一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及检测技术领域，尤其是一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置，包括操作台、水箱和底座，所述操作台的底部设置有支撑柱，所述操作台的上方设置有安装盒，所述安装盒的内部设置有所述水箱，所述水箱的侧面开设有滑槽，所述滑槽的一侧对称设置有安装板，所述安装板之间贯穿设置有连轴，所述连轴之间套设有滚轮，所述水箱的底部设置有所述底座，所述底座与所述水箱之间设置有弹簧，在对水箱进行安装时，通过水箱向安装盒的底部施加一个向下的重力，此时弹簧受力发生形变向内收缩，通过水箱侧面的滚轮与滑槽的配合，从而有效的对水箱箱体进行了缓冲。水箱箱体进行了缓冲。水箱箱体进行了缓冲。

【技术实现步骤摘要】
一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置


[0001]本技术涉及检测
，尤其涉及一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置。

技术介绍

[0002]真空溅射表面镀膜是指待镀材料源(称为靶)和基体一起放入真空室中，然后利用正离子轰击作为阴极的靶，使靶材中的原子、分子逸出并在基体表面上凝聚成膜。镀膜完成后，是需要孔隙率检测装置对其进行检测的，显孔隙率是评价原料或制品质量的重要指标，不仅可反映材料的致密程度，而且还表征其制造工艺中粒度组成、成型和烧成是否合理。
[0003]现有的孔隙率检测装置，需要在对水箱进行安装，然后放入水体，通过水煮法来测定电极的孔隙率，在对水箱进行安装时，水箱与仪器之间缺少防护设备，不能对其进行缓冲，因为向下放置水箱时会因为水箱的下坠力与仪器接触面碰撞，导致设备磕碰损坏，使用不方便，同时水箱安装后难以拆除，拆卸十分困难，不便于后续的拿取。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中对于存在的上述问题，现提供一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置。
[0005]具体技术方案如下：
[0006]设计一种真空溅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置，其特征在于：包括操作台(1)、水箱(2)和底座(3)，所述操作台(1)的底部设置有支撑柱(11)，所述操作台(1)的上方设置有安装盒(12)，所述安装盒(12)的内部设置有所述水箱(2)，所述水箱(2)的侧面开设有滑槽(21)，所述滑槽(21)的一侧对称设置有安装板(22)，所述安装板(22)之间贯穿设置有连轴(23)，所述连轴(23)之间套设有滚轮(24)，所述水箱(2)的底部设置有所述底座(3)，所述底座(3)与所述水箱(2)之间设置有弹簧(31)。2.根据权利要求1所述的一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置，其特征在于：所述底座(3)上设置有缓冲柱(32)，所述缓冲柱(32)内部开设有缓冲槽(33)，所述缓冲槽(33)的内部设置有所述弹簧(31)，所述弹簧(31)远离所述底座(3)的一端设置有连接块(34)，所述连接块(34)的上方设置有套接柱(35)。3.根据权利要求2所述的一种真空溅射表面镀膜孔隙率检测装置，其特征在于：所述底座(3)与所述缓冲柱(32)固定连接，所述弹簧(31)的一端与所述缓冲槽(33)的底部固定连接，所述弹簧(31)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贵宁，
申请(专利权)人：江苏国咨检检测认证有限公司，
类型：新型
国别省市：