一种加热带及其温度控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种加热带及其温度控制系统，包括真空泵站，所述真空泵站连接第一波纹管，第一波纹管连接直管和弯管，相邻所述直管和所述弯管之间通过管法兰连接，加热带末端的所述直管或所述弯管通过变径接头连接第二波纹管，管和弯管通过P型夹起到支撑作用，所述P型夹固定连接承重角铁，控制段接上控制器，再接上电源，就可以进行加热了，通过调节控制器上的温度，选择需要的加热的温度，通过向管路均匀加热，维持管道温度防止制成产物堆积堵塞现象发生，当气体管路中的温度维持于一定范围内时，制成所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中，因而可以减少机台的保养次数，同时可以延长相关设备的寿命。以延长相关设备的寿命。以延长相关设备的寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种加热带及其温度控制系统


[0001]本专利技术涉及半导体集成电路制造
，具体涉及一种加热带及其温度控制系统。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路制造中，有许多加工工序在高温的真空室内进行，在这种环境下，产生的副产物升华成气象，经真空管路排放。如果在排放的过程中，温度下降过快，则会导致气体沉聚在管路及各种阀门上，如不及时清除沉积物，会增加镜片质量缺陷，降低真空系统效率。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种加热带，包括真空泵站，所述真空泵站连接第一波纹管，第一波纹管连接直管和弯管，相邻所述直管和所述弯管之间通过管法兰连接，加热带末端的所述直管或所述弯管通过变径接头连接第二波纹管。
[0004]优选的：所述直管和弯管通过P型夹起到支撑作用，所述P型夹固定连接承重角铁。
[0005]优选的：所述直管包括外层，外层两侧边缘处设置有魔术贴，外层通过魔术贴粘接在一起形成中空的筒状结构，外层内侧设置有保温层，保温层内侧设置有内层，内层与保温层之间设置有加热线，加热线电性连接热电偶和温度开关，加热线连接热保险丝，直管上设置有电缆接口，电缆接口电性连接加热线。
[0006]优选的：所述热保险丝为突跳式温控开关限温器。
[0007]优选的：所述直管上设置有电缆接口，电缆接口电性连接加热线。
[0008]优选的：所述外层和内层由硅涂层纤维布、特氟龙布、聚四氟乙烯和高硅氧布组成。
[0009]优选的：所述保温层由高硅氧针刺垫制成。/>[0010]优选的：所述魔术贴为阻燃魔术贴，采用PPS或PET材料制成。
[0011]一种加热带的控制系统，包括数据采集单元、控制单元、存储单元和报警单元；
[0012]所述采集单元用于采集温度数据，实时采集每个温控器的设定参数和实际运行参数，将采集的温度数据传输至控制单元；
[0013]所述控制单元包括触摸屏，触摸屏用于设置参数；
[0014]所述存储单元用于存储历史温度数据和事件报警数据；
[0015]所述报警单元用于实时报警。
[0016]优选的：所述控制单元可单个设定或一键设定温控器参数，实时采集每个温控器的设定参数和实际运行参数，存储历史温度数据，并且每个控制箱为每一条泵管或管路加热带提供独立的漏电保护装置。
[0017]本专利技术的技术效果和优点：
[0018]1、本专利技术中，将绝缘性能达到标准的电热元件织入或缝入加热带内，通电后元件
发热，提升管道的温度从而达到加热及保温的作用，将加热带包裹在管道上，用连接线进行连接，控制段接上控制器，再接上电源，就可以进行加热了，通过调节控制器上的温度，选择需要的加热的温度，通过向管路均匀加热，维持管道温度防止制程产物堆积堵塞现象发生。
[0019]2、本专利技术中，制程所产生的生成物将不易沉积或堵塞于管路中，因而可以减少机台的保养次数，同时可以延长相关设备的寿命。
附图说明
[0020]图1是本申请实施例提供的加热带安装的结构示意图；
[0021]图2是本申请实施例提供的加热带的结构示意图；
[0022]图3是本申请实施例提供的加热带的温度控制系统的电路图；
[0023]图4是本申请实施例提供的加热带使用前管道内粉尘堆积的示意图；
[0024]图5是本申请实施例提供的加热带使用后管道内疏通的示意图。
