一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，包括激光器管壳、光出射组件，所述激光器管壳内包括N个TO激光器和同轴合光光路组件，其中N为大于等于2的自然数；所述同轴合光光路组件包括多个滤光片，将N个TO激光器出射的激光从N个方向输入后进行合波、合束后输出至所述光出射组件；每个TO激光器出射激光具有至少一个典型波长，每个TO激光器的典型波长互不相同，且每个或几个典型波长与某一气体组分的典型吸收谱线或吸收光谱峰值相对应；所述N个TO激光器光斑经过所述同轴合光光路组件的滤光片反射和/或透射后均入射到所述光出射组件的焦点上。本实用新型专利技术适用于多种气体实时在线检测的固定式、便携式、遥测式TDLAS气体检测系统。TDLAS气体检测系统。TDLAS气体检测系统。

【技术实现步骤摘要】
一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器


[0001]本技术涉及TDLAS气体检测领域，尤其涉及一种应用于多气体实时在线检测仪的基于TDLAS技术的同轴多波长激光器。

技术介绍

[0002]TDLAS技术(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy，可调谐半导体激光吸收光谱)是基于可调谐二极管激光器，利用被测气体分子的“选频”特性，实现对被测气体特征的测量。该技术成功规避了其他无关气体组分的干扰，成为当前精准实时要求高的在线气体检测系统方案的优选。同时其相应速度快，测量门限低、可同时分析多种气体成分，主要包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氧气、氨气等气体。九十年代后期以来，基于TDLAS技术的气体检测方案及设备大量涌现，在工业应用领域已经出现固定式测试系统、分布式测试系统、遥测式测试系统等多种测量方式。
[0003]由于TDLAS技术的工作原理，不同气体成分对应的吸收波长不一样，因此在实际应用中如果需要测量多种气体成分，则需要应用多个不同中心波长的激光器来进行光谱扫描，同时对应设置多个探测器以检测对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，包括激光器管壳、光出射组件，其特征在于：所述激光器管壳内包括N个TO激光器和同轴合光光路组件，其中N为大于等于2的自然数；所述同轴合光光路组件包括多个滤光片，将N个TO激光器出射的激光从N个方向输入后进行合波、合束后输出至所述光出射组件；其中，每个TO激光器出射的激光具有至少一个典型波长，每个TO激光器的典型波长互不相同，且每个或几个典型波长与某一气体组分的典型吸收谱线或吸收光谱峰值相对应；所述N个TO激光器光斑经过所述同轴合光光路组件的滤光片反射和/或透射后均入射到所述光出射组件的焦点上；所述光出射组件将该合波、合束后的光束准直后从该同轴多波长激光器出射，该合波、合束后的光束为用于测量不同气体组分的复合光束。2.如权利要求1所述的一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，其特征在于：所述TO激光器为同轴封装的具有半导体制冷模块的激光器器件。3.如权利要求2所述的一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，其特征在于：其中一个TO激光器的主光轴与光出射组件的主光轴同轴，其余TO激光器的主光轴与光出射组件的主光轴相垂直；同轴合光光路组件位于光出射组件的主光轴上。4.如权利要求3所述的一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，其特征在于：所述光出射组件为固定在所述激光器管壳的出光口位置的准直透镜或光纤连接器或光纤。5.如权利要求1
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4中任一项所述的一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，其特征在于：所述激光器管壳内包括两个TO激光器，所述同轴合光光路组件包括一个滤光片；其中一个TO激光器耦合固定在激光器管壳的出光口正对的激光器管壳一侧，另一TO激光器耦合固定在垂直于激光器管壳出光口的一侧；滤光片固定在激光器管壳内，位置于两TO激光器主光轴的交点处，且相对于两个TO激光器均是45度角。6.如权利要求1
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4中任一项所述的一种多组分气体实时检测同轴多波长激光器，其特征在于：所述激光器管壳内包括三个TO激光器，所述同轴合光光路组件包括两个滤光片；其中第一TO激光器耦合固定在激光器管壳的出光口正对的激光器管壳一侧，第二T...

【专利技术属性】
技术研发人员：许请，
申请(专利权)人：武汉市翎澜光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：