贫氧AlSc合金粉末及其生产方法技术

本发明专利技术涉及特征在于高纯度和低氧含量的A1Sc合金粉末，以及其生产方法及其在电子工业中的用途。中的用途。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】贫氧AlSc合金粉末及其生产方法
[0001]本专利技术涉及特征在于高纯度和低氧含量的AlSc合金粉末，以及其生产方法及其在电子工业和电子元件中的用途。
[0002]钪属于稀土金属，其需求量正在稳步增长，尤其是在移动通信技术、电动汽车和具有特定机械性质的高级铝合金领域的持续发展中。作为合金成分，钪与铝一起使用，例如作为BAW(体声波)滤波器中的介电AlScN层、在电子工业中的电子元件中以及用于无线传输，如WLAN和移动通信。为此，首先由AlSc合金粉末或单质制成AlSc溅射靶，然后将其用于生产介电层。
[0003]使用AlSc合金粉末的使用领域都要求合金粉末必须具有高纯度，这在钪的处理中由于这在空气中形成天然氧化层的事实而变得困难。此外，由于其极具反应性的特性和对氧的高亲和力，钪难以以金属或合金形式生产。因此，需要高纯AlSc合金粉末及其生产方法。
[0004]通常，AlSc合金通过这两种金属的相互反应获得，其中能够通过ScF3与钙的反应预先制成钪。但是，这种方法的缺点在于，在作为炉渣除去同样形成的CaF2后，钪必须通过在高温下升华进行纯化，但产物中通常本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.合金粉末，其具有组成Al
x
Sc
y
，其中0.1≤y≤0.9和x＝1
‑
y，并具有基于金属杂质计99重量％或更高的纯度，其中所述合金粉末具有借助载气热萃取法测定的基于粉末的总重量计小于0.7重量％的氧含量。2.根据权利要求1的合金粉末，其特征在于所述合金粉末具有借助离子色谱法测定的小于1000ppm，优选小于400ppm，特别优选小于200ppm的氯含量。3.根据权利要求1和2的至少一项的合金粉末，其特征在于所述粉末的X
‑
射线衍射图没有选自Sc2O3、ScOCl、ScCl3、Sc、Al2O3、X3ScF6、XScF4、ScF3和其它氧化和氟化外来相的化合物的任何反射，其中X是钠或钾离子。4.根据前述权利要求的至少一项的合金粉末，其特征在于所述合金粉末具有借助ICP
‑
OES测定的小于5000ppm，优选小于2500ppm，特别优选小于500ppm，尤其是小于100ppm的镁含量。5.根据前述权利要求的至少一项的合金粉末，其特征在于所述合金粉末具有根据ASTM B822
‑
10测定的小于2mm，优选100μm至1mm的粒度分布D90。6.根据前述权利要求的至少一项的合金粉末，其特征在于所述合金粉末具有借助离子色谱法测定的小于1000ppm，优选小于400ppm，特别优选小于200ppm的氟化物含量。7.生产根据权利要求1至6的至少一项的合金粉末的方法，其特征在于使钪源与铝金属或铝盐一起在还原剂存在下反应以产生Al
x
Sc
y
，其中0.1≤y≤0.9，优选0.2≤y≤0.8，特别优选0.24≤y≤0.7，在每种情况下x＝1
‑
y。8.根据权利要求7的方法，其特征在于所述钪源选自...

【专利技术属性】
技术研发人员：C，
申请(专利权)人：钽铌欧碧盛创新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：