚀刻液。配制三氯化铁溶液时，先向溶解桶内添加预定量的纯水，然后再向溶解桶内添加预定量的三氯化铁固体物料，待三氯化铁固体溶解后即可。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为，三氯化铁存放时可能吸收空气中的水汽而结块；当结块的三氯化铁与纯水接触时，结块的三氯化铁固体需要由外向内逐层溶解，从而导致三氯化铁的溶解速度慢，进而影响ITO蚀刻液的生产效率。
技术实现思路
[0005]本申请提供一种半导体用ITO蚀刻液生产装置，以提高三氯化铁固体溶解速度。
[0006]本申请提供的一种半导体用ITO蚀刻液生产装置采用如下的技术方案：一种半导体用ITO蚀刻液生产装置，包括配制罐、用于承装盐酸溶液的混料罐、用于将配制罐内的液体向混料罐内输送的输送泵；所述配制罐设置有用于向其内部添加纯水和三氯化铁固体物料的加料口；所述配制罐的内侧壁设置有用于承接三氯化铁固体物料的承接网板；所述配制罐转动设置有转动轴，所述转动轴设置有碾压板，所述碾压板的其中一侧的下表面与承接网板的上表面抵接，另一侧沿转动轴的转动方向延伸并向上倾斜设置；所述配制罐设置有用于驱动转动轴转动的驱动件；所述输送泵的进液端与配制罐相连，出液端与混料罐相连。
[0007]通过采用上述技术方案，配制三氯化铁溶液时，先由加料口向配制罐内添加纯水，然后由加料口向配制罐内添加三氯化铁固体物料；板结的三氯化铁固体物料被限制在承接网板的上表面，此时，驱动件驱动转动轴转动，以带动碾压板移动；碾压板可刮动板结的三氯化铁固体，以使三氯化铁固体相对于承接网板移动；碾压板移动的过程中，倾斜的碾压板对三氯化铁固体具有向前的推力和向下的压力，有利于将板结的三氯化铁固体碾碎，以供三氯化铁向下落至纯水内溶解。被碾碎的三氯化铁与纯水的接触面积增加，从而有利于加快三氯化铁的溶解速度，以提高ITO蚀刻液的生产效率。
[0008]可选的，所述承接网板与配制罐转动连接，所述承接网板的转动方向与转动轴的转动方向相反；所述承接网板连接有用于驱动其转动的转动组件。
[0009]通过采用上述技术方案，转动组件可驱动承接网板转动，以使承接网板沿与转动轴转动方向的反向，从而可增大碾压板相对于承接网板的移动速度，从而有利于提高碾压板碾碎结块的三氯化铁的效率。
[0010]可选的，所述转动组件包括与承接网板转动连接的安装板、套设于转动轴的外部的从动内齿轮、与安装板转动连接的传动齿轮、与转动轴相连的主动齿轮；所述安装板与配制罐相连；所述从动内齿轮和主动齿轮均与传动齿轮啮合。
[0011]通过采用上述技术方案，转动轴带动主动齿轮转动时，主动齿轮带动传动齿轮转动，从而驱动从动内齿轮转动；从动内齿轮的转动方向与主动齿轮的转动方向相反，从而使承接网板的转动方向与转动轴的转动方向相反。
[0012]可选的，所述碾压板沿转动轴的轴向与转动轴滑移连接：所述转动轴设置有用于使碾压板与承接网板抵紧的弹性件。
[0013]通过采用上述技术方案，碾压板移动的过程中，当板结的三氯化铁的硬度较硬以致碾压板难以将三氯化铁碾碎时，碾压板可自动向上移动，以越过对应的结块，减小碾压板发生卡死的可能性，从而保证碾压板的持续移动。
[0014]可选的，所述转动轴螺纹连接有调节环，所述弹性件位于调节环与碾压板之间的位置：所述弹性件的其中一端与调节环抵接，另一端与碾压板抵接。
[0015]通过采用上述技术方案，转动调节环，可调节调节环与碾压板之间的距离，从而调节弹性件的变形量，以调节碾压板与承接网板之间的相互作用力，保证碾压板与承接网板之间相互抵紧，从而可减小长时间使用后弹性件发生疲劳变形而导致碾压板难以与承接网板抵紧的可能性。
[0016]可选的，所述转动轴设置有延伸至配制罐内的液体内的搅拌叶，所述搅拌叶设置有与配制罐的内侧壁贴合的刮料板。
[0017]通过采用上述技术方案，转动轴可带动搅拌叶搅拌配制罐内的液体，以加快液体中的固体物料的溶解速度；同时，刮料板可刮动沾附在配制罐的内侧壁的固体物料，以使物料与液体充分接触并溶解。
[0018]可选的，所述刮料板靠近转动轴的一侧沿转动轴的转动方向的反向延伸并向转动轴方向倾斜设置。
