一种集尘式石英腔体打磨设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架，所述固定架的上端面安装有加工框，所述加工框的右侧设置有安装于固定架上端面的机械臂，所述机械臂的一端安装有电机，所述电机的输出端安装有打磨轮，所述加工框内部的底端面贯穿安装有网板，所述固定架的上端面开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有位于网板下方的抽屉，在进行打磨石英腔体的过程中，启动两个风机，可将打磨产生的粉尘分别通过两个通风管吸入至收集箱的内部，接着多个集尘布袋可将粉尘进行过滤收集，同时落在加工框底部的粉尘可通过网板收集在抽屉的内部，从而便于将打磨产生的粉尘进行收集，有效地防止了粉尘混入空气中，污染空气。污染空气。污染空气。

【技术实现步骤摘要】
一种集尘式石英腔体打磨设备


[0001]本技术涉及石英腔体加工领域，具体为一种集尘式石英腔体打磨设备。

技术介绍

[0002]石英腔体由于其含有的金属杂质较少，其主要物质是高纯度的二氧化硅，并且能承受较高的温度，最高可达1200度，因此石英腔体被广泛应用于半导体制造技术中，而在集成电路的外延工艺过程中，需要向上下拼接的石英腔体中通入易燃气体，如氢气、甲烷等。为了避免由此存在的安全隐患，所使用的石英腔体需要具有较好的密封性，耐压性，透光性，隔热性等。
[0003]为提高石英腔体的透光性，通常需要将制造好的石英腔体进行打磨抛光，通常将对少量的石英腔体打磨时，常通过人工进行打磨，对于大批量加工石英腔体，则采用打磨设备进行打磨。
[0004]在现有技术中，不管采用人工打磨还是机械设备打磨，在打磨的过程中，石英腔体的表面会产生粉尘，产生的粉尘混入空气中，会污染车间环境，影响他人健康，因此有必要提出一种集尘式石英腔体打磨设备来解决上述提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种集尘式石英腔体打磨设备，具有从而便于将打磨产生的粉尘进行收集，有效地防止了粉尘混入空气中，污染空气的特点。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架，所述固定架的上端面安装有加工框，所述加工框的右侧设置有安装于固定架上端面的机械臂，所述机械臂的一端安装有电机，所述电机的输出端安装有打磨轮，所述加工框内部的底端面贯穿安装有网板，所述固定架的上端面开设有安装槽，所述安装槽的内部安装有位于网板下方的抽屉；
[0007]所述加工框的前后两侧壁均连通有吸尘罩，两个所述吸尘罩相对远离的一端均连通有通风管，两个所述通风管的另一端均安装有风机，两个所述风机的出风口连通有位于固定架下方的收集箱，所述收集箱内部安装有固定框，所述固定框的内部安装有多个集尘布袋。
[0008]为了将石英腔体进行夹持固定，作为本技术的一种集尘式石英腔体打磨设备优选的，所述加工框的内部安装有两个左右分布的电推杆，两个所述电推杆的输出端均安装有夹板。
[0009]为了便于将固定框的位置进行固定，作为本技术的一种集尘式石英腔体打磨设备优选的，所述收集箱内部的前后两侧壁均开设有密封槽，两个所述密封槽的内部均安装有密封垫，所述固定框安装于两个密封槽之间。
[0010]为了将收集箱内的空气排出，作为本技术的一种集尘式石英腔体打磨设备优选的，所述收集箱外侧壁的底部连通有排气管，所述排气管的内部安装有滤网。
[0011]为了使通风管可伸缩，便于将抽屉移动，作为本技术的一种集尘式石英腔体打磨设备优选的，两个所述通风管均为波纹管。
[0012]为了便于将收集箱打开，将集尘布袋上的粉尘处理，作为本技术的一种集尘式石英腔体打磨设备优选的，所述收集箱的右侧壁安装有密封门板。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0014]本技术使用该装置时，将需要打磨的石英腔体放置在加工框的内部，然后启动两个电推杆，使得两个夹板移动将石英腔体进行夹持固定，接着操作机械臂，使得打磨轮将石英腔体的表面进行打磨，在打磨的过程中，启动两个风机，可将打磨产生的粉尘分别通过两个通风管吸入至收集箱的内部，接着多个集尘布袋可将粉尘进行过滤收集，同时落在加工框底部的粉尘可通过网板收集在抽屉的内部，从而便于将打磨产生的粉尘进行收集，有效地防止了粉尘混入空气中，污染空气。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构图；
[0016]图2为本技术的加工框的剖视结构图；
