静电除尘器制造技术

本公开了一种静电除尘器和方法。该静电除尘器包括：腔室，其具有构造成接收用于处理的流出物流的入口和构造成传送处理过的流出物流的出口；以及容纳在腔室内的电极结构，该电极结构可操作以产生用于处理流出物流的电晕以产生经处理的流出物流，其中该电极结构包括至少一个梳状结构，该梳状结构具有轴和从该轴延伸的多个齿，响应于跨电极结构和腔室两端施加时的电压，在每个齿的自由尖端产生电晕。以这种方式，提供的电极齿减少了产生电晕的面积，从而改善了电晕，而且与现有电极结构相比，电极齿的减小尺寸提供了用于微粒积聚的减少区域并促进这些微粒从电极脱落，从而改善静电除尘器的性能。除尘器的性能。除尘器的性能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】静电除尘器


[0001]本专利技术涉及静电除尘器和方法。实施例涉及用于处理包含固体微粒例如SiO2和酸性气体例如HCl的气体的静电除尘器。

技术介绍

[0002]静电除尘器是已知的。这种设备用于处理例如外延沉积工艺产生的流出气体。外延沉积工艺越来越多地用于高速半导体器件，用于硅和化合物半导体应用。外延层是精心生长的单晶硅膜。外延沉积利用硅源气体，通常是硅烷或氯硅烷化合物中的一种，例如三氯硅烷或二氯硅烷，在氢气氛中在高温下，通常在800
‑
1100℃左右，并且在真空条件下。根据需要，外延沉积工艺常常会掺杂少量硼、磷、砷、锗或碳，以用于制造器件。供应至处理腔室的蚀刻气体可包括卤代化合物，例如HCl、HBr、BCl3、C12和Br2及其组合。氯化氢(HCl)或其他卤代化合物，例如SF6或NF3，可用于在工艺运行之间清洁腔室。
[0003]在此类工艺中，只有一小部分供应到处理腔室的气体在腔室内被消耗，因此大部分供应到处理腔室的气体连同来自发生在腔室内的工艺的固态和气态副产物从腔室中排出。处理工具通常具有多个处理腔室，每个处理腔室可处于沉积、蚀刻或清洁处理中的相应不同阶段。因此，在处理期间，由从腔室排出的气体的组合形成的废物流出物流可具有各种不同的组成。
[0004]在将废物流排放到大气中之前，对其进行处理以从中去除选定的气体和固体微粒。通常使用填充塔式洗涤器从气流中去除酸性气体，例如HF和HCl，其中酸性气体通过流过洗涤器的洗涤液溶解。硅烷是自燃的，因此在将废物流输送通过洗涤器之前，通常的做法是将废物流输送通过热焚化炉以使硅烷或存在于废物流中的其他自燃气体与空气反应。任何全氟化合物如NF3也可在焚化炉内转化为HF。
[0005]当硅烷燃烧时，会产生大量的二氧化硅(SiO2)微粒。虽然这些微粒中的许多可能被填充塔式洗涤器内的洗涤液悬浮，但已观察到洗涤液对相对较小的微粒(例如，尺寸小于1微米)的捕获相对较差。鉴于此，已知在洗涤器的下游提供静电除尘器以从废物流中去除这些较小的微粒。
[0006]虽然这种设备提供了对流出气体流的处理，但它们有许多缺点。因此，希望提供一种改进的气体处理装置。