[0019]通过采用上述技术方案，刮料板移动的过程中，刮料板可使被刮动的固体物料或液体向转动轴的方向移动，以使在液体内部形成紊流，有利于使液体内的固体物料相互碰撞，以加快固体物料的溶解速度。
[0020]可选的，所述转动轴设置有用于清理承接网板的网孔的清扫刷毛。
[0021]通过采用上述技术方案，转动轴可带动清扫刷毛移动，以清理承接网板的网孔，减小承接网板的网孔发生堵塞的可能性。
[0022]可选的，所述配制罐设置有通液管，所述通液管连接有用于将配制罐内的液体向通液管内输送的驱动泵；所述通液管设置有用于向承接网板的网孔喷射液体的清洁管。
[0023]通过采用上述技术方案，由清洁管喷出的液体可清理承接网板的网孔，减小网孔发生堵塞的可能性，同时，液体可将承接网板上的固体物料冲落，以提高清理效果，减小三氯化铁物料沾附于承接网板上而导致所配制的三氯化铁溶液的浓度低于预定浓度的可能性。
[0024]可选的，所述碾压板沿转动轴的径向的两侧均设置有与承接网板的上表面抵接的集料板，每个所述集料板靠近碾压板的上端的一端均设置有延伸板，每个所述延伸板远离集料板的一端均沿转动轴的转动方向延伸并向背离另一延伸板方向倾斜设置。
[0025]通过采用上述技术方案，集料板与延伸板相互配合，以使三氯化铁固体向碾压板的下端方向移动，以保证三氯化铁与碾压板充分接触，从而提高碾压板碾压三氯化铁的碾压效率。
[0026]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：1.随转动轴的转动而移动的碾压板可将板结的三氯化铁固体碾碎，以增大三氯化铁与纯水的接触面积，从而可加快三氯化铁的溶解速度；2. 承接网板沿与转动轴转动方向的反向，可增大碾压板相对于承接网板的移动速度，有利于提高碾压板碾碎结块的三氯化铁的效率；3.搅拌叶与刮料板配合，可进一步提高固体物料的溶解速度；4.由清洁管喷出的液体可将承接网板上的固体物料冲落，以提高清理效果，减小三氯化铁物料沾附于承接网本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体用ITO蚀刻液生产装置，包括配制罐（1）、用于承装盐酸溶液的混料罐（2）、用于将配制罐（1）内的液体向混料罐（2）内输送的输送泵（3）；其特征在于：所述配制罐（1）设置有用于向其内部添加纯水和三氯化铁固体物料的加料口（11）；所述配制罐（1）的内侧壁设置有用于承接三氯化铁固体物料的承接网板（4）；所述配制罐（1）转动设置有转动轴（13），所述转动轴（13）设置有碾压板（5），所述碾压板（5）的其中一侧的下表面与承接网板（4）的上表面抵接，另一侧沿转动轴（13）的转动方向延伸并向上倾斜设置；所述配制罐（1）设置有用于驱动转动轴（13）转动的驱动件（14）；所述输送泵（3）的进液端与配制罐（1）相连，出液端与混料罐（2）相连。2.根据权利要求1所述的半导体用ITO蚀刻液生产装置，其特征在于：所述承接网板（4）与配制罐（1）转动连接，所述承接网板（4）的转动方向与转动轴（13）的转动方向相反；所述承接网板（4）连接有用于驱动其转动的转动组件（41）。3.根据权利要求2所述的半导体用ITO蚀刻液生产装置，其特征在于：所述转动组件（41）包括与承接网板（4）转动连接的安装板（411）、套设于转动轴（13）的外部的从动内齿轮（412）、与安装板（411）转动连接的传动齿轮（413）、与转动轴（13）相连的主动齿轮（414）；所述安装板（411）与配制罐（1）相连；所述从动内齿轮（412）和主动齿轮（414）均与传动齿轮（413）啮合。4.根据权利要求1所述的半导体用ITO蚀刻液生产装置，其特征在于：所述碾压板（5）沿转动轴（13）的轴向与转动轴（13）滑移连接：所述转动轴（13）设置有用于使碾压板（5）与承接网板（4）抵紧的弹性件（...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴海燕，陈桂红，童晨，孙元，韩成强，
申请(专利权)人：昆山晶科微电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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