[0017]图3为本技术的收集箱的左视剖视图。
[0018]图中：1、固定架；101、加工框；102、机械臂；103、电机；104、打磨轮；2、电推杆；201、夹板；3、网板；301、安装槽；302、抽屉；4、吸尘罩；401、通风管；402、风机；5、收集箱；501、密封门板；6、密封槽；601、固定框；602、集尘布袋；7、排气管；701、滤网。
实施方式
[0019]请参阅图1至图3，一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架1，固定架1的上端面安装有加工框101，加工框101的右侧设置有安装于固定架1上端面的机械臂102，机械臂102的一端安装有电机103，电机103的输出端安装有打磨轮104，加工框101内部的底端面贯穿安装有网板3，固定架1的上端面开设有安装槽301，安装槽301的内部安装有位于网板3下方的抽屉302；
[0020]加工框101的前后两侧壁均连通有吸尘罩4，两个吸尘罩4相对远离的一端均连通有通风管401，两个通风管401的另一端均安装有风机402，两个风机402的出风口连通有位于固定架1下方的收集箱5，收集箱5内部安装有固定框601，固定框601的内部安装有多个集尘布袋602。
[0021]本实施例中：使用该装置时，将需要打磨的石英腔体放置在加工框101的内部，然后启动两个电推杆2，使得两个夹板201移动将石英腔体进行夹持固定，接着操作机械臂102，使得打磨轮104将石英腔体的表面进行打磨，在打磨的过程中，启动两个风机402，可将打磨产生的粉尘分别通过两个通风管401吸入至收集箱5的内部，接着多个集尘布袋602可将粉尘进行过滤收集，同时落在加工框101底部的粉尘可通过网板3收集在抽屉302的内部，从而便于将打磨产生的粉尘进行收集，有效地防止了粉尘混入空气中，污染空气。
[0022]作为本技术的一种技术优化方案，加工框101的内部安装有两个左右分布的电推杆2，两个电推杆2的输出端均安装有夹板201。
[0023]本实施例中：将需要打磨的石英腔体放置在两个夹板201之间，通过启动两个电推
杆2，使得两个夹板201移动将石英腔体进行夹持固定，便于进行加工。
[0024]作为本技术的一种技术优化方案，收集箱5内部的前后两侧壁均开设有密封槽6，两个密封槽6的内部均安装有密封垫，固定框601安装于两个密封槽6之间。
[0025]本实施例中：通过安装密封槽6，可将固定框601的位置进行固定，由于密封槽6的内部安装有密封垫，可将密封槽6与固定框601的连接处进行密封，防止粉尘从密封槽6与固定框601的连接处漏出。
[0026]作为本技术的一种技术优化方案，收集箱5外侧壁的底部连通有排气管7，排气管7的内部安装有滤网701。
[0027]本实施例中：通过设置排气管7，集尘布袋602将收集箱5内的粉尘过滤后，过滤后的气体则从排气管7排出，通过安装滤网701，可将排出的空气进一步进行过滤。
[0028]作为本技术的一种技术优化方案，两个通风管401均为波纹管。
[0029]本实施例中：通过设置通风管401为波纹管，使得通风管401可伸缩，便于将抽屉302进行移动。
[0030]作为本技术的一种技术优化方案，收集箱5的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集尘式石英腔体打磨设备，包括固定架（1），所述固定架（1）的上端面安装有加工框（101），所述加工框（101）的右侧设置有安装于固定架（1）上端面的机械臂（102），所述机械臂（102）的一端安装有电机（103），所述电机（103）的输出端安装有打磨轮（104），其特征在于：所述加工框（101）内部的底端面贯穿安装有网板（3），所述固定架（1）的上端面开设有安装槽（301），所述安装槽（301）的内部安装有位于网板（3）下方的抽屉（302）；所述加工框（101）的前后两侧壁均连通有吸尘罩（4），两个所述吸尘罩（4）相对远离的一端均连通有通风管（401），两个所述通风管（401）的另一端均安装有风机（402），两个所述风机（402）的出风口连通有位于固定架（1）下方的收集箱（5），所述收集箱（5）内部安装有固定框（601），所述固定框（601）的内部安装有多个集尘布...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫宝福，
申请(专利权)人：东海县拓能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：