一种供气柜内气瓶加热装置制造方法及图纸

本申请涉及一种供气柜内气瓶加热装置，其包括安装于柜体且用于套设气瓶的加热套，所述加热套设置为开环结构，且所述加热套设置有若干连接件，所述连接件用于将加热套在周向上的两端相连接，所述加热套内嵌设有电热丝，所述连接件包括连接块和卡接头，所述连接块连接于加热套在周向上的一端，所述卡接头连接于连接块，所述加热套在周向上的另一端开设有用于与卡接头相卡接的连接孔。本申请能够改善气瓶内气体的使用效果。气体的使用效果。气体的使用效果。

【技术实现步骤摘要】
一种供气柜内气瓶加热装置


[0001]本申请涉及供气柜的领域，尤其是涉及一种供气柜内气瓶加热装置。

技术介绍

[0002]如今，在半导体制程工艺中，供气柜的使用是相对较为普遍的。供气柜包括柜体和设置于柜体内部的气瓶，柜体呈侧开口结构且开口处盖合有封盖。气瓶内通常是充装有液化气体，使用时通过气瓶内液体汽化，进而形成便于后续使用的气体。
[0003]但在使用过程中，随着汽化时间的增加气瓶的温度会逐渐降低，或当周围环境温度较低时，会使得气瓶内液体汽化的速度降低，进而导致气瓶内气体的使用受到影响。

技术实现思路

[0004]为了改善气瓶内气体的使用效果，本申请提供一种供气柜内气瓶加热装置。
[0005]本申请提供的一种供气柜内气瓶加热装置采用如下的技术方案：
[0006]一种供气柜内气瓶加热装置，包括安装于柜体且用于套设气瓶的加热套，所述加热套设置为开环结构，且所述加热套设置有若干连接件，所述连接件用于将加热套在周向上的两端相连接，所述加热套内嵌设有电热丝。
[0007]通过采用上述技术方案，使用时，当气瓶放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种供气柜内气瓶加热装置，其特征在于：包括安装于柜体且用于套设气瓶的加热套（1），所述加热套（1）设置为开环结构，且所述加热套（1）设置有若干连接件（2），所述连接件（2）用于将加热套（1）在周向上的两端相连接，所述加热套（1）内嵌设有电热丝（12）。2.根据权利要求1所述的一种供气柜内气瓶加热装置，其特征在于：所述加热套（1）安装有测温计（3），所述测温计（3）的监测端伸入加热套（1）内侧。3.根据权利要求1所述的一种供气柜内气瓶加热装置，其特征在于：所述加热套（1）内设置有保温层（4），所述保温层（4）位于电热丝背离气瓶的一侧。4.根据权利要求1所述的一种供气柜内气瓶加热装置，其特征在于：所述连接件（2）包括连接块（21）和卡接头（22），所述连接块（21）连接于加热套（1）在周向上的一端，所述卡接头（22）连接于连接块（21），所述加热套（1）在周向上的另一端开设有用于与卡接头（22）相卡接的连接孔（23）。5.根据权利要求4所述的一种供气...

【专利技术属性】
技术研发人员：马青，卫宇飞，张繁，
申请(专利权)人：盖斯博半导体科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：