一种集尘式石英腔体打磨设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架，所述固定架的上端面安装有加工框，所述加工框的右侧设置有安装于固定架上端面的机械臂，所述机械臂的一端安装有电机，所述电机的输出端安装有打磨轮，所述加工框内部的底端面贯穿安装有网板，所述固定架的上端面开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有位于网板下方的抽屉，在进行打磨石英腔体的过程中，启动两个风机，可将打磨产生的粉尘分别通过两个通风管吸入至收集箱的内部，接着多个集尘布袋可将粉尘进行过滤收集，同时落在加工框底部的粉尘可通过网板收集在抽屉的内部，从而便于将打磨产生的粉尘进行收集，有效地防止了粉尘混入空气中，污染空气。污染空气。污染空气。

【技术实现步骤摘要】
一种集尘式石英腔体打磨设备


[0001]本技术涉及石英腔体加工领域，具体为一种集尘式石英腔体打磨设备。

技术介绍

[0002]石英腔体由于其含有的金属杂质较少，其主要物质是高纯度的二氧化硅，并且能承受较高的温度，最高可达1200度，因此石英腔体被广泛应用于半导体制造技术中，而在集成电路的外延工艺过程中，需要向上下拼接的石英腔体中通入易燃气体，如氢气、甲烷等。为了避免由此存在的安全隐患，所使用的石英腔体需要具有较好的密封性，耐压性，透光性，隔热性等。
[0003]为提高石英腔体的透光性，通常需要将制造好的石英腔体进行打磨抛光，通常将对少量的石英腔体打磨时，常通过人工进行打磨，对于大批量加工石英腔体，则采用打磨设备进行打磨。
[0004]在现有技术中，不管采用人工打磨还是机械设备打磨，在打磨的过程中，石英腔体的表面会产生粉尘，产生的粉尘混入空气中，会污染车间环境，影响他人健康，因此有必要提出一种集尘式石英腔体打磨设备来解决上述提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种集尘式石英腔体打磨设备，具有从而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架（1），所述固定架（1）的上端面安装有加工框（101），所述加工框（101）的右侧设置有安装于固定架（1）上端面的机械臂（102），所述机械臂（102）的一端安装有电机（103），所述电机（103）的输出端安装有打磨轮（104），其特征在于：所述加工框（101）内部的底端面贯穿安装有网板（3），所述固定架（1）的上端面开设有安装槽（301），所述安装槽（301）的内部安装有位于网板（3）下方的抽屉（302）；所述加工框（101）的前后两侧壁均连通有吸尘罩（4），两个所述吸尘罩（4）相对远离的一端均连通有通风管（401），两个所述通风管（401）的另一端均安装有风机（402），两个所述风机（402）的出风口连通有位于固定架（1）下方的收集箱（5），所述收集箱（5）内部安装有固定框（601），所述固定框（601）的内部安装有多个集尘布...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫宝福，
申请(专利权)人：东海县拓能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：