用于校准剪切测试工具的设备和方法技术

一种用于校准剪切测试工具的设备，其利用了弹性枢轴机构来提高力校准的准确性和可靠性。该设备包括固定元件、构造为可相对于固定元件旋转的可枢转元件、以及联接在固定元件和可枢转元件之间以形成枢轴的弹性枢轴机构。当为了旋转可枢转元件并提升联接到可枢转元件的重物而由剪切测试工具在可枢转元件上施加力时，可枢转元件可绕枢轴旋转以提升该重物。可枢转元件可绕枢轴旋转以提升该重物。可枢转元件可绕枢轴旋转以提升该重物。

【技术实现步骤摘要】
用于校准剪切测试工具的设备和方法


[0001]本专利技术总体上涉及对形成在电子器件上的互连键合部，例如形成在电子器件上的引线键合部，或形成在芯片和衬底之间的芯片键合部进行剪切测试，并且更具体地涉及对用于此类键合接头的剪切测试工具进行校准。

技术介绍

[0002]在半导体组装和封装期间，可以执行剪切测试以确定互连键合部的键合强度或芯片和衬底之间的附接程度。重要的是测试电子器件中这些互连键合部的机械强度，以便准确评估这些键合部的质量，从而确定键合部强度是否足够和/或是否需要修改键合参数。
[0003]为了使用剪切测试工具准确测量键合强度，需要定期校准剪切测试工具，以便在测试结果显示出任何变化和偏离预定允许公差时对剪切测试工具进行补偿和/或校正。在用于剪切测试工具的现有技术的力校准装置中，轴承枢轴通常用于在固定元件和可枢转元件之间形成枢轴以进行校准。在这种力校准过程中，机械轴承中的轴承摩擦可能会导致轴承磨损和撕裂，从而降低轴承的使用寿命和力校准的可靠性。进而，使用传统的力校准装置确定的校准结果可能不准确，因为轴承摩擦不是恒定的，并且可能因校准本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于校准剪切测试工具的设备，该设备包括：固定元件；可枢转元件，其构造为能够相对于所述固定元件旋转；和弹性枢轴机构，其联接在所述固定元件和所述可枢转元件之间以形成枢轴，使得当为了旋转所述可枢转元件并提升联接到所述可枢转元件的重物而由剪切测试工具在所述可枢转元件上施加力时，所述可枢转元件能够绕所述枢轴旋转以提升所述重物。2.根据权利要求1所述的设备，其中：所述可枢转元件相对于所述枢轴限定了沿水平方向的第一长度和沿垂直方向的第二长度；所述重物联接到所述第一长度的远离所述枢轴的端部；并且所述剪切测试工具能够操作为在所述第二长度的远离所述枢轴的端部上施加基本水平的力以旋转所述可枢转元件并提升所述重物。3.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性枢轴机构包括交叉弹簧枢轴机构。4.根据权利要求3所述的设备，其中所述交叉弹簧枢轴机构由具有开口的第一弹簧片和尺寸设计为穿过所述第一弹簧片的开口的第二弹簧片形成，所述第一弹簧片和所述第二弹簧片彼此成角度地布置。5.根据权利要求4所述的设备，其中所述第一弹簧片和所述第二弹簧片中的每一个都具有固定到所述固定元件的第一边缘和固定到所述可枢转元件的第二边缘，使得所述第一弹簧片和所述第二弹簧片中的每一个都可偏转地与所述固定元件和所述可枢转元件接触。6.根据权利要求4所述的设备，其中所述第一弹簧片和所述第二弹簧片相互垂直地安装。7.根据权利要求1所述的设备，其中所述固定元件具有沿所述固定元件和所述可枢转元件之间的界面定位的相对的第一侧和第二侧，并且所述弹性枢轴机构包括安装在所述固定元件的所述第一侧上的第一对弹簧片以及安装在所述固定元件的所述第二侧上的第二对弹簧片，每个弹簧片都可偏转地与所述固定元件和所述可枢转元件接触。8.根据权利要求7所述的设备，其中所述第一对弹簧片的各个弹簧片相互垂直地安装，且所述第二对弹簧片的各个弹簧片也相互垂直地安装。9.根据权利要求1所述的设备，还包括联接装置，其构造为将所述重物可拆卸地联接到所述可枢转元件。10.根据权利要求9所述的设备，其中，所述联接装置包括钩，所述重物配置为悬挂在所述钩上。11.根据权利要求1所述的设备，其中所述剪切测试工具包括剪切测试杆和联接到所述剪切测试杆的力传感器，所述力传感器能够操作为测量为了旋转所述可枢转元件并提升所述重物而由所述剪切测试杆施加到所述可枢转元件上的力。12...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋景耀，李锐丰，陈建敏，吴茂发，陈健佳，
申请(专利权)人：先进科技新加坡有限公司，
类型：发明
国别省市：