GHz高频飞秒激光脉冲产生装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了GHz高频飞秒激光脉冲产生装置及其方法，低频飞秒脉冲发生器的输出光路上依次至少布置两个倍频单元；倍频单元一包含分束器一、衰减器一、延迟器一及合束器一，低频飞秒脉冲发生器产生的低频飞秒脉冲进入分束器一后分为两路，其中一路经过衰减器一进入合束器一，另一路经过延迟器一进入合束器一，进行合束，飞秒脉冲频率翻倍；倍频单元二包含分束器二、衰减器二、延迟器二及合束器二，倍频单元一的合束器一输出的飞秒脉冲进入分束器二后分为两路，其中一路经过衰减器二进入合束器二，另一路经过延迟器二进入合束器二，进行合束，飞秒脉冲频率再次翻倍。通过两次以上倍频单元，实现GHz脉冲输出。实现GHz脉冲输出。实现GHz脉冲输出。

【技术实现步骤摘要】
GHz高频飞秒激光脉冲产生装置及其方法


[0001]本专利技术涉及一种GHz高频飞秒激光脉冲产生装置及其方法。

技术介绍

[0002]飞秒激光器以其极高的峰值功率、窄的脉冲宽度，在材料精细微加工、半导体行业、太阳能光伏、科学研究等领域得到了广泛的应用。飞秒激光加工最重要的特点之一是可通过抑制热影响区实现超高精度微纳加工。飞秒激光较慢的加工速度是限制其工业应用的瓶颈，通过采用GHz飞秒激光，并在脉冲串模式工作，可以在不降低加工质量的情况下显著提高加工效率，因此可以克服飞秒加工这一瓶颈。
[0003]获得稳定的GHz飞秒脉冲的主要方法为被动锁模，锁模激光器的腔长取决于脉冲重复频率，因此GHz飞秒谐振腔腔长非常短(<150毫米)，如果采用光纤激光器实现GHz输出，腔长需要在控制100mm以内。GHz飞秒脉冲获取可以采用固体锁模激光器和光纤锁模激光器两种。专利公开号CN112864785B公开了一种高功率GHz重复频率的飞秒激光产生系统，采用固体激光器获得GHz飞秒脉冲，固体激光器容易在150毫米腔长内实现被动锁模，但是因光纤耦合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.GHz高频飞秒激光脉冲产生装置，其特征在于：低频飞秒脉冲发生器(1)的输出光路上依次至少布置两个倍频单元；倍频单元一(2)包含分束器一(201)、衰减器一(202)、延迟器一(204)及合束器一(203)，低频飞秒脉冲发生器(1)产生的低频飞秒脉冲进入分束器一(201)后分为两路，其中一路经过衰减器一(202)进入合束器一(203)，另一路经过延迟器一(204)进入合束器一(203)，进行合束，飞秒脉冲频率翻倍；倍频单元二(3)包含分束器二(301)、衰减器二(302)、延迟器二(304)及合束器二(303)，倍频单元一(2)的合束器一(203)输出的飞秒脉冲进入分束器二(301)后分为两路，其中一路经过衰减器二(302)进入合束器二(303)，另一路经过延迟器二(304)进入合束器二(303)，进行合束，飞秒脉冲频率再次翻倍。2.根据权利要求1所述的GHz高频飞秒激光脉冲产生装置，其特征在于：所述低频飞秒脉冲发生器(1)包含泵浦源(101)、波分复用器(102)、光栅(103)、增益光纤(104)以及可饱和吸收镜(105)，泵浦源(101)连接波分复用器(102)，波分复用器(102)连接光栅(103)，光栅(103)连接增益光纤(104)，增益光纤(104)连接可饱和吸收镜(105)，泵浦源(101)输出泵浦光经过波分复用器(102)，进入由光栅(103)、增益光纤(104)、可饱和吸收镜(105)组成的激光腔，实现被动锁模产生飞秒激光脉冲。3.根据权利要求1或2所述的GHz高频飞秒激光脉冲产生装置，其特征在于：所述低频飞秒脉冲发生器(1)为输出波长1030nm～1064n...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵裕兴，李立卫，
申请(专利权)人：苏州德龙激光股份有限公司，
类型：发明
国别省市：