技术实现思路

[0007]根据第一方面，提供了一种静电除尘器，包括：腔室，其具有构造成接收用于处理的流出物流的入口和构造成传送处理过的流出物流的出口；以及容纳在腔室内的电极结构，该电极结构可操作以产生用于处理流出物流的电晕以产生经处理的流出物流，其中该电极结构包括至少一个梳状结构，该梳状结构具有轴和从其延伸的多个齿在轴上，响应于跨电极结构和腔室施加时的电压，电晕在每个齿的自由尖端产生。
[0008]第一个方面认识到现有静电除尘器的一个问题是它们的效率可能很差。特别是，
由于电极上微粒的积累，由除尘器产生的电晕会减少。因此，提供了一种静电除尘器。除尘器可包括壳体、外壳或腔室。该腔室可具有接收待处理的流出物流的入口。该腔室可具有提供处理过的流出物流的出口。除尘器可具有电极结构。电极结构可以容纳、保留或封闭在腔室内。电极结构可产生电晕以处理流出物流并产生经处理的流出物流。电极结构可具有一个或多个梳状结构。梳状结构可具有轴、支撑件或细长构件，其具有从轴延伸的齿或突起。当在电极结构和腔室之间施加电压时，可在每个齿的尖端产生电晕。以这种方式，提供的电极齿减少了产生电晕的面积，从而改善了电晕，而且与现有电极结构相比，电极齿的减小尺寸提供了用于微粒积聚的减少区域和促进这些微粒从电极脱落，从而提高静电除尘器的性能。
[0009]每个齿可包括至少一个从轴延伸的自由端部分，该自由端部分终止于自由尖端。
[0010]轴可以是细长的并且具有沿其轴向长度间隔开的多个齿。这提供了沿电极结构长度的电晕产生。
[0011]相邻齿之间的距离可大于每个齿的宽度。这有助于将齿隔开以提供有效的电晕产生。
[0012]相邻齿之间的距离可以大于每个齿宽度的10倍。
[0013]每个齿的高度可大于其宽度。因此，每个齿可以是细长的，从轴或支撑件直立。这提供了有助于抵抗微粒积聚的轮廓。
[0014]每个齿的高度可以大于其宽度的大约5倍。因此，齿可具有长而窄的纵横比。
[0015]每个齿的厚度可与其宽度匹配。因此，每个齿的厚度可小于其长度。
[0016]每个齿的至少一部分可以具有平行的边。
[0017]每个齿的至少自由尖端可以是锥形的。这有助于减少用于产生电晕的面积以及减少微粒可能积聚在其上的表面。
[0018]锥形可具有至少45
°
的锥角。
[0019]自由尖端的长度可以是齿总长度的大约1/16。
[0020]电极结构可以包括多个梳状结构。
[0021]多个梳状结构可以围绕腔室周向定位。
[0022]自由端部分可定向成在腔室内径向延伸。
[0023]除尘器可包括配置成将流体喷射到电极结构上的流体清洁器。这有助于从电极结构中去除积聚的微粒。
[0024]梳状结构可以包括作为齿的多个电极线，从作为轴的至少一个电极支撑结构延伸，响应于跨电极结构和腔室施加时的电压而在每个电极线的自由尖端处产生电晕。
[0025]梳状结构可以具有从电极支撑结构延伸或突出的电极线或细丝。电晕可以响应于施加在电极结构和腔室之间的电压而在电极线的尖端处产生。以这种方式，提供了电极线或细丝，其既提供了产生电晕的减小的面积，从而改善了电晕，而且与现有电极结构相比电极线的减小的尺寸提供了用于微粒聚集的减小的面积并促进这些微粒从电极脱落，这提高了静电除尘器的性能。
[0026]电极线可包括至少一个从电极支撑结构延伸的自由端部分，该自由端部分终止于自由尖端。
[0027]电极线的宽度与长度之比可为1∶10至1∶100之间。因此，电极线可具有明显小于其
长度的宽度或横截面尺寸。
[0028]电极线可包括至少两个自由端部分，每个自由端部分从电极支撑结构延伸，每个自由端部分终止于自由尖端。因此，每根电极线可具有多个端部。
[0029]至少两个自由端部分可以在直径相反的方向上从电极支撑结构延伸。因此，自由端部分可以在不同或相反的方向上延伸。通常，自由端部分可以远离彼此延伸。
[0030]至少两个自由端部分可以在相同方向上从电极支撑结构延伸。
[0031]自由端部分可包括质量，例如朝向或靠近自由尖端定位的点质量。
[0032]质量结构可以包括连接到自由端部分或接收在自由端部分上的突起或本体。质量结构可以包括自由端部分的弯曲构形。换句话说，自由端部分可以被折叠或翻过来以便形成弯曲构形。
[0033]电极线可以包括弹簧腿。
[0034]电极线可以包括扭力弹簧的腿。
[0035]电极线可包括从扭力弹簧的主体或圈延伸或伸出的腿。
[0036]电极支撑结构可以是细长的，电极线可以放置在该电极支撑结构上，沿电极支撑结构的轴向长度间隔开。电极支撑结构可以是细长的以沿其轴向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种静电除尘器，包括：腔室，其具有构造成接收用于处理的流出物流的入口和构造成传送经处理的流出物流的出口；和容纳在所述腔室内的电极结构，所述电极结构能操作以产生用于处理所述流出物流以产生所述经处理的流出物流的电晕，其中所述电极结构包括至少一个梳状结构，所述梳状结构具有轴和从所述轴延伸的多个齿，响应于跨所述电极结构和所述腔室施加时的电压在每个齿的自由尖端处产生所述电晕。2.如权利要求1所述的静电除尘器，其中每个齿包括至少一个从所述轴延伸的自由端部分，所述自由端部分终止于所述自由尖端。3.如权利要求1或2所述的静电除尘器，其中所述轴是细长的，具有沿其轴向长度间隔开的所述多个齿。4.如任一项前述权利要求所述的静电除尘器，其中相邻齿之间的距离大于每个齿的宽度并且优选地大于每个齿的宽度的十倍。5.如任一项前述权利要求所述的静电除尘器，其中每个齿的高度大于其宽度并且优选地大于其宽度的五倍。6.如任一项前述权利要求所述的静电除尘器，其中至少所述自由尖端是锥形的并且优选地其中所述锥形具有至少45
°
的锥角。7.如任一项前述权利要求所述的静电除尘器，其中，所述自由尖端的长度为所述齿的总长度的...

【专利技术属性】
技术研发人员：J，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：