[0025]图中：1、真空泵站；2、第一波纹管；3、直管；301、外层；302、魔术贴；303、保温层；304、内层；305、加热线；306、热电偶；307、温度开关；308、电缆接口；4、P型夹；401、承重角铁；5、管法兰；6、弯管；7、第二波纹管；8、变径接头。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。本专利技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本专利技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本专利技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本专利技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0027]实施例1
[0028]请参阅图1～2，在本实施例中提供一种加热带，包括真空泵站1，真空泵站1连接第一波纹管2，第一波纹管2连接直管3和弯管6，直管3和弯管6的数量根据实际安装确定，直管3和弯管6通过P型夹4起到支撑作用，P型夹4固定连接承重角铁401，相邻的直管3和弯管6之间通过管法兰5连接，加热带末端的直管3或弯管6通过变径接头8连接第二波纹管7。
[0029]直管3包括外层301，外层301两侧边缘处设置有魔术贴302，外层301通过魔术贴302粘接在一起形成中空的筒状结构，外层301内侧设置有保温层303，保温层303为中空的筒状结构，保温层303内侧设置有内层304，内层304与保温层303之间设置有加热线305，加热线305电性连接热电偶306和温度开关307，加热线305连接热保险丝，热保险丝为突跳式温控开关限温器，直管3上设置有电缆接口308，电缆接口308电性连接加热线305，弯管6的结构设计与直管3相同。
[0030]其中，外层301和内层304由硅涂层纤维布、特氟龙布、聚四氟乙烯和高硅氧布组成，硅涂层纤维布工作温度为150℃，熔融温度为650℃，特氟龙布工作温度为180℃，熔融温度为650℃，聚四氟乙烯工作温度为200℃，熔融温度为327℃，高硅氧布工作温度为300℃，熔融温度为900℃，保温层303由高硅氧针刺垫制成，高硅氧针刺垫工作温度为900℃，熔融温度为1750℃，加热线305为镍钴电热合金丝，其工作温度为400℃，熔融温度为900℃，热电偶306为K型热电偶温度表，其工作温度为650℃，熔融温度为1000℃，魔术贴302为阻燃魔术
贴，采用PPS或PET材料制成，魔术贴302设置有金属按钮，魔术贴302工作温度为180℃～200℃，熔融温度为270℃。
[0031]实施例2
[0032]请参阅图3，在本实施例中，提供一种加热带的控制系统，包括漏电保护开关ELCB，用于回路漏电保护，包括过电流、漏电检测及断电，接触器MC(Magnetic Contactor)，用于电源控制发生异常时，切断回路电源，熔芯式熔断器(fuse)，用于防止过电流，切断回路供电，紧急停钮EMO，用于紧急停止开关，温度开关307(每段加热带标配配置)，当加热带温度超过温度开关307的额定值时，断开电路，当温度降低时导通，温度熔断器(每段加热带标准配置)，当加热带超过熔断温度时，切断加热带的工作(不可恢复)。
[0033]当温度高于或低于设定的偏差值或TC断线时，启动报警系统，通过RS485接口传输和运转数据及报警数据。
[0034]泵管和洗涤器管路的加热带并联连接，每个Min温控器控制一段加热带的温度，加热带具有通讯功能，前端可以连接到温度数据本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热带，包括真空泵站(1)，其特征在于，所述真空泵站(1)连接第一波纹管(2)，第一波纹管(2)连接直管(3)和弯管(6)，相邻所述直管(3)和所述弯管(6)之间通过管法兰(5)连接，加热带末端的所述直管(3)或所述弯管(6)通过变径接头(8)连接第二波纹管(7)。2.根据权利要求1所述的一种加热带，其特征在于，所述直管(3)和弯管(6)通过P型夹(4)起到支撑作用，所述P型夹(4)固定连接承重角铁(401)。3.根据权利要求2所述的一种加热带，其特征在于，所述直管(3)包括外层(301)，外层(301)两侧边缘处设置有魔术贴(302)，外层(301)通过魔术贴(302)粘接在一起形成中空的筒状结构，外层(301)内侧设置有保温层(303)，保温层(303)内侧设置有内层(304)，内层(304)与保温层(303)之间设置有加热线(305)，加热线(305)电性连接热电偶(306)和温度开关(307)，加热线(305)连接热保险丝，直管(3)上设置有电缆接口(308)，电缆接口(308)电性连接加热线(305)。4.根据权利要求1所述的一种加热带，其特征在于，所述热保险丝为突跳式温控开关限温器。5.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁正西，李茜莲，丁建文，
申请(专利权)人：无锡海鼎微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：